一种用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管制造技术

本发明专利技术公开了一种用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管，包括第一石英管、第二石英管和连接组件；第一石英管的一端设有第一外翻边，第二石英管的一端设有第二外翻边，第一外翻边的端面与第二外翻边的端面相互紧贴；连接组件包括第一罩壳和第二罩壳，第一罩壳包括第一限位部和第一连接部，第一限位部可滑动的套设于第一石英管，第一连接部可滑动的套设于第一外翻边，第二罩壳包括第二限位部和第二连接部，第二限位部可滑动的套设于第二石英管，第二连接部可滑动的套设于第二外翻边，第一连接部与第二连接部之间卡接连接。本发明专利技术一种用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管，通过设置连接组件，能够将两个石英管进行连接组合，以满足使用时对石英管的长度要求。石英管的长度要求。石英管的长度要求。

A glass fiber quartz tube for PEVCD process

【技术实现步骤摘要】
一种用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管


[0001]本专利技术涉及一种用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管。

技术介绍

[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一秕化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。
[0003]随着PECVD设备技术的发展，降成本、大产能的要求越来越高，对用于PEVCD工艺的石英管的长度尺寸要求也越来越高，目前，在需要使用较长规格的石英管时，只能够选择一体化的长状石英管，长状石英管运输及维护较为不便，而且长状石英管一旦发生破损，将造成较大的经济损失。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管，其结构合理，通过设置连接组件，能够将两个石英管进行连接组合，以满足使用时对石英管的长度要求。
[0005]为实现上述目的，本专利技术的技术方案是设计一种用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管，包括第一石英管和第二石英管，以及用于连接第一石英管和第二石英管的连接组件；所述第一石英管的一端设有第一外翻边，所述第二石英管的一端设有第二外翻边，所述第一外翻边的端面与第二外翻边的端面相互紧贴；所述连接组件包括第一罩壳和第二罩壳，所述第一罩壳包括一体连接的第一限位部和第一连接部，所述第一限位部可滑动的套设于第一石英管，所述第一连接部可滑动的套设于第一外翻边，所述第二罩壳包括一体连接的第二限位部和第二连接部，所述第二限位部可滑动的套设于第二石英管，所述第二连接部可滑动的套设于第二外翻边，所述第一连接部的端面与第二连接部的端面相互紧贴，且第一连接部与第二连接部之间卡接连接。
[0006]优选的，所述第一连接部的端面上设有两个卡勾，该两个卡勾以第一连接部的轴线对称设置，所述第二连接部的端面上设有与卡勾一一对应的两个横向孔，所述卡勾插入对应横向孔中，且卡勾远离第一连接部的一侧设有第一斜面，所述第二连接部中设有与横向孔相连通的竖向孔，该竖向孔的孔壁上设有弹簧安装槽，该弹簧安装槽中设有压缩弹簧，所述竖向孔中滑动连接有挡杆，该挡杆的一端延伸至横向孔中并与卡勾卡接配合，且挡杆的该端部设有用于与第一斜面相配合的第二斜面，所述挡杆上设有位于弹簧安装槽中的凸环，该凸环位于压缩弹簧和横向孔之间，所述压缩弹簧的两端分别与凸环和弹簧安装槽的槽壁相抵接。
[0007]优选的，所述第一外翻边的端面上设有第一密封槽，所述第二外翻边的端面上设有与第一密封槽相对应的第二密封槽，所述第一密封槽中设有第一密封圈，且第一密封圈延伸至第二密封槽中。
[0008]优选的，所述第一外翻边的端面上设有第三密封槽，且第三密封槽位于第一密封槽的外侧，所述第二外翻边的端面上设有与第三密封槽相对应的第四密封槽，所述第四密封槽中设有第二密封圈，且第二密封圈延伸至第三密封槽中。
[0009]优选的，所述连接组件还包括固定套、压紧套和拉紧套，所述固定套固定套设于第二连接部，所述压紧套可滑动的套设于第二连接部，且压紧套位于固定套和拉紧套之间，所述固定套与压紧套之间连接有拉伸弹簧，所述拉紧套位于第一连接部的外侧，该拉紧套的一端可转动的连接于压紧套，且该拉紧套的内侧壁上设有直线槽和环形槽，所述直线槽沿拉紧套的轴向设置，所述环形槽沿拉紧套的周向设置，且环形槽位于直线槽和压紧套之间，所述直线槽的一端与环形槽相连通，且直线槽的另一端贯通拉紧套的端面，所述第一连接部的外侧壁上设有与环形槽相对应的钢珠安装槽，该钢珠安装槽中设有钢珠，该钢珠部分突出于第一连接部的外侧壁，且该钢珠的突出部分卡设于环形槽中。
[0010]优选的，所述卡勾靠近第一连接部的一侧设有第三斜面，所述挡杆位于横向孔中的端部设有用于与第三斜面相配合的第四斜面，所述竖向孔贯通第二连接部的外侧壁，所述挡杆远离横向孔的一端抵于压紧套的内侧壁，所述压紧套的内侧壁上设有用于避让挡杆的避让孔。
[0011]本专利技术的优点和有益效果在于：提供一种用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管，其结构合理，通过设置连接组件，能够将两个长度较短的石英管进行连接组合，以满足使用时对石英管的长度要求，长度较短的石英管在运输及维护过程中均更为方便。并且，石英管在进行连接组合时，无需使用螺栓螺母组件进行紧固，连接操作更为便捷且高效。
附图说明
[0012]图1是本专利技术的示意图。
[0013]图2是图1中A处的放大图。
[0014]图3是图1中B处的放大图。
[0015]图4是图1中C处的放大图。
具体实施方式
[0016]下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以此来限制本专利技术的保护范围。
[0017]本专利技术具体实施的技术方案是：如图1至图4所示，一种用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管，包括第一石英管1和第二石英管2，以及用于连接第一石英管1和第二石英管2的连接组件；所述第一石英管1的一端设有第一外翻边3，所述第二石英管2的一端设有第二外翻边4，所述第一外翻边3的端面与第二外翻边4的端面相互紧贴；所述连接组件包括第一罩壳5和第二罩壳6，所述第一罩壳5包括一体连接的第一限位部7和第一连接部8，所述第一限位部7可滑动的套设于第一石英管1，所述第一连接部8可滑动的套设于第一外翻边3，所述第二罩壳6包括一体连接的第二限位部9和第二连接部10，所述第二限位部9可滑动的套设于第二石英管2，所述第二连接部10可滑动的套设于第二外翻边4，所述第一连接部8的端面与第二连接部10的端面相互紧贴，且第一连接部8与第
二连接部10之间卡接连接。通过采取上述方案，在将第一石英管1和第二石英管2进行连接组合时，预先将第一罩壳5和第二罩壳6分别套装在第一石英管1和第二石英管2上，然后使第一罩壳5和第二罩壳6相互靠拢，直到第一连接部8与第二连接部10完成卡接连接，此时第一外翻边3和第二外翻边4被夹紧在第一限位部7和第二限位部9之间，且第一外翻边3的端面与第二外翻边4的端面相互紧贴，从而完成第一石英管1和第二石英管2之间的连接组合。
[0018]进一步的，所述第一连接部8的端面上设有两个卡勾11，该两个卡勾11以第一连接部8的轴线对称设置，所述第二连接部10的端面上设有与卡勾11一一对应的两个横向孔12，所述卡勾11插入对应横向孔12中，且卡勾11远离第一连接部8的一侧设有第一斜面13，所述第二连接部10中设有与横向孔12相连通的竖向孔14，该竖向孔14的孔壁上设有弹簧安装槽15，该弹簧安装槽15中设有压缩弹簧16，所述竖向孔14中滑动连接有挡杆17，该挡杆17的一端延伸至横向孔12中并与卡勾11卡接配合，且挡杆17的该端部设有用于与第一斜面13相配合的第二斜面18，所述挡杆17上设有位于弹簧安装槽15中的凸环19，该凸环19位于压缩弹簧16和横本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管，其特征在于，包括第一石英管和第二石英管，以及用于连接第一石英管和第二石英管的连接组件；所述第一石英管的一端设有第一外翻边，所述第二石英管的一端设有第二外翻边，所述第一外翻边的端面与第二外翻边的端面相互紧贴；所述连接组件包括第一罩壳和第二罩壳，所述第一罩壳包括一体连接的第一限位部和第一连接部，所述第一限位部可滑动的套设于第一石英管，所述第一连接部可滑动的套设于第一外翻边，所述第二罩壳包括一体连接的第二限位部和第二连接部，所述第二限位部可滑动的套设于第二石英管，所述第二连接部可滑动的套设于第二外翻边，所述第一连接部的端面与第二连接部的端面相互紧贴，且第一连接部与第二连接部之间卡接连接。2.根据权利要求1所述的用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管，其特征在于，所述第一连接部的端面上设有两个卡勾，该两个卡勾以第一连接部的轴线对称设置，所述第二连接部的端面上设有与卡勾一一对应的两个横向孔，所述卡勾插入对应横向孔中，且卡勾远离第一连接部的一侧设有第一斜面，所述第二连接部中设有与横向孔相连通的竖向孔，该竖向孔的孔壁上设有弹簧安装槽，该弹簧安装槽中设有压缩弹簧，所述竖向孔中滑动连接有挡杆，该挡杆的一端延伸至横向孔中并与卡勾卡接配合，且挡杆的该端部设有用于与第一斜面相配合的第二斜面，所述挡杆上设有位于弹簧安装槽中的凸环，该凸环位于压缩弹簧和横向孔之间，所述压缩弹簧的两端分别与凸环和弹簧安装槽的槽壁相抵接。3.根据权利要求2所述的用于PEVCD工艺的玻璃纤维石英管，其特征在于，所述第一外翻边的端面上设有第一密封槽，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建平，朱国飞，费斌斌，
申请(专利权)人：苏州光协光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：