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一种多气体抽真空充气系统,涉及真空充气领域,解决现有技术操作过程繁琐,抽气过程时间长以及充气精度差等问题,包括械泵,分子泵,阀门,流量传感器,压强传感器,真空度传感器,电控装置和触摸屏;所述分子泵、机械泵、压强传感器以及真空度传感器均与抽气...该专利属于吉林省永利激光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉林省永利激光科技有限公司授权不得商用。
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一种多气体抽真空充气系统,涉及真空充气领域,解决现有技术操作过程繁琐,抽气过程时间长以及充气精度差等问题,包括械泵,分子泵,阀门,流量传感器,压强传感器,真空度传感器,电控装置和触摸屏;所述分子泵、机械泵、压强传感器以及真空度传感器均与抽气...