一种多气体抽真空充气系统技术方案

一种多气体抽真空充气系统，涉及真空充气领域，解决现有技术操作过程繁琐，抽气过程时间长以及充气精度差等问题，包括械泵，分子泵，阀门，流量传感器，压强传感器，真空度传感器，电控装置和触摸屏；所述分子泵、机械泵、压强传感器以及真空度传感器均与抽气管道连接；所述流量传感器连接到充气管路，所述机械泵、分子泵、阀门、流量传感器、压强传感器和真空度传感器均与电控装置连接；所述电控装置与触摸屏连接。本新型可通过手动控制和自动控制两种模式供选择，适用于真空充气领域内科研、生产等各种场合，具有功能多样、易于操作、自动控制、实时监视、真空度高、充气精度高、充气比例可以按配方存储、调用等优点。调用等优点。调用等优点。

A multi gas vacuum charging system

【技术实现步骤摘要】
一种多气体抽真空充气系统


[0001]本技术涉及真空充气领域，具体涉及一种自动抽真空再自动充多种气体的系统。

技术介绍

[0002]目前，在制作生产二氧化碳激光器的过程中，有两个关键的步骤。1、需要先将密闭的腔体内抽成真空。2、向密闭腔体内按照一定顺序和任意比例充多种气体(包括稀有气体)。
[0003]现有技术采用玻璃系统，结构采用全玻璃结构，需人工操作，过程繁琐，充气，抽气过程时间长，充气精度也不高，一次完成工件的数量少。
[0004]为此，需要设计一种方便操作且充气精度高的充气系统。

技术实现思路

[0005]本技术为解决现有技术操作过程繁琐，抽气过程时间长以及充气精度差等问题，提供一种多气体抽真空充气系统。
[0006]一种多气体抽真空充气系统，该系统包括械泵，分子泵，流量传感器，压强传感器，真空度传感器，电控装置和触摸屏；所述分子泵、机械泵、压强传感器以及真空度传感器均与抽气管道连接；所述流量传感器连接到充气管路，所述机械泵、分子泵、流量传感器、压强传感器和真空度传感器均与电控装置连接；所述电控装置与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多气体抽真空充气系统，其特征是：该系统包括械泵(8)，分子泵(2)，流量传感器(1)，压强传感器(5)，真空度传感器(4)，电控装置(7)和触摸屏(6)；所述分子泵(2)、机械泵(8)、压强传感器(5)以及真空度传感器(4)均与抽气管道连接；所述流量传感器(1)连接到充气管路，所述机械泵(8)、分子泵(2)、流量传感器(1)、压强传感器(5)和真空度传感器(4)均与电控装置(7)连接；所述电控装置(7)与触摸屏(6)连接。2.根据权利要求1所述的一种多气体抽真空充气系统，其特征在于：所述压强传感器(5)与抽气管道之间设置有第一阀门(3)，流...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙尚勇，薛淼，于杨，崔庆冬，王洪亮，
申请(专利权)人：吉林省永利激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：