显示基板、显示面板及显示装置制造方法及图纸

技术编号：34236297 阅读：8 留言：0更新日期：2022-07-24 08:16

本公开提供了一种显示基板、显示面板及显示装置，包括：衬底基板(01)；低温多晶硅薄膜晶体管(02)，位于衬底基板(01)之上；低温多晶硅薄膜晶体管(02)包括位于衬底基板(01)上层叠设置的第一有源层(21)和第一栅极(22)；氧化物薄膜晶体管(03)，位于衬底基板(01)之上，氧化物薄膜晶体管(03)包括位于第一栅极(22)所在层背离衬底基板(01)一侧的第二有源层(31)；第一栅绝缘层(01)，位于第一有源层(21)与第一栅极(22)所在层之间，第一栅绝缘层(04)包括含氢绝缘层；第一层间绝缘层(05)，位于第一栅极(22)所在层与第二有源层(31)之间，第一层间绝缘层(05)包括阻挡氢材料层。缘层(05)包括阻挡氢材料层。缘层(05)包括阻挡氢材料层。缘层(05)包括阻挡氢材料层。