一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置，装置包括反射镜、前辐板、底架、底盖板、托板、立柱、二维平台组件、前辐板固定组件、前辐板支撑组件、位姿测量组件、位姿调整组件、配重调节组件。其中，位姿调整组件由调整模组、压电陶瓷致动器、位姿调整杆、柔性吸附头组成；配重调节组件由调整模组、定滑轮、配重块、配重调节绳、柔性吸附头组成；位姿测量组件由测量支架和非接触传感器组成；二维平台组件由相应的运动模组及各类支板组成；托板由前辐板支撑组件支撑，由前辐板固定组件固定；反射镜位姿由位姿测量组件测得，并经由配重调节组件配重平衡后，由位姿调整组件、二维平台组件对其进行位姿调整。该装置操作方便，能够实现对反射镜的柔性吸附、对反射镜自重进行抵消、实现反射镜整体式移动对中、并减小前辐板在作用力施加和卸载前后本身的不可逆形变，最终提高多层嵌套反射镜的装调精度。终提高多层嵌套反射镜的装调精度。终提高多层嵌套反射镜的装调精度。

A suspension precision adjusting device for the position and posture of multilayer nested mirrors

【技术实现步骤摘要】
一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置


[0001]本专利技术属于光学器件精密调整领域，具体涉及一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置。

技术介绍

[0002]Wolter
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I多层嵌套反射镜是X射线掠入射光学镜头的主要构成部分，由于其聚焦效率高、空间本底噪声小、光学增益大，为天文观测技术、脉冲星导航、深空探测等任务中完成空间目标的高效率、高信噪比的观测提供了可能，所以近几十年来其在国外已经成为大力研究发展的对象。而国内对于多层嵌套反射镜的研究尚处于起步状态，多层嵌套反射镜全程制造过程涉及加工、装调、检测等相关一系列高标准流程，尤其针对一体式的电铸镍型多层嵌套反射镜的装调过程，过去相关的国内传统装调方法存在装调误差难以控制、装调精度不理想等问题，因为反射镜厚度仅为几十到几百微米，非常薄，其单层变形量难以控制；而对于嵌套层数，从几层到上百层，使其在多层的中心对中问题上精度难以保证，这些因素造成最终装调完成的多层嵌套反射镜的光学成像差、角分率低等结果。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术提供了一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置，该装置能够实现对反射镜的柔性吸附、整体式精密移动对中、空间位姿的精密调整、前辐板的稳定支撑等功能，最终完成多层嵌套反射镜的精密装调，且该装置操作方便，调整精度高。
[0004]本专利技术的技术方案为：一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置，包括：反射镜、前辐板、底架、底盖板、托板、立柱、二维平台组件、前辐板固定组件、前辐板支撑组件、位姿测量组件、位姿调整组件、配重调节组件。
[0005]其整体位置关系为：位置调整组件和配重调节组件安装在二维平台组件上；二维平台组件安装在立柱上；位姿测量组件、前辐板支撑组件、前辐板固定组件安装在底盖板上；托板由前辐板支撑组件负责支撑，由前辐板固定组件负责固定；前辐板放置在托板内；底盖板和立柱均安装在底架上。
[0006]所述前辐板固定组件由固定支架、固定底板、固定螺栓、固定螺母、固定臂、固定销组成；该组件有三套，周向均布安装在底盖板上，用于实现对托板的稳定固定。
[0007]所述前辐板支撑组件由支撑底板、支撑悬臂、锁紧螺母、锁紧螺柱、高精度力传感器、微调装置、微调支撑组成；该组件有三套，周向均布安装在底盖板上，用于实现对托板的稳定支撑。
[0008]所述位姿测量组件由测量支架和非接触传感器组成；该组件有两套，成90度角安装在底盖板上，用于实现对反射镜空间位姿倾角的测量。
[0009]所述二维平台组件由L形底板、X向运动模组、中间支板、上支板、Y向运动模组组成；安装在立柱上，用于实现对反射镜的整体式移动对中调节。
[0010]所述位姿调整组件由调整模组、压电陶瓷致动器、位姿调整杆、柔性吸附头组成；
该组件有三套，周向均布安装在二维平台组件上，用于实现对反射镜空间位姿的倾斜调整。
[0011]所述配重调节组件由调整模组、定滑轮、配重块、配重调节绳、柔性吸附头组成；该组件有三套，周向均布安装在二维平台组件上，用于实现对反射镜自身重量的配重调节，减小由于重力引起的反射镜底部支撑形变。
[0012]所述托板由前辐板支撑组件负责支撑，由前辐板固定组件负责固定；所述前辐板放置在托板内，用于保证前辐板的稳定，并减小由于前辐板直接受到作用力造成的变形。
[0013]所述反射镜经过装调后靠胶接固定在前辐板的沟槽内。
[0014]基于上述基本技术方案，本专利技术还作出如下优化限定：
[0015]上述柔性吸附头采用有源气压吸附变形，可以根据不同的反射镜曲率半径作出相对应的合适形变；
[0016]上述位姿调整杆为刚性构件，以减小在调整过程中由于空气气流造成的反射镜片的本身晃动；
[0017]上述反射镜调整完毕后固化胶为环氧树脂胶，且其要求粘度低、常温固化、具备航空航天适用性。
[0018]本专利技术有如下有益效果：
[0019]1、本专利技术通过柔性吸附减小了反射镜本身的形变。
[0020]2、本专利技术通过配重调节减小了反射镜由于自身重力引起的形变。
[0021]3、本专利技术通过整体式移动对中，提高了反射镜多层嵌套时的对准精度。
[0022]4、本专利技术通过对托板的固定支撑，减小了前辐板在作用力施加和卸载前后本身的不可逆形变，从而减小了反射镜的装调后的变形。
附图说明
[0023]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0024]图2为本专利技术的上部放大视图；
[0025]图3为本专利技术的上部隐去部分结构的视图；
[0026]图4为本专利技术的下部放大视图；
[0027]图5为本专利技术图1所示前辐板固定组件结构示意图；
[0028]图6为本专利技术图1所示前辐板支撑组件结构示意图；
[0029]其中，1
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底架，2
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底盖板，3
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测量支架，4
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非接触传感器，5
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反射镜，6
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L形底板，7
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X向运动模组，8
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中间支板,9
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上支板,10
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立柱,11
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压电陶瓷致动器，12
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调整模组，13
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定滑轮，14
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Y向运动模组，15
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配重块，16
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配重调节绳，17
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位姿调整杆，18
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柔性吸附头，19
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前辐板，20
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托板，21
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前辐板固定组件，22
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前辐板支撑组件，211
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固定支架，212
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固定底板，213
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固定螺栓，214
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固定螺母，215
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固定臂，216
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固定销，221
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支撑底板，222
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支撑悬臂，223
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锁紧螺母，224
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锁紧螺柱，225
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高精度力传感器，226
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微调装置，227
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微调支撑。
具体实施方式
[0030]下面结合附图并举实施例，对本专利技术进行详细描述。
[0031]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描
述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0032]本专利技术提供了一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置，实现本专利技术技术方案如下：
[0033本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置，其特征在于：包括底架(1)、底盖板(2)、反射镜(5)、立柱(10)、前辐板(19)、托板(20)、前辐板固定组件(21)、前辐板支撑组件(22)、二维平台组件、位姿测量组件、配重调节组件、位姿调整组件；所述位姿测量组件测量支架(3)和非接触传感器(4)组成，用于测量装调过程中反射镜(5)的位姿倾角；所述配重调节组件由调整模组(12)、定滑轮(13)、配重块(15)、配重调节绳(16)、柔性吸附头(18)组成，用于根据不同的配重抵消反射镜(5)自重引起的变形；所述位姿调整组件由调整模组(12)、压电陶瓷致动器(11)、位姿调整杆(17)、柔性吸附头(18)组成，用于通过柔性吸附头(18)形成的柔性真空吸附来减小对反射镜(5)调整引起的变形；所述二维平...

【专利技术属性】
技术研发人员：张之敬，李二波，苏泰玉，萨仁其木格，熊健，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：