一种有机无机杂化飞秒激光直写光刻胶制造技术

本发明专利技术公开了一种有机

【技术实现步骤摘要】
一种有机无机杂化飞秒激光直写光刻胶


[0001]本专利技术涉及飞秒激光直写领域，进一步地，涉及一种有机
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无机杂化飞秒激光直写光刻胶。

技术介绍

[0002]飞秒激光直写技术是一种新型的纳米光刻技术，基于非线性的双光子/多光子吸收效应，具有实现亚百纳米微纳加工的能力。此外，飞秒激光直写技术无需使用掩膜版，且可在光刻胶内直写实现任意2D、3D结构的微纳加工，在微机械、生物工程、传感、光子器件等领域具有广泛的应用。
[0003]光刻胶是飞秒激光直写的介质和载体，直写影响着飞秒激光直写的精度和质量。目前，大部分正在使用的飞秒激光直写光刻胶为自由基光聚合型，成分主要为丙烯酸酯类树脂，例如季戊四醇三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、双酚A二丙烯酸酯等。上述丙烯酸酯类单体都为液态，在飞秒激光直写过程中，物镜通过匹配折射率油或者直接沉浸在光刻胶内，以实现加工。但是，液态飞秒激光直写光刻胶具有难以避免的缺陷：首先，在激光直写的过程中，产生的活性种在液态光刻胶内扩散速度较快，容易导致加工精度和分辨率的衰减；其次，氧气在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有机
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无机杂化飞秒激光直写光刻胶，其特征在于，按质量百分比计，包括：4
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6wt%的酸A、2
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3wt%的单体B、2
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3wt%硫醇化合物C、0.2
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1.0wt%光引发剂D及87
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91.8wt%溶剂E。2.如权利要求1所述的一种有机
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无机杂化飞秒激光直写光刻胶，其特征在于：所述的酸A为锆基丙烯酸酯、锆基甲基丙烯酸酯中的一种或混合物。3.如权利要求1所述的一种有机
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无机杂化飞秒激光直写光刻胶，其特征在于：所述的单体B为甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯的一种或混合物。4.如权利要求1所述的一种有机
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无机杂化飞秒激光直写光刻胶，其特征在于：所述的硫醇化合物C为四(3
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巯基丙酸)季戊四醇酯、六(3
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巯基丙酸)二季戊四醇酯、三羟甲基丙烷三(3
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巯基丙酸酯)中的一种或组合物。5.如权利要求1所述的一种有机
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【专利技术属性】
技术研发人员：曹春，匡翠方，夏贤梦，沈小明，邱毅伟，关玲玲，刘旭，
申请(专利权)人：之江实验室，
类型：发明
国别省市：