【技术实现步骤摘要】
机械手臂承载装置与承载物平行感测系统
[0001]本技术与机械手臂有关，特别是指一种可即时监控机械手臂与承载物之间的平行状态是否异常的机械手臂承载装置与承载物平行感测系统。
技术介绍
[0002]在半导体的领域中，由于涉及晶圆的作业需要精确无误差的操作，因此业界普遍在制程中使用由电脑控制的机械手臂来执行搬运晶圆的作业。虽然机械手臂是利用电脑控制，但有时候还是会因突发状况而导致机械手臂产生不正常的动作如振动或偏摆，这些不正常的动作都会影响搬运晶圆时的精度，轻则影响搬运的那片晶圆，严重的话甚至会影响到整个制程中的晶圆。因此为了确保机械手臂的准确度，业者会在机械手臂上安装可以感测振动或位移的感测器，随时感应机械手臂是否保持正常的位置。一旦不正常的振动或位移产生偏差时，感测器会产生一讯号传输至主机中，进而提醒工程师或控制软体机械手臂的问题，将晶圆制程中的不确定因素降低。
[0003]过去在机械手臂上设置感测器的技术已有相关研发，如一种装置稳定性监控系统，为一侦测装置安装于一机械手臂的表面，用以即时监控机械手臂的振动状况，然后...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，其特征在于，包含有：一承载装置，具有一承载面；其中该承载面具有一第一位置及一第二位置，且该第一位置与该第二位置间距一预定距离；一第一感测单元，设于该承载装置的该第一位置，用以感测该承载面的振动，据以产生一第一讯号；一第二感测单元，设于该承载装置的该第二位置，用以感测该承载面的振动，据以产生一第二讯号；一处理装置，通讯连接于该第一感测单元及该第二感测单元，用以接收并分析该第一讯号及该第二讯号；以及一警示装置，通讯连接该处理装置；借此，当该处理装置判断该第一讯号与该第二讯号不同时，即控制该警示装置发出一警示讯号。2.如权利要求1所述的机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，其特征在于，该处理装置分析该第一讯号以产生一第一讯号产生时间，该处理装置分析该第二讯号以产生一第二讯号产生时间；若该第一讯号产生时间与该第二讯号产生时间之一时间差大于一预定时间，该处理装置即判断该第一讯号与该第二讯号不同。3.如权利要求1所述的机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，其特征在于，该承载装置内部具有一第一感测容置空间及一第二感测容置空间；该第一感测容置空间位于该第一位置，该第二感测容置空间位于该第二位置，且该第一感测单元容置于该承载装置的该第一感测容置空间内，该第二感测单元容置于该承载装置的该第二感测容置空间内。4.如权利要求3所述的机械手臂承载装置与承载物平行感测系...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴腾彦，刘家维，
申请(专利权)人：微程式资讯股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。