三氯氢硅精馏尾气回收利用系统技术方案

本申请提供一种三氯氢硅精馏尾气回收利用系统，包括，将三氯氢硅精馏尾气输入精馏尾气收集罐缓冲，再进入压缩机压缩得到压缩气，压缩气进深冷器，利用调节阀控制深冷器保持高压冷凝，大部分三氯氢硅和二氯二氢硅被冷凝回收，剩余气体仍含有二氯二氢硅和氯化氢等不凝性气体；未被冷凝的气体进入三氯氢硅合成炉再次反应生成三氯氢硅。本申请的三氯氢硅精馏尾气回收利用系统，将三氯氢硅精馏尾气回收并且利用，避免了直接处理所造成的环境污染，同时回收的尾气或是直接使用，或是再次反应生成三氯氢硅，都可再次创造价值，因而也具有节约能源、为企业创收的作用。为企业创收的作用。为企业创收的作用。

Trichlorosilane rectification tail gas recovery and utilization system

【技术实现步骤摘要】
三氯氢硅精馏尾气回收利用系统


[0001]本申请涉及化学化工领域，尤其涉及一种三氯氢硅精馏尾气回收利用系统。

技术介绍

[0002]三氯氢硅也称三氯硅烷，是一种无机物，化学式为SiHCl3，为无色液体，极易挥发，溶于苯、醚等多数有机溶剂，性质稳定。三氯氢硅主要用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料。常用的合成三氯氢硅的方法是沸腾氯化法，即硅粉经干燥后加入氯化沸腾炉，与通入炉中的干燥氯化氢气体在340℃进行反应得到合成气，再经过精馏等手段，将合成气中的三氯氢硅提纯后，冷凝，制得三氯氢硅成品。
[0003]三氯氢硅生产中产生的精馏尾气中成分比较复杂，除含有三氯氢硅、二氯二氢硅外，还有大量氯化氢等不凝性气体。常规方式都是精馏尾气进入尾气池，直接通过碱淋洗的方式吸收处理，这种处理方式不仅会产生大量废水，导致环境污染，而且精馏尾气中含有的氯硅烷、氯化氢等物质无法被回收利用，而导致资源浪费。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种三氯氢硅精馏尾气回收利用系统，用以解决上述三氯氢硅生产中，精馏尾气直接进入尾气池常规处理而无法回收利用，导致环境污染和资源浪费的问题。
[0005]本申请提供一种三氯氢硅精馏尾气回收利用系统，包括：
[0006]精馏尾气收集罐，压缩机，深冷器和三氯氢硅合成炉；
[0007]沿三氯氢硅精馏尾气处理方向，精馏尾气收集罐依次串联有压缩机、深冷器和三氯氢硅合成炉，深冷器还连接有三氯氢硅回收罐；
[0008]在深冷器和三氯氢硅合成炉之间设置有压力表和控制调节阀，且压力表靠近深冷器，调节阀靠近三氯氢硅合成炉，压力表用于监测深冷器内的压力，调节阀用于调控深冷器内的压力；
[0009]精馏尾气收集罐与三氯氢硅生产线中的精馏塔连接，用于收集三氯氢硅精馏尾气，压缩机用于将精馏尾气收集罐输出的三氯氢硅精馏尾气压缩至预设压力，深冷器用于将加压的精馏尾气冷凝，从中分离出三氯氢硅并排入至三氯氢硅回收罐中，三氯氢硅合成炉用于处理深冷器输出的不凝性气体。
[0010]可选地，三氯氢硅回收罐还连接有三氯氢硅精馏塔组，三氯氢硅精馏塔组还连接有三氯氢硅储罐。
[0011]可选地，三氯氢硅精馏塔组包括低压塔、换热器、高压塔和轻组分收集罐；
[0012]低压塔的塔底出口连接换热器的管程入口，换热器的管程出口连接高压塔的物料入口，高压塔的塔底出口连接三氯氢硅储罐；
[0013]高压塔的塔顶出口连接换热器的壳程入口，换热器的壳程出口连接轻组分收集罐；
[0014]低压塔的塔顶出口连接轻组分收集罐；轻组分收集罐用于将低压塔塔顶和高压塔塔顶的轻组分进行收集存储。
[0015]可选地，低压塔包括低压塔本体和第一高效导向筛板，第一高效导向筛板设置在低压塔本体内部，且第一高效导向筛板设置有多个，且呈交错式分布。
[0016]可选地，高压塔包括高压塔本体和第二高效导向筛板；第二高效导向筛板设置在高压塔本体内部，且第二高效导向筛板设置有多个，且呈交错式分布。
[0017]可选地，三氯氢硅精馏塔组可串联多组。可选地，在三氯氢硅回收罐和三氯氢硅精馏塔组之间还设置有吸收塔。
[0018]可选地，吸收塔内填充有粒径为100～5000μm的多孔硅胶。
[0019]本申请提供的三氯氢硅精馏尾气回收利用系统，将三氯氢硅精馏尾气输入精馏尾气收集罐缓冲，再进入压缩机压缩得到压缩气，压缩气进入深冷器，利用调节阀控制深冷器保持高压冷凝，大部分三氯氢硅和二氯二氢硅被冷凝回收，剩余气体仍含有二氯二氢硅和氯化氢等不凝性气体，未被冷凝的气体进入三氯氢硅合成炉再次反应生成三氯氢硅。本申请的三氯氢硅精馏尾气回收利用系统，将三氯氢硅精馏尾气回收并且利用，避免了直接处理所造成的环境污染和资源浪费，同时回收的尾气或是直接使用，或是再次反应生成三氯氢硅，都可再次创造价值，因而也具有节约能源、为企业创收的作用。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本申请一实施例提供的三氯氢硅精馏尾气回收利用系统的示意图；
[0022]图2为本申请另一实施例提供的三氯氢硅精馏尾气回收利用系统的示意图；
[0023]图3为本申请一实施例提供的三氯氢硅精馏塔组的示意图；
[0024]图4为本申请一实施例提供的低压塔的结构示意图；
[0025]图5为本申请一实施例提供的高压塔的结构示意图；
[0026]图6为本申请另一实施例提供的三氯氢硅精馏尾气回收利用系统的示意图。
[0027]附图标记说明：
[0028]1、精馏尾气收集罐；
[0029]2、压缩机；
[0030]3、深冷器；
[0031]4、三氯氢硅合成炉；
[0032]5、三氯氢硅回收罐；
[0033]6、三氯氢硅精馏塔组；
[0034]7、吸收塔；
[0035]8、低压塔；
[0036]801、低压塔本体；
[0037]802、第一高效导向筛板；
[0038]9、换热器；
[0039]10、高压塔；
[0040]1001、高压塔本体；
[0041]1002、第二高效导向筛板；
[0042]11、三氯氢硅储罐；
[0043]12、轻组分收集罐；
[0044]13、压力表；
[0045]14、调节阀。
具体实施方式
[0046]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，也属于本申请保护的范围。
[0047]如图1所示，本申请提供一种三氯氢硅精馏尾气回收利用系统，包括：
[0048]精馏尾气收集罐1，压缩机2，深冷器3和三氯氢硅合成炉4；
[0049]沿三氯氢硅精馏尾气处理方向，精馏尾气收集罐1依次串联有压缩机2、深冷器3和三氯氢硅合成炉4，深冷器3还连接有三氯氢硅回收罐5；
[0050]在深冷器3和三氯氢硅合成炉4之间设置有压力表13和调节阀14，且压力表13靠近深冷器3，调节阀14靠近三氯氢硅合成炉4，压力表13用于监测深冷器3内的压力，调节阀14用于调控深冷器3内的压力；
[0051]精馏尾气收集罐1与三氯氢硅生产线中的精馏塔连接，用于收集三氯氢硅精馏尾气，压缩机2用于将精馏尾气收集罐1输出的三氯氢硅精馏尾气压缩至预设压力，深冷器3用于将加压的精馏尾气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三氯氢硅精馏尾气回收利用系统，其特征在于，包括精馏尾气收集罐(1)，压缩机(2)，深冷器(3)和三氯氢硅合成炉(4)，沿三氯氢硅精馏尾气处理方向，所述精馏尾气收集罐(1)依次串联有压缩机(2)、深冷器(3)和三氯氢硅合成炉(4)，所述深冷器(3)还连接有三氯氢硅回收罐(5)；在所述深冷器(3)和所述三氯氢硅合成炉(4)之间设置有压力表(13)和调节阀(14)，且所述压力表(13)靠近深冷器(3)，所述调节阀(14)靠近所述三氯氢硅合成炉(4)，所述压力表(13)用于监测所述深冷器(3)内的压力，所述调节阀(14)用于调控所述深冷器(3)内的压力；所述精馏尾气收集罐(1)与三氯氢硅生产线中的精馏塔连接，用于收集三氯氢硅精馏尾气，所述压缩机(2)用于将所述精馏尾气收集罐(1)输出的三氯氢硅精馏尾气压缩至预设压力，所述深冷器(3)用于将加压的精馏尾气冷凝，从中分离出三氯氢硅并排入至所述三氯氢硅回收罐(5)中，所述三氯氢硅合成炉(4)用于处理所述深冷器(3)输出的不凝性气体。2.根据权利要求1所述的三氯氢硅精馏尾气回收利用系统，其特征在于，所述三氯氢硅回收罐(5)还连接有三氯氢硅精馏塔组(6)，三氯氢硅精馏塔组(6)还连接有三氯氢硅储罐(11)。3.根据权利要求2所述的三氯氢硅精馏尾气回收利用系统，其特征在于，所述三氯氢硅精馏塔组(6)包括低压塔(8)、换热器(9)、高压塔(10)和轻组分收集罐(12)；所述低压塔(8)的塔底出口连接换热器(9)的管程入口，换热器(9)的管程出口连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：王敏强，张丽烽，陈保平，赵剑，
申请(专利权)人：宁夏福泰硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：