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一种固态沉积装置及固态沉积系统制造方法及图纸
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下载一种固态沉积装置及固态沉积系统的技术资料
文档序号:34172280
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本实用新型提供一种固态沉积装置及固态沉积系统,涉及冷喷涂技术领域。固态沉积装置包括机械手、固态沉积机构和用于对待喷涂基材进行温度检测的温度检测机构和用于对待喷涂基材进行预热的电磁感应加热器,电磁感应加热器、温度检测机构和固态沉积机构的喷嘴均...
该专利属于广东省科学院新材料研究所所有,仅供学习研究参考,未经过广东省科学院新材料研究所授权不得商用。
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