一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种TFT

【技术实现步骤摘要】
一种TFT
‑
LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置及方法


[0001]本专利技术涉及TFT
‑
LCD玻璃基板生产处理
，尤其涉及一种TFT
‑
LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置及方法。

技术介绍

[0002]目前在TFT
‑
LCD玻璃化学减薄工序，通常在采用化学药剂进行蚀刻工序前，通过对基板进行微蚀刻的前处理方式，降低蚀刻过程中的小凹点。
[0003]在玻璃基板进入前处理槽时，通过硫酸+HF+助剂+25摄氏度药液温度，对玻璃基板进行微蚀刻处理，再将微蚀刻后的玻璃基板进入漂洗槽浸泡[活性剂+90摄氏度热水],
[0004]而在对玻璃基板进行90摄氏度热水清洗，清除低温下的玻璃表面残液时，浸泡清洗槽内的玻璃基板上脱离较多原先的残留液，残留液充斥着相邻玻璃基板之间的间隙区域，导致玻璃基板在漂洗槽浸泡中的清洗效率、清洗效果不高。

技术实现思路

[0005]本专利技术要解决的技术问题是提供一种TFT
‑
LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置及方法，既能够让玻璃基板浸泡的较为充分，也能够将浸泡脱离玻璃基板的微蚀刻残液有效的排出，减少滞留在漂洗箱、相邻玻璃基板间隙区域的微蚀刻残液量，让玻璃基板的清洗清洁效率、清洁程度更高。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：
[0007]本专利技术涉及一种TFT
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LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置，主要包括以下结构特征：r/>[0008]漂洗箱内转动安装有用于竖直承载多个玻璃基板的篮具架，漂洗箱下方配置有伺服驱动装置，伺服驱动装置的输出端连接有驱动转轴，驱动转轴上端与篮具架底侧面的中心位置固定连接。漂洗箱一内侧壁面嵌入安装有光电发射模块，漂洗箱另一内侧壁面嵌入安装有与光电发射模块位置对齐的光电接收模块。篮具架上的玻璃基板与光电发射模块、光电接收模块之间连线平行时，光电发射模块、光电接收模块之间的传感路径穿过其中两个相邻的玻璃基板之间的间隙。
[0009]漂洗箱安装有若干与光电发射模块同侧板位置的喷流管头，漂洗箱安装有若干与光电接收模块同侧板位置的吸流管头，若干喷流管头与若干吸流管头的位置一一对齐。漂洗箱安装有与吸流管头同侧板位置的温度传感模块，漂洗箱安装有与喷流管头同侧板位置的加热模块。
[0010]作为本专利技术中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：篮具架底侧板与漂洗箱底侧板之间设置有轴承环。
[0011]作为本专利技术中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：漂洗箱底侧板中心位置开设有与驱动转轴相配合的轴孔，轴孔位置处配置有防水密封圈。
[0012]作为本专利技术中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：漂洗箱侧板的若干喷流管头分为上下两排，光电发射模块位于上下两排喷流管头之间的位置。漂洗箱侧板
的若干吸流管头分为上下两排，光电接收模块位于上下两排吸流管头之间的位置。
[0013]作为本专利技术中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：漂洗箱内的浸泡液位高于篮具架上的玻璃基板上侧端，漂洗箱的内侧最小宽度尺寸大于篮具架底板对角线的长度尺寸。
[0014]作为本专利技术中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：若干喷流管头与漂洗箱内腔连通，若干喷流管头上游共同连接有一注入管，注入管上游连接有热液注入装置，注入管配置有第一电控阀门。若干吸流管头与漂洗箱内腔连通，若干吸流管头下游共同连接有一排出管，排出管下游连接有热液排出装置，排出管配置有第二电控阀门。
[0015]作为本专利技术中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：热液注入装置无注液动作时，第一电控阀门处于关闭状态。热液排出装置无排液动作时，第二电控阀门处于关闭状态。
[0016]本专利技术涉及一种TFT
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LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗方法，包括以下步骤：
[0017]㈠将玻璃基板置于漂洗箱的篮具架上，通过热液注入装置向漂洗箱内注入活性剂和90摄氏度的热水混合液，待注入的液体液位高于玻璃基板上端时停止注液。
[0018]㈡玻璃基板在漂洗箱内静置浸泡一定时间后，伺服驱动装置驱动篮具架匀速转动，转动速度为3转/min～5转/min。
[0019]㈢当光电接收模块传感接收到光电发射模块的光电信号时，伺服驱动装置停止转动，热液注入装置通过喷流管头对平行于喷流管头的多个玻璃基板进行平行冲洗，相邻玻璃基板之间间隙的液体被冲走，同时热液排出装置动作，在多个玻璃基板另一侧方位，通过吸流管头吸收走与喷流管头注入量等量的液体。
[0020]㈣喷流管头喷流冲洗一定时间后，热液注入装置停止供液，热液排出装置在吸流管头吸收走与喷流管头注入量等量的液体后也停止排液，伺服驱动装置继续按照预设转速带动篮具架转动。
[0021]㈤在玻璃基板静置浸泡、位置转动以及喷流冲洗过程中，当漂洗箱内的温度传感模块传感检测到当前液体温度低于90摄氏度时，加热模块对漂洗箱内的液体进行加热。
[0022]作为本专利技术中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗方法的一种优选技术方案：热液注入装置通过喷流管头向漂洗箱内注入的液体温度不低于90摄氏度。
[0023]与现有的技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0024]本专利技术通过在漂洗箱内设置能够转动的篮具架，将玻璃基板竖向置于篮具架上，在漂洗箱一组对侧边配置相互配合的光电发射模块和光电接收模块，辅助判断玻璃基板的转动位置状态，并在漂洗箱侧边配置喷流管头，对浸泡后的玻璃基板之间的间隙液体进行智能化喷流冲洗，并将冲洗出去的液体从吸流管头排出，既能够让玻璃基板浸泡的较为充分，也能够将浸泡脱离玻璃基板表面的微蚀刻残液有效的排出，减少滞留在漂洗箱、相邻玻璃基板间隙区域的微蚀刻残液量，让玻璃基板的清洗清洁效率、清洁程度更高。
附图说明
[0025]图1为本专利技术的整体装置结构示意图。
[0026]图2为本专利技术中漂洗箱、篮具架、伺服驱动装置的(俯视)配合结构示意图。
[0027]图3为本专利技术中篮具架的玻璃基板未平行于光电发射信号时的(俯视)结构示意
图。
[0028]图4为本专利技术中篮具架的玻璃基板未平行于喷流管头的喷流方向时的(俯视)结构示意图。
[0029]图5为本专利技术中篮具架的玻璃基板平行于光电发射信号时的(俯视)结构示意图。
[0030]图6为本专利技术中篮具架的玻璃基板平行于喷流管头的喷流方向时的(俯视)结构示意图。
[0031]图7为本专利技术中篮具架的玻璃基板未平行于喷流管头的喷流方向时的结构示意图。
[0032]图8为本专利技术中篮具架的玻璃基板平行于喷流管头的喷流方向时的结构示意图。
[0033]图9为图8中的内部结构示意图。
[0034]附图标记说明：
[0035]1‑
漂洗箱；2
‑
篮具架；3
‑
轴承环；4
‑
玻璃基板；5
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TFT
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LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置，包括漂洗箱(1)，其特征在于：所述漂洗箱(1)内转动安装有用于竖直承载多个玻璃基板的篮具架(2)，所述漂洗箱(1)下方配置有伺服驱动装置(5)，所述伺服驱动装置(5)的输出端连接有驱动转轴(6)，所述驱动转轴(6)上端与篮具架(2)底侧面的中心位置固定连接；所述漂洗箱(1)一内侧壁面嵌入安装有光电发射模块(7)，所述漂洗箱(1)另一内侧壁面嵌入安装有与光电发射模块(7)位置对齐的光电接收模块(8)；所述篮具架(2)上的玻璃基板与光电发射模块(7)、光电接收模块(8)之间连线平行时，所述光电发射模块(7)、光电接收模块(8)之间的传感路径穿过其中两个相邻的玻璃基板之间的间隙；所述漂洗箱(1)安装有若干与光电发射模块(7)同侧板位置的喷流管头(9)，所述漂洗箱(1)安装有若干与光电接收模块(8)同侧板位置的吸流管头(12)，若干喷流管头(9)与若干吸流管头(12)的位置一一对齐；所述漂洗箱(1)安装有与吸流管头(12)同侧板位置的温度传感模块(15)，所述漂洗箱(1)安装有与喷流管头(9)同侧板位置的加热模块(16)。2.根据权利要求1所述的一种TFT
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LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置，其特征在于：所述篮具架(2)底侧板与漂洗箱(1)底侧板之间设置有轴承环(3)。3.根据权利要求1所述的一种TFT
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LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置，其特征在于：所述漂洗箱(1)底侧板中心位置开设有与驱动转轴(6)相配合的轴孔，轴孔位置处配置有防水密封圈。4.根据权利要求1所述的一种TFT
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LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置，其特征在于：所述漂洗箱(1)侧板的若干喷流管头(9)分为上下两排，所述光电发射模块(7)位于上下两排喷流管头(9)之间的位置；所述漂洗箱(1)侧板的若干吸流管头(12)分为上下两排，所述光电接收模块(8)位于上下两排吸流管头(12)之间的位置。5.根据权利要求1所述的一种TFT
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LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置，其特征在于：所述漂洗箱(1)内的浸泡液位高于篮具架(2)上的玻璃基板上侧端，所述漂洗箱(1)的内侧最小宽度尺寸大于篮具架(2)底板对角线的长度尺寸。6.根据权利要求1所述的一种TFT
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LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置，其特征在于：若干...

【专利技术属性】
技术研发人员：程秀文，
申请(专利权)人：蚌埠高华电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：