一种固态沉积装置及固态沉积系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种固态沉积装置及固态沉积系统，涉及冷喷涂技术领域。固态沉积装置包括机械手、固态沉积机构和用于对待喷涂基材进行温度检测的温度检测机构和用于对待喷涂基材进行预热的电磁感应加热器，电磁感应加热器、温度检测机构和固态沉积机构的喷嘴均安装于机械手上，以使三者联动并具有相同的移动轨迹和速度；其中，温度检测机构安装于固态沉积机构的喷嘴和电磁感应加热器之间。采用本实用新型专利技术提供的固体沉积装置能够对金属固态沉积过程中对基体温度进行实时控制，利用电磁感应的加热方式避免了激光辅助预热所面临的问题，有利于沉积得到界面结合强度很高的涂层。有利于沉积得到界面结合强度很高的涂层。有利于沉积得到界面结合强度很高的涂层。

A solid-state deposition device and solid-state deposition system

【技术实现步骤摘要】
一种固态沉积装置及固态沉积系统


[0001]本技术涉及冷喷涂
，具体而言，涉及一种固态沉积装置及固态沉积系统。

技术介绍

[0002]金属固态沉积是以压缩气体(氮气、氦气、空气或混合气体等)为加速介质，携带金属固态颗粒进入拉瓦尔喷嘴内产生超音速气固两相流，当金属固态颗粒以较高的速度(大于等于其临沉积速度)碰撞基体表面，金属颗粒和基体表面材料在发生强烈的塑性变形后，材料界面便会形成大量机械咬合和微区冶金结合，经过大量金属颗粒的碰撞沉积，便会在基体表面形成金属沉积体。
[0003]金属固态沉积作为一种新兴的表面处理工程新技术，是传统热喷涂技术的重要补充之一。与气体涂层制备技术相比，金属固态沉积技术的一个显著特点是无需将喷涂颗粒加热至熔融状态，喷涂过程中颗粒不易发生氧化、烧损、相变、晶粒长大等现象。因此金属固态沉积涂层的化学成分以及显微组织结构可与原材料保持一致，尤其适用于易氧化的铝铜银等材料的涂层制备。
[0004]目前主要的预热方式是激光辅助预热，对于金、银、铜、铝、铂等纯金属及其合金，激光反射率非常高。以铜为例，对波长为1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固态沉积装置，其特征在于，包括机械手、固态沉积机构和用于对待喷涂基材进行温度检测的温度检测机构和用于对待喷涂基材进行预热的电磁感应加热器，所述电磁感应加热器、所述温度检测机构和所述固态沉积机构的喷嘴均安装于所述机械手上，以使三者联动并具有相同的移动轨迹和速度；其中，所述温度检测机构安装于所述固态沉积机构的喷嘴和所述电磁感应加热器之间。2.根据权利要求1所述的固态沉积装置，其特征在于，所述电磁感应加热器的加热头包括中空金属管圈，所述中空金属管圈是由圆柱形金属材料自上而下盘旋形成。3.根据权利要求2所述的固态沉积装置，其特征在于，所述中空金属管圈的直径为10
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20mm。4.根据权利要求2所述的固态沉积装置，其特征在于，形成所述中空金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢迎春，王高民，张科杰，黄仁忠，邓春明，
申请(专利权)人：广东省科学院新材料研究所，
类型：新型
国别省市：