搬送系统及其异常控制方法技术方案

本申请提供一种搬送系统及其异常控制方法，所述搬送系统包括：自动化天车、第一区域控制器、第一区域恢复器和主控制器，所述自动化天车用于通过沿轨道运行以搬送物料，所述第一区域控制器用于控制所述轨道上第一区域内的自动化天车的运行，所述主控制器用于控制所述第一区域控制器；所述控制方法包括：当所述第一区域控制器异常，或者所述第一区域内的自动化天车运行异常时，所述第一区域恢复器控制所述第一区域内的自动化天车通过所述轨道移出所述第一区域。所述第一区域。所述第一区域。

Conveying system and its abnormal control method

【技术实现步骤摘要】
搬送系统及其异常控制方法


[0001]本申请涉及半导体制造
，尤其涉及一种搬送系统及其异常控制方法。

技术介绍

[0002]在制造半导体时，搬送系统用于通过自动化天车(Overhead Hoist Transfer，简称：OHT)，将所需的物料运送到特定位置。
[0003]现有技术中的搬送系统将自动化天车运行的轨道划分为多个区域，每个区域设置一个区域控制器来分别控制这个区域内运行的自动化天车。
[0004]但是，采用现有技术，当区域控制器出现异常或者区域内的自动化天车运行出现异常时，需搬送系统的操作人员对处理区域内的自动化天车进行手动管理，极大地增加了搬送系统在出现异常时的处理时间和成本，降低了搬送系统的运行效率。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种搬送系统及其异常控制方法，用于解决搬送系统出现异常时的处理时间和处理成本较高导致搬送系统运行效率较低的技术问题。
[0006]本申请第一方面提供一种搬送系统的异常控制方法，所述搬送系统包括：自动化天车、第一区域控制器、第一区域恢复器和主控制器，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬送系统的异常控制方法，其特征在于，所述搬送系统包括：自动化天车、第一区域控制器、第一区域恢复器和主控制器，所述自动化天车用于通过沿轨道运行以搬送物料，所述第一区域控制器用于控制所述轨道上第一区域内的自动化天车的运行，所述主控制器用于控制所述第一区域控制器；所述控制方法包括：当所述第一区域控制器异常，或者所述第一区域内的自动化天车运行异常时，所述第一区域恢复器控制所述第一区域内的自动化天车通过所述轨道移出所述第一区域。2.根据权利要求1所述的异常控制方法，其特征在于，还包括：当所述第一区域控制器异常，或者所述第一区域内的自动化天车运行异常时，所述第一区域恢复器控制所述第一区域控制器停止控制所述第一区域内的自动化天车。3.根据权利要求1或2所述的异常控制方法，其特征在于，还包括：当所述第一区域控制器异常，或者所述第一区域内的自动化天车异常时，所述第一区域恢复器控制所述第一区域控制器重启。4.根据权利要求1所述的异常控制方法，其特征在于，所述第一区域恢复器控制所述第一区域内的自动化天车通过所述轨道移出所述第一区域之前，还包括：所述第一区域恢复器接收所述主控制器发送的异常指示信息，并根据所述异常指示信息确定所述第一区域控制器异常，或者所述第一区域内的自动化天车运行异常。5.根据权利要求1所述的异常控制方法，其特征在于，所述第一区域恢复器控制所述第一区域内的自动化天车通过所述轨道移出所述第一区域，包括：所述第一区域恢复器通过无线接入点向自动化天车发送控制命令，所述控制命令用于控制自动化天车通过所述轨道移出所述第一区域。6.根据权利要求1所述的异常控制方法，其特征在于，所述第一区域恢复器控制所述第一区域内的自动化天车通过所述轨道移出所述第一区域之前，还包括：所述第一区域恢复器确定所述第一区域内运行的自动化天车的数量和/或运行速度，以及所述第一区域内运行的自动化天车移出所述第一区域的顺序。7.根据权利要求6所述的异常控制方法，其特征在于，当所述第一区域内运行多个自动化天车时，所述第一区域恢复器控制所述第一区域内的自动化天车通过所述轨道移出所述第一区域，包括：所述第一区域恢复器按照所述顺序，控制多个自动化天车依次通过所述轨道移出所述第一区域。8.根据权利要求6或7所述的异常控制方法，其特征在于，所述第一区域恢复器确定所述第一区域内运行的自动化天车的数量和/或运行速度，包括：所述第一区域恢复器通过设置在所述第一区域内的第一传感器，确定所述第一区域内运行的自动化天车的数量和/或运行速度。9.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒯乃明，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：