气体交换设备制造技术

本申请涉及气体交换技术领域，尤其是涉及一种气体交换设备，气体交换设备包括：主体构件，主体构件设置有进气口和输出口；气动阀，设置于主体构件；气动阀包括阀体以及设置于阀体内的阀芯；阀芯在阀体内具有第一作业位置和第二作业位置；气动膜片，主体构件形成有换气腔，气动膜片设置于换气腔内；阀芯处于第一作业位置时，气动膜片开启，换气腔与输出口连通；阀芯处于第二作业位置时，气动膜片关闭。本申请提供的气体交换设备，通过气动膜控制气体交换，有效避免阀芯动作产生颗粒而污染气体，保证了气体清洁度。气体清洁度。气体清洁度。

Gas exchange equipment

【技术实现步骤摘要】
气体交换设备


[0001]本申请涉及气体交换
，尤其是涉及一种气体交换设备。

技术介绍

[0002]目前，现有的阀门或者多个阀门的组合可以做到气体交换，但气体经常经过阀芯，导致阀芯在动作过程中产生的颗粒容易污染气体，影响气体的洁净度。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种气体交换设备，以在一定程度上解决现有技术中存在的阀门在进行气体交换过程中，由于阀门动作容易产生颗粒而污染气体的技术问题。
[0004]本申请提供了一种气体交换设备，包括：主体构件，所述主体构件设置有进气口和输出口；
[0005]气动阀，设置于所述主体构件；所述气动阀包括阀体以及设置于所述阀体内的阀芯；所述阀芯在所述阀体内具有第一作业位置和第二作业位置；
[0006]气动膜片，所述主体构件形成有换气腔，所述气动膜片设置于所述换气腔内；所述阀芯处于所述第一作业位置时，所述气动膜片开启，所述换气腔与所述输出口连通；所述阀芯处于所述第二作业位置时，所述气动膜片关闭。
[0007]在上述技术方案中，进一步地，所述气体交换设备还包括：
[0008]第一先导阀，与所述气动阀连通；
[0009]第二先导阀，与所述气动阀连通；
[0010]所述第一先导阀和所述第二先导阀用于控制所述阀芯在所述第一作业位置和所述第二作业位置之间切换。
[0011]在上述任一技术方案中，进一步地，所述进气口包括：
[0012]正压气体进口，与所述第一先导阀和所述第二先导阀连通；/>[0013]真空气体进口，与所述换气腔连通；
[0014]大气进口，与所述换气腔连通；
[0015]所述正压气体进口、所述真空气体进口和所述大气进口以及所述输出口均设置有密封圈。
[0016]在上述任一技术方案中，进一步地，所述主体构件包括：
[0017]固定座，所述气动阀设置于所述固定座；
[0018]汇流构件，所述汇流构件设置于所述固定座，所述汇流构件设置有多个通气管路；
[0019]所述换气腔设置于所述固定座与所述汇流构件之间；
[0020]所述正压气体进口、所述真空气体进口、所述大气进口均设置于所述固定座；
[0021]所述正压气体进口通过其中一个所述通气管路分别与所述第一先导阀和所述第二先导阀连通。
[0022]在上述任一技术方案中，进一步地，所述气动阀的底部形成有多个接口；
[0023]所述正压气体进口通过其中一个所述通气管路与其中一个所述接口连通；所述真空气体进口通过其中一个所述通气管路与其中另一个所述接口连通；所述大气进口通过其中一个所述通气管路与其中另外一个所述接口连通。
[0024]在上述任一技术方案中，进一步地，所述固定座面对所述汇流构件的一侧表面形成第一槽部，所述汇流构件面对所述第一槽部的位置形成第二槽部，所述第一槽部和所述第二槽部共同限定出所述换气腔；
[0025]所述气动膜开启时所述气动膜位于所述第一槽部内，所述气动膜关闭时，所述气动膜位于所述第二槽部内。
[0026]在上述任一技术方案中，进一步地，所述气体交换设备还包括电气板卡；
[0027]所述汇流构件设置有固定组件，所述电气板卡设置于所述固定组件；
[0028]所述电气板卡设置有第一数据接口和第二数据接口，所述第一数据接口和所述第二数据接口分别与所述第一先导阀连接；
[0029]所述电气板卡还设置有对外数据接口。
[0030]在上述任一技术方案中，进一步地，所述固定组件包括：
[0031]至少两个板卡保护条，至少两个所述板卡保护条分别设置于所述电气板卡的两侧并与所述电气板卡连接；所述板卡保护条与所述汇流构件连接；
[0032]盖板，与至少两个所述板卡保护条中的每一个所述板卡保护条连接，所述电气板卡设置于所述盖板以及所述板卡保护条形成的容纳空间内。
[0033]在上述任一技术方案中，进一步地，所述气体交换设备还包括用于检测所述输出口的压力的压力传感器，所述压力传感器与所述电气板卡连接。
[0034]在上述任一技术方案中，进一步地，所述第一先导阀和所述第二先导阀均为两位三通电磁阀；
[0035]所述气动阀为两位五通气动阀。
[0036]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0037]本申请提供的气体交换设备包括：主体构件，主体构件设置有进气口和输出口；气动阀，设置于主体构件；气动阀包括阀体以及设置于阀体内的阀芯；阀芯在阀体内具有第一作业位置和第二作业位置；气动膜片，主体构件形成有换气腔，气动膜片设置于换气腔内；阀芯处于第一作业位置时，气动膜片开启，换气腔与输出口连通；阀芯处于第二作业位置时，气动膜片关闭。
[0038]本申请提供的气体交换设备，本申请提供的气体交换设备，通过气动膜控制气体交换，在气体交换过程中气体仅流经气动阀一个阀门，而不需要流经多余电磁阀的阀芯，并且气体在阀芯内部也是经过管路流动并配合气动膜的不同状态实现气体交换，从而避免了阀芯动作产生颗粒而污染气体，保证了气体清洁度。
附图说明
[0039]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0040]图1为本申请实施例提供的气体交换设备的结构示意图；
[0041]图2为本申请实施例提供的气体交换设备的侧视图；
[0042]图3为图2沿A
‑
A的剖视图；
[0043]图4为图3提供的气体交换设备在B处的放大结构示意图。
[0044]附图标记：
[0045]1‑
电气板卡，101
‑
第一数据接口，102
‑
第二数据接口，103
‑
对外数据接口，2
‑
板卡保护条，3
‑
盖板，301
‑
缺口，4
‑
气动阀，5
‑
第一先导阀，6
‑
第二先导阀，7
‑
汇流构件，701
‑
第一槽部，702
‑
先导气管，8
‑
固定座，801
‑
第二槽部，9
‑
输出口，10
‑
正压气体进口，11
‑
大气进口，12
‑
真空气体进口，13
‑
气动膜片，14
‑
长螺钉，15
‑
固定法兰，16
‑
备用进气口。
具体实施方式
[0046]下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体交换设备，其特征在于，包括：主体构件，所述主体构件设置有进气口和输出口；气动阀，设置于所述主体构件；所述气动阀包括阀体以及设置于所述阀体内的阀芯；所述阀芯在所述阀体内具有第一作业位置和第二作业位置；气动膜片，所述主体构件形成有换气腔，所述气动膜片设置于所述换气腔内；所述阀芯处于所述第一作业位置时，所述气动膜片开启，所述换气腔与所述输出口连通；所述阀芯处于所述第二作业位置时，所述气动膜片关闭。2.根据权利要求1所述的气体交换设备，其特征在于，所述气体交换设备还包括：第一先导阀，与所述气动阀连通；第二先导阀，与所述气动阀连通；所述第一先导阀和所述第二先导阀用于控制所述阀芯在所述第一作业位置和所述第二作业位置之间切换。3.根据权利要求2所述的气体交换设备，其特征在于，所述进气口包括：正压气体进口，与所述第一先导阀和所述第二先导阀连通；真空气体进口，与所述换气腔连通；大气进口，与所述换气腔连通；所述正压气体进口、所述真空气体进口和所述大气进口以及所述输出口均设置有密封圈。4.根据权利要求3所述的气体交换设备，其特征在于，所述主体构件包括：固定座，所述气动阀设置于所述固定座；汇流构件，所述汇流构件设置于所述固定座，所述汇流构件设置有多个通气管路；所述换气腔设置于所述固定座与所述汇流构件之间；所述正压气体进口、所述真空气体进口、所述大气进口均设置于所述固定座；所述正压气体进口通过其中一个所述通气管路分别与所述第一先导阀和所述第二先导阀连通。5.根据权利要求4所述的气体交换设备，其特征在于，所述气动阀的底部形成有多个接口；所述正压气体进口通过其中一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李峥，李霖，于朋扬，王洪宇，李思，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：