可伸缩式吸气剂泵抽真空装置及应用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种可伸缩式吸气剂泵抽真空装置及应用方法。装置包括机械泵、分子泵、实验平台、离子泵、伸缩式吸气剂泵结构、真空规、真空腔、金属角阀、小抽气管、分子泵卡箍、大抽气管、大抽气管卡箍、硬管支撑、电动阀、硬管、硬弯管、离子泵支撑、离子泵角阀、支撑柱、离子泵直通管。其中伸缩式吸气剂泵结构由短直通管、螺钉、插板阀、伸缩管、直线导轨、调节架、手轮、手摇杆、右支架、定位块、左支架、吸气剂泵、左支架支撑、右支架支撑、调节丝杠等组成。利用伸缩式吸气剂泵结构，带动吸气泵剂整体移动，吸气剂泵远离或靠近真空腔，可适用经常破空的实验环境系统，可应用在量子传感、生物、化工、环境监测等需要抽超高真空领域。监测等需要抽超高真空领域。监测等需要抽超高真空领域。

Retractable getter pump vacuum pumping device and its application method

【技术实现步骤摘要】
可伸缩式吸气剂泵抽真空装置及应用方法


[0001]本专利技术涉及一种可伸缩式吸气剂泵抽真空装置及应用方法。

技术介绍

[0002]吸气剂泵（NEG）是一种化学吸附泵，可以吸收各种活性气体，如氢、氧、氮、二氧化碳、一氧化碳等。吸气剂材料与活性气体发生化学反应， 生成极低蒸气压的固体化合物，从而永久性地抽除真空系统中的各种活性气体。吸气剂泵主要对氢气等小分子气体有良好的抽气效果，氢气是通过溶解到吸气剂体内形成固溶体而被抽除的，但可以再生吸气剂组件，释放出氢气，恢复抽速和抽气容量。吸气剂泵特别适用于超高真空（UHV）系统。现有的吸气剂泵抽真空装置中的吸气剂泵直接安装在真空腔上，通过前级机械泵和分子泵抽到10
‑6mbar以下，再激活吸气剂泵，激活温度在400℃~500℃，激活时间60min
‑
120min。目前有在激光空间滤波器中使用的非蒸散型吸气剂泵，直接安装在真空细长管上（ CN111928996A采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器）；有很多针对吸气剂泵结构及吸气剂泵材料进行了优化，可提高吸气剂泵抽速（CN205858本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可伸缩式吸气剂泵抽真空装置，其特征是：包括机械泵（1）、分子泵（2）、实验平台（3）、离子泵（4）、伸缩式吸气剂泵结构（5）、真空规（6）、真空腔（7）、金属角阀（8）；机械泵（1）与分子泵（2）相连，分子泵（2）与金属角阀（8）相连；离子泵（4）、伸缩式吸气剂泵结构（5）、真空规（6）、金属角阀（8）分别与真空腔（7）相连；离子泵（4）、伸缩式吸气剂泵结构（5）、真空规（6）、真空腔（7）、金属角阀（8）固定在实验平台（3）。2.根据权利要求1所述的一种可伸缩式吸气剂泵抽真空装置，其特征是：所述的伸缩式吸气剂泵结构（5）包括短直通管（5.1）、螺钉（5.2）、插板阀（5.3）、伸缩管（5.4）、直线导轨（5.5）、调节架（5.6）、手轮（5.7）、手摇杆（5.8）、右支架（5.11）、定位块（5.10）、左支架（5.9）、吸气剂泵（5.12）、左支架支撑（5.13）、右支架支撑（5.14）、调节丝杠（5.15）；伸缩式吸气剂泵结构（5）通过转动顺时针手轮（5.7）和手摇杆（5.8）带动调节丝杠（5.15）移动，吸气剂泵（5.12）通过直线导轨（5.5）直线运动，伸缩管（5.4）收缩，吸气剂泵（5.12）可深入真空腔内，反之逆时针转动手轮（5.7）和手摇杆（5.8），吸气剂泵（5.12）可抽出真空腔（7）内。3.根据权利要求1或者2所述的一种可伸缩式吸气剂泵抽真空装置，其特征是：所述的伸缩式吸气剂泵结构（5）整体通过螺钉（5.2）刀口密封固定在真空腔（7）上，短直通管（5.1）通过螺钉与插板阀（5.3）刀口密封连接，插板阀（5.3）旋转把手控制阀板开合，可保证吸气剂泵（5.12）一直处于高真空环境，避免吸气剂泵（5.12）受到大气污染，影响吸气剂泵（5.12）使用寿命，同时插板阀（5.3）也为吸气剂泵（5.12）伸缩提供通道，保证吸气剂泵（5.12）可伸缩至真空腔（7）内，提高吸气剂泵（5.12）对真空腔（7）的有效抽速，并能保证吸气剂泵（5.12）伸长至插板阀（5.3）后侧，插板阀（5.3）旋转把手可手动转动或电动转动控制插板阀（5.3）阀板开合，插板阀（5.3）另一端通过螺钉刀口密封连接伸缩管（5.4），伸缩管（5.4）的收缩率大于或等于60%，同时也为吸气剂泵（5.12）提供可真空环境，并且伸缩管（5.4）可承受的温度大于或等于700℃，伸缩管（5.4）是焊接波纹管或者液压波纹管，伸缩管（5.4）的长度可根据吸气剂泵（5.12）长度进行不同的选择，吸气剂泵（5.12）与真空腔（7）的位置无极可调，可根据不同需求调节不同的位置，吸气剂泵（5.12）通过螺钉刀口密封连接伸缩管（5.4），伸缩管（5.4）一端支撑在左支架（5.9）上，左支架（5.9）通过螺钉固定在左支架支撑（5.13）上，整体通过螺钉固定在实验平台（3）上，两根直线导轨（5.5）安装在定位块（5.10）上，并通过螺钉固定在右支架（5.11）与左支架（5.9）上，定位块（5.10）铣有半圆槽结构用于直线导轨定位与移动，定位块（5.10）可沿着直线导轨（5.5）进行直线运动与定位，右支架支撑（5.14）支撑定位块（5.10），调节丝杠（5.15）固结在吸气剂泵（5.12）的法兰上。4.根据权利要求1所述的一种可伸缩式吸气剂泵抽真空装置，其特征是：包括机械泵（1）、分子泵（2）、实验平台（3）、离子泵（4）、伸缩式吸气剂泵结构（5）、真空规（6）、真空腔（7）、金属角阀（8）、小抽气管（9）、分子泵卡箍（10）、大抽气管（11）、大抽气管卡箍（12）、硬管支撑（13）、电动阀（14）、硬管（15）、硬弯管（16）、离子泵支撑（17）、离子泵角阀（18）、支撑柱（19）、离子泵直通管（20）；所述机械泵（1）通过螺钉固定安装在地面上，机械泵（1）用于对装置粗抽真空，机械泵（1）进气口通过卡箍与小抽气管（9）的一端连接，小抽气管（9）的另一端通过卡箍与分子泵（2）的排气口连接，分子泵（2）通过螺钉固定在支撑板上，分子泵（2）用于将真空腔（7）的气
体抽走，机械泵（1）为分子泵（2）的前级泵，分子泵（2）从真空腔（7）抽出的气体在排气口排出并通过小抽气管（9）排到机械泵（1）进气口，机械泵（1）用于将分子泵（2）排出的气体抽走，从机械泵（1）的排气口排出，分子泵（2）的进气口通过分子泵卡箍（10）与大抽气管（11）一端连接，大抽气管（11）另一端通过大抽气管卡箍（12）与硬管（15）连接，硬管支撑（13）通过下哈弗支撑硬管（15），上哈弗通过螺钉压紧固定硬管（15），保证硬管（15）整体固结在硬管支撑（13）上，硬管支撑（13）通过螺钉整体固定在实验平台（3）上，电动阀（14）一端与硬管（15）通过螺钉螺母刀口密封连接，电动阀（14）另一端与硬弯管（16）通过螺钉螺母刀口密封连接，电动阀（14）通过电机...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志明，何朝雄，梁韬，章逸舟，傅振海，高晓文，李楠，胡慧珠，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
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