本发明专利技术属于外延生长技术领域，特别涉及一种外延炉的阀门隔热装置及外延炉，其中，外延炉的阀门隔热装置包括：法兰，用于连接外延炉的反应室和外延炉的传输阀，法兰上设有用于进行衬底上下料的传输口；装置还包括：隔热挡板，活动安装在法兰靠近反应室的一侧；驱动机构，安装在法兰上，且与隔热挡板连接，用于根据反应室的运行状态驱动隔热挡板运动以遮挡或打开传输口；该装置能根据反应室的运行状态利用驱动机构驱动隔热挡板运动以遮挡或打开传输阀与反应室之间的法兰上的传输口，从而减少了传输阀的温升，有效避免了传输阀的阀板因高温而损耗使用寿命，并有效减少反应室内高温对传输室内温度的影响。输室内温度的影响。输室内温度的影响。
A valve heat insulation device of epitaxial furnace and epitaxial furnace
【技术实现步骤摘要】
一种外延炉的阀门隔热装置及外延炉
[0001]本专利技术属于外延生长
，特别涉及一种外延炉的阀门隔热装置及外延炉。
技术介绍
[0002]外延炉一般具有反应室和用于对反应室进行上下料的传输室，两者之间依靠传输阀和法兰连接；在碳化硅外延反应过程中，反应室一般在1500～1700℃左右的高温环境下进行工作，而传输室一般是在常温下工作；传输室内的各零部件均不具备耐高温特性，故需要在反应室与传输室之间设置法兰和传输阀以隔绝反应室的高温传递至传输室中，其中，法兰一般设计成水冷法兰以阻隔反应室内高温，但为了通过传输室对反应室进行上下料操作，需在法兰上设计上下料用的传输口，传输阀与传输口连接，用于改变传输口与传输室的连通状态。然而，在传输阀阻隔传输口与传输室连通状态时，反应室内的高温辐射会通过该传输口照射在传输阀的阀板上，长时间使用下容易导致传输阀被高温辐射烧蚀，而降低传输阀的使用寿命，甚至引起传输阀的密封失效。
[0003]因此，现有技术有待改进和发展。
技术实现思路
[0004]本申请的目的在于提供了一种外延炉的阀门隔热装置及外延炉，能够避免外延生长时反应室内高温作用在传输阀上而损伤传输阀。
[0005]第一方面，本申请提供一种外延炉的阀门隔热装置，安装在外延炉的反应室出口端上，所述装置包括：法兰，用于连接所述反应室和所述外延炉的传输阀，所述法兰上设有用于进行衬底上下料的传输口；所述装置还包括：隔热挡板，活动安装在所述法兰靠近所述反应室的一侧；驱动机构，安装在所述法兰上，且与所述隔热挡板连接，用于根据所述反应室的运行状态驱动所述隔热挡板运动以遮挡或打开所述传输口。
[0006]本申请的一种外延炉的阀门隔热装置，能根据反应室的运行状态利用驱动机构驱动隔热挡板运动以遮挡或打开法兰上的传输口，使得传输口在被遮挡时，传输阀与反应室之间具有隔热挡板和法兰两者组成的隔热组件，减少了传输阀的温升，从而有效避免了传输阀的阀板因高温而损耗使用寿命。
[0007]所述的一种外延炉的阀门隔热装置，其中，所述驱动机构包括：驱动电机，固定在所述法兰上；偏心组件，两端分别与所述驱动电机和所述隔热挡板连接，所述偏心组件由所述驱动电机驱动进行偏心转动以带动所述隔热挡板遮挡或打开所述传输口。
[0008]在该示例的一种外延炉的阀门隔热装置中，在反应室进入反应状态时，驱动电机启动使偏心组件偏心转动进而改变隔热挡板的位置，以使隔热挡板遮挡传输口以遮挡传输
口；当反应室传输衬底片时，驱动电机启动使偏心组件偏心转动进而改变隔热挡板的位置，以使隔热挡板打开传输口。
[0009]所述的一种外延炉的阀门隔热装置，其中，所述隔热挡板设有挂孔，所述挂孔与所述偏心组件一端活动连接。
[0010]所述的一种外延炉的阀门隔热装置，其中，所述法兰具有水冷腔，所述水冷腔连接有用于输入冷却水的进水口和用于输出冷却水的出水口。
[0011]在该示例的一种外延炉的阀门隔热装置中，水冷腔用于通入冷却水对法兰进行冷却，作为反应室与传输室之间的冷却装置，避免反应室内温度通过接触传热的方式通过法兰传递到传输阀上。
[0012]所述的一种外延炉的阀门隔热装置，其中，所述隔热挡板背离所述法兰的一侧设有镜面层。
[0013]在该示例的一种外延炉的阀门隔热装置中，隔热挡板上设置镜面层能将反应室朝向传输阀产生的热辐射反射回反应室内，有效避免热辐射对传输阀造成升温。
[0014]所述的一种外延炉的阀门隔热装置，其中，所述隔热挡板具有用于遮挡所述传输口的遮挡面板和用于导通所述传输口的输送口。
[0015]第二方面，本申请还提供一种外延炉，所述外延炉包括：反应室，用于进行外延生长；传输阀，通过法兰与反应室连接，用于连接所述反应室和所述外延炉的传输室；所述法兰上设有用于进行衬底上下料的传输口；所述外延炉还包括：隔热挡板，活动安装在所述法兰靠近所述反应室的一侧；驱动机构，安装在所述法兰上，且与所述隔热挡板连接，用于根据所述反应室的运行状态驱动所述隔热挡板运动以遮挡或打开所述传输口。
[0016]本申请的一种外延炉，能根据反应室的运行状态利用驱动机构驱动隔热挡板运动以遮挡或打开传输阀与反应室之间的法兰上的传输口；在传输口被遮挡时，反应室内原本直接作用在传输阀上的高温作用在隔热挡板上，减少了传输阀的温升。
[0017]所述的一种外延炉，其中，所述反应室的出口端设有法兰槽，所述法兰朝向所述法兰槽一侧具有凸台，所述凸台的侧面与所述法兰槽契合。
[0018]该示例的一种外延炉利用法兰槽和凸台相互配合进行反应室和法兰的定位连接，确保反应室的反应腔能正对传输口，并密封两者之间的连接部分，防止气体和温度泄露。
[0019]所述的一种外延炉，其中，所述隔热挡板设置在所述法兰槽内，所述隔热挡板在所述驱动机构驱动下移动至最高处和/或最低处时，至少两个角端与所述法兰槽侧壁接触。
[0020]所述的一种外延炉，其中，所述隔热挡板的角端倒圆角。
[0021]在该示例的一种外延炉中，隔热挡板角端采用倒圆角设计可有效避免应力集中，以防止隔热挡板因冷热交替而出现炸裂。
[0022]由上可知，本申请提供了一种外延炉的阀门隔热装置及外延炉，其中，外延炉的阀门隔热装置能根据反应室的运行状态利用驱动机构驱动隔热挡板运动以遮挡或打开传输阀与反应室之间的法兰上的传输口，从而减少了传输阀的温升，有效避免了传输阀的阀板因高温而损耗使用寿命，并有效减少反应室内高温对传输室内温度的影响。
附图说明
[0023]图1为本申请实施例提供的外延炉隐藏反应室后的结构示意图。
[0024]图2为本申请实施例提供的外延炉的阀门隔热装置的在隔热挡板遮挡传输口时的结构示意图。
[0025]图3为本申请实施例提供的外延炉的阀门隔热装置的在隔热挡板打开传输口时的结构示意图。
[0026]图4为本申请实施例提供的外延炉的阀门隔热装置的法兰中水冷腔的一种结构示意图。
[0027]图5为本申请实施例提供的外延炉的爆炸图。
[0028]图6为当偏心组件为一个偏心连杆时外延炉隐藏反应室后的结构示意图。
[0029]图7为当偏心组件为一个偏心连杆时阀门隔热装置的隔热挡板遮挡传输口的结构示意图。
[0030]图8为当偏心组件为一个偏心连杆时阀门隔热装置的隔热挡板打开传输口的结构示意图。
[0031]标号说明：1、反应室；2、法兰；3、传输阀；5、隔热挡板；11、法兰槽；21、传输口；22、水冷腔；23、进水口；24、出水口；25、凸台；26、凸块；41、驱动电机；42、偏心组件；51、挂孔；52、输送口；53、遮挡面板；421、主动偏心杆；422、从动偏心杆。
具体实施方式
[0032]下面详细描述本专利技术的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种外延炉的阀门隔热装置，安装在外延炉的反应室（1）出口端上，所述装置包括：法兰（2），用于连接所述反应室（1）和所述外延炉的传输阀（3），所述法兰（2）上设有用于进行衬底上下料的传输口（21）；其特征在于，所述装置还包括：隔热挡板（5），活动安装在所述法兰（2）靠近所述反应室（1）的一侧；驱动机构，安装在所述法兰（2）上，且与所述隔热挡板（5）连接，用于根据所述反应室（1）的运行状态驱动所述隔热挡板（5）运动以遮挡或打开所述传输口（21）。2.根据权利要求1所述的一种外延炉的阀门隔热装置，其特征在于，所述驱动机构包括：驱动电机（41），固定在所述法兰（2）上；偏心组件（42），两端分别与所述驱动电机（41）和所述隔热挡板（5）连接，所述偏心组件（42）由所述驱动电机（41）驱动进行偏心转动以带动所述隔热挡板（5）遮挡或打开所述传输口（21）。3.根据权利要求2所述的一种外延炉的阀门隔热装置，其特征在于，所述隔热挡板（5）设有挂孔（51），所述挂孔（51）与所述偏心组件（42）一端活动连接。4.根据权利要求1所述的一种外延炉的阀门隔热装置，其特征在于，所述法兰（2）具有水冷腔（22），所述水冷腔（22）连接有用于输入冷却水的进水口（23）和用于输出冷却水的出水口（24）。5.根据权利要求1所述的一种外延炉的阀门隔热装置，其特征在于，所述隔热挡板（5）背...
【专利技术属性】
技术研发人员：伍三忠，徐俊，王慧勇，刘欣然，盛飞龙，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：
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