一种平面电容式耐高压微型压力传感器及其制造方法技术

平面电容式耐高压微型压力传感器及其制造方法，该传感器从上到下设有介质层、电极层和绝缘基底；电极层包含正负传感电极、空气间隙以及引脚电路，其中，空气间隙包括S型结构。电极层可通过聚焦离子束沉积/3D打印/金属印刷等方法直接制备，也可通过预置形状掩膜板采用磁控溅射/电子束蒸发/电镀等方式制备。当外力施加于传感器表面时，介质层在传感器两电极之间构建电荷交换通道，电荷交换量的增大从而造成电容值的增加，具有高灵敏度、宽检测范围等特征，而S型结构使得传感器具有对于横向变形更强的适应性。该传感器结构简单，适用于航空航天、工业装备等领域具有尺寸限制的高压检测场景。测场景。测场景。

【技术实现步骤摘要】
一种平面电容式耐高压微型压力传感器及其制造方法


[0001]本专利技术属于微型压力传感器领域，尤其是涉及基于平面电容原理的耐高压微型压力传感器及其制造方法。

技术介绍

[0002]压力传感器是工业实践中最为常用的传感器，随着工业现代化的进程和工业装备技术的发展，对压力传感器的性能提出了更高的要求。此外，随着装备复杂化和精密化程度的提高，零部件内部空间的限制给传感器的尺寸提出了更高的要求。传统的压力传感器体积较大、灵敏度相对较低而且长期稳定性差、适用的温度范围小，在面对有尺寸限制和极端环境下的压力检测场景时，传统压力传感器已经很难满足使用需求。
[0003]近年来，随着电子技术和微纳制造技术的发展，微型压力传感器的出现为解决传统压力传感器局限，获得更高的传感性能提供了新的思路，各国学者对基于不同机理的微型压力传感器进行了广泛研究和开发。微型压力传感器作为压力传感器的一个分支，其厚度可低至几百纳米到几十微米，制作简单，甚至可直接在被测零件表面制备传感器件而不影响设备内部环境，并且具有功耗低，稳定性较高等优点。目前，微型压力传感器已被广泛地运本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面电容式微型压力传感器，其特征在于：所述传感器包括：介质层(1)、电极层(2)和绝缘基底(3)；所述电极层(2)包含具有平行的两个平面的传感电极(6)，以及两个平面之间的空气间隙(7)；其中，所述传感电极(6)在形成时，初始是一个整体，后经由加工而形成空气间隙(7)并形成第一传感电极和第二传感电极；所述空气间隙包括S型结构。2.如权利要求1所述的一种平面电容式微型压力传感器，其特征在于：优选的，所述传感电极还包括引脚电路(5)；所述空气间隙(7)宽度小于其两侧的第一传感电极和第二传感电极的宽度。3.如权利要求1所述一种平面电容式微型压力传感器，其特征在于：在形成空气间隙(7)的过程中，所述传感电极(6)被空气间隙(7)分成相互独立的第一传感电极和第二传感电极作为正负两极，且第一传感电极和第二传感电极分别具有平行的两个平面。4.如权利要求1所述一种平面电容式微型压力传感器，其特征在于：所述传感电极(6)的形状包括但不限于矩形、叉指状、螺旋状等规则图形，也包括自由曲线形成的不规则图形。5.如权利要求1所述一种平面电容式微型压力传感器，其特征在于：传感电极(6)的尺寸可在几十微米到几毫米之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨雷，袁波，陈思成，郭艳婕，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：