【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电装置
[0001]本专利技术涉及一种压电装置。
技术介绍
[0002]作为公开了压电装置的结构的文献，有日本特表2014
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515214号公报(专利文献1)、美国专利技术专利5633552号说明书(专利文献2)以及日本特开2017
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041824号公报(专利文献3)。
[0003]专利文献1所记载的压电装置是MEMS换能器，包括基板和多个悬臂梁。各悬臂梁顶端尖细，彼此相邻。各悬臂梁规定梁基端部、梁顶端部以及梁主体部。梁主体部配置于所述梁基端部与所述梁顶端部之间。各悬臂梁以各梁顶端部朝向共同的假想点延伸的方式配置。各悬臂梁沿着梁基端部与所述基板结合，并未沿着所述梁主体部与所述基板结合。
[0004]专利文献2所记载的压电装置是微机械装置，包括框架和至少一个悬臂构造。框架具有开口部。悬臂构造在开口部的周围的局部的范围安装于框架。悬臂构造覆盖开口部的大部分。悬臂构造包含三个子层。三个子层具有第1子层、第2子层以及第3子层。第2子层与第1子层和第3子层相邻。第1子层和第3子层实...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电装置，其中，该压电装置包括：仅一个梁部，其具有固定端部和位于与该固定端部相反的那一侧的自由端部，从该固定端部朝向所述自由端部延伸，由层叠体构成；以及环状的基部，其与所述梁部的所述固定端部连接，并且，在从所述层叠体的层叠方向观察时，位于除了所述固定端部以外与所述梁部隔开间隔地包围所述梁部的位置，所述层叠体包含：压电体层；第1电极层，其配置于该压电体层的一侧；以及第2电极层，其以隔着所述压电体层而与所述第1电极层的至少局部相对的方式配置，在从所述层叠方向观察时，所述梁部的与所述梁部的延伸方向正交的正交方向上的宽度的尺寸的平均值比所述延伸方向的长度的最大尺寸大。2.根据权利要求1所述的压电装置，其中，在从所述层叠方向观察时，所述固定端部的所述正交方向的宽度的尺寸比所述梁部的所述延伸方向的长度的最大尺寸大。3.根据权利要求1或2所述的压电装置，其中，在从所述层叠方向观察时，所述固定端部的所述正交方向的宽度的尺寸是所述自由端部的所述正交方向的宽度的尺寸的90％以上。4.根据权利要求1～3中任一项所述的压电装置，其中，在从所述层叠方向观察时，所述梁部具有矩形状的外形，该矩形状的外形具有与所述延伸方向平行的边。5.根据权利要求4所述的压电装置，其中，在从所述层叠方向观察时，所述梁部的所述正交方向上的宽度的尺寸的平均值是所述梁部的所述延伸方向的长度的最大尺寸的3.25倍以下。6.根据权利要求1～3中任一项所述的压电装置，其中，在从所述层叠方向观察时，所述固定端部与所述自由端部位于相互平行的位置，并且，在所述正交方向上所述自由端部位于所述固定端部的内侧，所述梁部还包含：第1侧端部，其从所述固定端部的一端沿着所述延伸方向呈直线状延伸；第2侧端部，其从所述固定端部的另一端沿着所述延伸方向呈直线状延伸；第1倾斜部，其从所述第1侧端部的与固定端部侧相反的那一侧的端在与所述延伸方向和所述正交方向分别交叉的方向上朝向所述自由端部的一端延伸；以及第2倾斜部，其从所述第2侧端部的与固定端部侧相反的那一侧的端在与所述延伸方向和所述正交方向分别交叉的方向上朝向所述自由端部的另一端延伸。7.根据权利要求1～6中任一项所述的压电装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：池内伸介，黑川文弥，梅泽青司，铃木胜之，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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