一种机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，包含有：一承载装置，具有一承载面；其中该承载面具有一第一位置及一第二位置，且该第一位置与该第二位置间距一预定距离；一第一感测单元及一第二感测单元，设于该承载装置，用以感测该承载面的振动，据以产生一第一讯号与一第二讯号；一处理装置，用以接收并分析该第一讯号及该第二讯号；以及一警示装置，通讯连接该处理装置；借此，当该处理装置判断该第一讯号与该第二讯号不同时，即控制该警示装置发出一警示讯号。出一警示讯号。出一警示讯号。
Parallel sensing system of robot arm bearing device and load
【技术实现步骤摘要】
机械手臂承载装置与承载物平行感测系统
[0001]本技术与机械手臂有关，特别是指一种可即时监控机械手臂与承载物之间的平行状态是否异常的机械手臂承载装置与承载物平行感测系统。
技术介绍
[0002]在半导体的领域中，由于涉及晶圆的作业需要精确无误差的操作，因此业界普遍在制程中使用由电脑控制的机械手臂来执行搬运晶圆的作业。虽然机械手臂是利用电脑控制，但有时候还是会因突发状况而导致机械手臂产生不正常的动作如振动或偏摆，这些不正常的动作都会影响搬运晶圆时的精度，轻则影响搬运的那片晶圆，严重的话甚至会影响到整个制程中的晶圆。因此为了确保机械手臂的准确度，业者会在机械手臂上安装可以感测振动或位移的感测器，随时感应机械手臂是否保持正常的位置。一旦不正常的振动或位移产生偏差时，感测器会产生一讯号传输至主机中，进而提醒工程师或控制软体机械手臂的问题，将晶圆制程中的不确定因素降低。
[0003]过去在机械手臂上设置感测器的技术已有相关研发，如一种装置稳定性监控系统，为一侦测装置安装于一机械手臂的表面，用以即时监控机械手臂的振动状况，然后透过一告警模组在超过范围时发出告警讯息；另一种感测装置及感测系统，包含一感测装置安装在机械手臂的机身、底座或靠近马达的表面，利用该感测装置的振动讯号来判断机械或机台是否有异常；又一种可预先侦测机械手臂及帮浦异常的装置，包含有复数个感测器设置在机械手臂的连动机构表面，通过收集机械手臂的位移或振动资讯与资料库比对是否有异常讯号，并在异常讯号发出时回传给主机预先警示。
[0004]上述常用的机械手臂感测系统，主要是用来侦测机械手臂本身的振动状态。然而，一个问题是机械手臂或晶圆可能在前一制程中因为某些原因(如在前一制程进行倾斜或旋转)而未保持水平状态，常用的机械手臂感测系统仅能判断机械手臂是否产生振动，而无法察觉机械手臂或晶圆未处于水平状态，容易导致机械手臂在下一制程中在承载晶圆时无法维持稳定而影响到制程进行。因此，如何在机械手臂承载或运送晶圆时亦能即时感测机械手臂与晶圆之间是否处在平行状态是相关业界亟待解决的问题。
技术实现思路
[0005]本技术的主要目的在于提供一种机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，其可以即时监控机械手臂承载装置与承载物间的平行状态是否有异常。
[0006]为达成上述目的，本技术所提供的一种机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，包含有：一承载装置，具有一承载面；其中该承载面具有一第一位置及一第二位置，且该第一位置与该第二位置间距一预定距离；一第一感测单元，设于该承载装置的该第一位置，用以感测该承载面的振动，据以产生一第一讯号；一第二感测单元，设于该承载装置的该第二位置，用以感测该承载面的振动，据以产生一第二讯号；一处理装置，通讯连接于该第一感测单元及该第二感测单元，用以接收并分析该第一讯号及该第二讯号；以及一警示
装置，通讯连接该处理装置；借此，当该处理装置判断该第一讯号与该第二讯号不同时，即控制该警示装置发出一警示讯号。
[0007]在一实施例中，该处理装置分析该第一讯号以产生一第一讯号产生时间，该处理装置分析该第二讯号以产生一第二讯号产生时间；若该第一讯号产生时间与该第二讯号产生时间之一时间差大于一预定时间，该处理装置即判断该第一讯号与该第二讯号不同。
[0008]在一实施例中，该承载装置内部具有一第一感测容置空间及一第二感测容置空间；该第一感测容置空间位于该第一位置，该第二感测容置空间位于该第二位置，且该第一感测单元容置于该承载装置的该第一感测容置空间内，该第二感测单元容置于该承载装置的该第二感测容置空间内。
[0009]在一实施例中，该承载装置内部具有一传输线容置空间，分别连通至该第一感测容置空间与该第二感测容置空间；其中一第一传输线设于该传输线容置空间，一端电性连接于该第一感测单元，另一端电性连接于该处理装置；一第二传输线设于该传输线容置空间，一端电性连接于该第二感测单元，另一端电性连接于该处理装置。
[0010]在一实施例中，该处理装置更具有一控制单元，一端电性连接于该第一传输线及该第二传输线，另一端讯号连接于该处理装置；该控制单元用以对该第一讯号与该第二讯号进行讯号转换与处理。
[0011]在一实施例中，更包含有一封盖，设于该承载装置的该第一感测容置空间与该第二感测容置空间顶面，用以防止异物进出该第一感测容置空间与该第二感测容置空间。
[0012]在一实施例中，更包含有一封盖，设于该承载装置的该第一感测容置空间、该第二感测容置空间与该传输线容置空间顶面，用以防止异物进出该第一感测容置空间、该第二感测容置空间与该传输线容置空间。
[0013]在一实施例中，该承载装置为叉状，具有一柄部及二叉部；该二叉部自该柄部一端相对两侧延伸；该第一位置位于该二叉部其中一者远离该柄部一端，该第二位置位于该叉部另一者远离该柄部一端。
[0014]本技术的功效在于：该承载装置接触该物件时产生的复数讯号之间的时间差判断该承载装置与该物件之间是否为平行状态。如此一来，当该承载装置或该物件为非平行状态时，使用者可即时发现并处理，防止该承载装置以不稳定的状态承载或运送不稳定的物件，进而提升整体制程的稳定性与可靠度。
附图说明
[0015]图1为本技术一较佳实施例的分解图。
[0016]图2为本技术一较佳实施例的立体图。
[0017]图3为本技术一较佳实施例的第一状态示意图，显示该承载装置朝一侧倾斜时接触物件的感测情况。
[0018]图4为本技术一较佳实施例的第二状态示意图，显示该承载装置朝另一侧倾斜时接触物件的感测情况。
[0019]附图标记
[0020]10：承载装置；11：承载面；13：柄部；14：叉部；15：封盖容置空间；16：第一感测容置空间；17：第二感测容置空间；18：传输线容置空间；19：穿孔；20：第一感测单元；22：第一传
输线；30：第二感测单元；32：第二传输线；40：处理装置；42：控制单元；50：警示装置；60：封盖；62：锁孔；64：锁固件；70：物件；t：预定时间；Δt：时间差。
具体实施方式
[0021]以下即依本技术所揭示的目的与功效，举出较佳实施例，并配合附图详细说明。
[0022]请参阅图1及图2所示，本技术第一较佳实施例所提供的机械手臂承载装置与承载物平行感测系统其主要包含有：一承载装置10、一第一感测单元20、一第二感测单元30、一处理装置40、一警示装置50及一封盖60。
[0023]该承载装置10设置于一机械手臂，具有一承载面11用以承载并搬运一物件。该承载面11具有一第一位置及一第二位置，该第一位置及该第二位置间隔一预定距离，分别为该第一感测单元20与该第二感测单元30装设位置。在本实施例中，该承载装置10为一机械手臂的牙叉，具有一体成形的一柄部13及二叉部14。其中该柄部13的宽度从中央朝一端逐渐变宽，该二叉部14从该柄部13较宽的一端相对本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，其特征在于，包含有：一承载装置，具有一承载面；其中该承载面具有一第一位置及一第二位置，且该第一位置与该第二位置间距一预定距离；一第一感测单元，设于该承载装置的该第一位置，用以感测该承载面的振动，据以产生一第一讯号；一第二感测单元，设于该承载装置的该第二位置，用以感测该承载面的振动，据以产生一第二讯号；一处理装置，通讯连接于该第一感测单元及该第二感测单元，用以接收并分析该第一讯号及该第二讯号；以及一警示装置，通讯连接该处理装置；借此，当该处理装置判断该第一讯号与该第二讯号不同时，即控制该警示装置发出一警示讯号。2.如权利要求1所述的机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，其特征在于，该处理装置分析该第一讯号以产生一第一讯号产生时间，该处理装置分析该第二讯号以产生一第二讯号产生时间；若该第一讯号产生时间与该第二讯号产生时间之一时间差大于一预定时间，该处理装置即判断该第一讯号与该第二讯号不同。3.如权利要求1所述的机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，其特征在于，该承载装置内部具有一第一感测容置空间及一第二感测容置空间；该第一感测容置空间位于该第一位置，该第二感测容置空间位于该第二位置，且该第一感测单元容置于该承载装置的该第一感测容置空间内，该第二感测单元容置于该承载装置的该第二感测容置空间内。4.如权利要求3所述的机械手臂承载装置与承载物平行感测系...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴腾彦，刘家维，
申请(专利权)人：微程式资讯股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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