一种氯硅烷检测样品的前处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种氯硅烷检测样品的前处理系统，属于化工检测技术领域，包括低温吸收挥发装置，所述低温吸收挥发装置包括冷凝子装置和采样瓶(12)，采样瓶(12)设于冷凝子装置中，采样瓶(12)输入端通入有氯硅烷样品。本实用新型专利技术通过冷凝子装置配合采样瓶得到氯硅烷样品的凝液，实现了低沸点、易挥发氯硅烷检测样品的前处理；整个前处理过程完全密封，一方面能够避免氯硅烷样品直接与空气接触；另一方面能够保证氯硅烷样品充分冷凝，进而从氯硅烷样品中获取检测样品，以此保证检测样品制备的准确性与可靠性。的准确性与可靠性。的准确性与可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种氯硅烷检测样品的前处理系统


[0001]本技术涉及化工检测
，尤其涉及一种氯硅烷检测样品的前处理系统。

技术介绍

[0002]氯硅烷是制备多晶硅的重要原料,氯硅烷中杂质含量的高低是影响多晶硅产品质量的重要因素，一般通过检测其杂质含量进而监控氯硅烷制备工艺。其中氯硅烷的杂质包括B、P及金属元素等，B、P和金属杂质含量采用电感耦合等离子体质谱仪进行检测。针对低沸点物质，尤其是氯硅烷，由于其在空气极易挥发，且容易自燃，导致制备氯硅烷中杂质含量的检测样品困难，这是本领域亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术中氯硅烷中杂质含量的检测样品制备困难的问题，提供了一种氯硅烷检测样品的前处理系统。
[0004]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其包括低温吸收挥发装置，所述低温吸收挥发装置包括冷凝子装置和采样瓶，采样瓶设于冷凝子装置中，采样瓶输入端通入有氯硅烷样品。
[0005]在一示例中，所述冷凝子装置为杜冷杯，杜冷杯中盛有冷凝物质。或，冷凝子装置为半导体制冷设备。
[0006]在一示例中，所述冷凝物质为液氮。
[0007]在一示例中，所述杜冷杯上设有可视窗口。
[0008]在一示例中，所述杜冷杯或采样瓶中设有温度检测器。
[0009]在一示例中，所述采样瓶输出端连接有废气吸收装置。
[0010]在一示例中，所述废气吸收装置为废气吸收瓶，废气吸收瓶中盛有碱液。
[0011]在一示例中，所述采样瓶输入端连接有缓冲瓶，氯硅烷样品经缓冲瓶进入采样瓶。
[0012]在一示例中，所述前处理系统还包括存储氯硅烷样品的取样瓶，取样瓶输出端与采样瓶输入端连接。
[0013]在一示例中，所述取样瓶设有并联旁路，并联旁路一端通入惰性气体，另一端与采样瓶输入端连接。作为一选项，惰性气体为氮气或氩气。
[0014]需要进一步说明的是，上述各示例对应的技术特征可以相互组合或替换构成新的技术方案。
[0015]与现有技术相比，本技术有益效果是：
[0016]1、在一示例中，通过冷凝子装置配合采样瓶得到氯硅烷样品的凝液，即实现了氯硅烷检测样品的前处理(预处理)；整个前处理过程完全密封，一方面能够避免氯硅烷样品直接与空气接触；另一方面能够保证氯硅烷样品充分冷凝，进而从氯硅烷样品中获取检测样品(氯硅烷中杂质)，以此保证检测样品制备的准确性与可靠性。
[0017]2、在一示例中，通过杜冷杯上的可视窗口，便于观察氯硅烷样品的位置和液位，实现对检测样品前处理全过程的实时监控。
[0018]3、在一示例中，通过温度检测器能够实时监控采样瓶的温度，保证氯硅烷样品能够有效冷凝，实现对氯硅烷检测样品的前处理。
[0019]4、在一示例中，通过废气吸收装置能够吸收未冷凝的氯硅烷样品，防止未冷凝的氯硅烷及其杂质挥发至空气中引发安全事故。
[0020]5、在一示例中，通过缓冲瓶能够保证整个检测样品前处理过程的平稳性。
[0021]6、在一示例中，通过取样瓶向采样瓶中输送氯硅烷样品，进一步保证了检测样品前处理过程的稳定性与可靠性。
[0022]7、在一示例中，通过并联旁路向采样瓶中通入惰性气体，能够置换系统内空气并保证系统的气密性。
附图说明
[0023]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明，此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，在这些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。
[0024]图1为本技术一示例中的系统示意图；
[0025]图2为本技术优选示例的系统示意图。
[0026]图中：杜冷杯
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11、采样瓶
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12、废气吸收瓶
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2、缓冲瓶
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3、取样瓶
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4、第一阀门
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51、第二阀门
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52、第三阀门
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53、第四阀门
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54、第五阀门
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55、旁路
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6。
具体实施方式
[0027]下面结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系为基于附图所述的方向或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，属于“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，属于“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0031]本技术前处理系统，用于实现低沸点物质的检测样品的前处理，基于该前处理过程得到的低沸点物质的凝液以进一步制备检测样品，其中检测样品即该低沸点物质中包含的杂质，现以低沸点物质氯硅烷为例进行说明。
[0032]在一示例中，一种氯硅烷检测样品的前处理系统，如图1所示，系统具体包括低温吸收挥发装置，低温吸收挥发装置包括冷凝用的冷凝子装置以及采样用的采样瓶12，采样瓶12设于冷凝子装置中，采样瓶12输入端通入有待检测的氯硅烷样品。具体地，采样瓶12中上设有输入导管，输入导管伸入采样瓶12底部，待检测的氯硅烷样品经输入导管进入采样瓶12。进一步地，冷凝子装置对采样瓶12中的氯硅烷样品进行冷凝，得到氯硅烷样品的冷凝液，即完成了氯硅烷检测样品的前处理。本示例中，通过冷凝子装置配合采样瓶12得到氯硅烷样品的凝液，实现了低沸点、易挥发氯硅烷样品的采集，且整个前处理过程完全密封，一方面能够避免氯硅烷样品直接与空气接触污染氯硅烷样品；另一方面能够保证氯硅烷样品被充分冷凝，即最大程度防止部分未冷凝氯硅烷样品的挥发带走部分杂质进而导致后续制备的检测样品无法真实反应氯硅烷杂质含量。进一步地，在得到氯硅烷样品的凝液的基础上，将采样瓶从冷凝装置中取出，使未冷本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：其包括低温吸收挥发装置，所述低温吸收挥发装置包括冷凝子装置和采样瓶(12)，采样瓶(12)设于冷凝子装置中，采样瓶(12)输入端通入有氯硅烷样品。2.根据权利要求1所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述冷凝子装置为杜冷杯(11)，杜冷杯(11)中盛有冷凝物质。3.根据权利要求2所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述冷凝物质为液氮。4.根据权利要求2所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述杜冷杯(11)上设有可视窗口。5.根据权利要求2所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述杜冷杯(11)或采样瓶(12)中设有温度检测器。6.根据权利要求1所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：安军林，朱芙蓉，陈英春，陈英，曹岩德，魏东亮，邢成莉，姜涛，
申请(专利权)人：亚洲硅业青海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：