本发明专利技术公开了一种废酸再生装置，包括两个相同轮流使用的再生装置；所述再生装置包括过滤装置，与所述过滤装置连接的吸附装置，与所述吸附装置连接的再生装置，与所述吸附装置连接用于收集再生酸的收集装置。本发明专利技术通过树脂吸附废酸中的盐，生成纯净的再生酸，能够起到重复利用的效果，其次，对于树脂通过再生液进行冲洗，起到重复利用的效果，不污染环境。不污染环境。不污染环境。
A waste acid regeneration device and method
【技术实现步骤摘要】
一种废酸再生装置及方法
[0001]本专利技术涉及半导体领域，具体涉及一种废酸再生装置及方法。
技术介绍
[0002]在半导体结晶硅圆过程中，通过柠檬酸进行蚀刻，会产生含有固体颗粒、柠檬酸盐、以及柠檬酸的废液，若将该废液直接排出会污染环境，因此需要将该废液中的柠檬酸重复利用，固体颗粒以及柠檬酸盐进行处理。
技术实现思路
[0003]为了解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案为：本专利技术一方面提供一种废酸再生装置，包括两个相同轮流使用的再生装置；所述再生装置包括过滤装置，与所述过滤装置连接的吸附装置，与所述吸附装置连接的再生装置，与所述吸附装置连接用于收集再生酸的收集装置。
[0004]在本专利技术提供的实施例中，所述过滤装置的上游设有压力提升泵。
[0005]在本专利技术提供的实施例中，所述过滤装置包括保安过滤器和活性炭过滤器。
[0006]在本专利技术提供的实施例中，所述再生装置包括酸池和碱池；所述酸池内为5%浓度的盐酸，所述碱池内为5%浓度的氢氧化钠溶液。
[0007]在本专利技术提供的实施例中，所述再生装置的出液口设有压力提升泵。
[0008]在本专利技术提供的实施例中，所述吸附装置内设有吸附树脂。
[0009]在本专利技术提供的实施例中，还包括冲洗装置，所述冲洗装置与所述吸附装置连接。
[0010]本专利技术还提供一种废酸再生方法，包括以下步骤：S1：先将含有柠檬酸的废液经过滤装置过滤，去除废液中的颗粒物质；S2：过滤后的废液经吸附装置吸附，除去废液中的盐，排出纯净的柠檬酸，经收集装置收集；S3：由于吸附装置长期吸附废液中的盐导致树脂会逐渐失去吸附能力，此时停止吸附工作，经再生装置中的再生液冲洗树脂，去除树脂吸附的盐，从而恢复树脂的吸附能力。
[0011]本专利技术通过树脂吸附废酸中的盐，生成纯净的再生酸，能够起到重复利用的效果，其次，对于树脂通过再生液进行冲洗，起到重复利用的效果，不污染环境。
[0012]本专利技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本专利技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以
根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本专利技术实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0015]下面结合附图对本专利技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0016]应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
[0017]本专利技术一方面提供一种废酸再生装置，包括两个相同轮流使用的再生装置；所述再生装置包括过滤装置1，与所述过滤装置1连接的吸附装置2，与所述吸附装置2连接的再生装置3，与所述吸附装置2连接用于收集再生酸的收集装置4。
[0018]进一步地，所述过滤装置1的上游设有压力提升泵6，保证废液的压力，从而保证废液经过过滤装置时能够具有足够的压力。
[0019]进一步地，所述过滤装置1包括保安过滤器和活性炭过滤器，通过两部分的过滤，保证废液能够完全过滤。
[0020]在本专利技术提供的实施例中，所述再生装置3包括酸池和碱池；所述酸池内为5%浓度的盐酸，所述碱池内为5%浓度的氢氧化钠溶液。
[0021]在本专利技术提供的实施例中，所述再生装置3的出液口设有压力提升泵6，保证冲洗树脂再生液和盐反应的同时冲洗树脂。
[0022]在本专利技术提供的实施例中，所述吸附装置2内设有吸附树脂6，所述吸附树脂为酸性阳离子交换树脂和碱性阴离子交换树脂，优选的，阳离子交换树脂为001*7树脂，阴离子交换树脂201*7树脂。
[0023]进一步的，工作人员可以根据不同的废液选择不同的吸附树脂，本专利技术对此不作任何限制。
[0024]在本专利技术提供的实施例中，还包括冲洗装置5，所述冲洗装置与所述吸附装置连接，保证再生完成后使用清水将树脂上残留的溶液冲洗，为下次树脂工作提供保障。
[0025]在本专利技术提供的实施例中，由于本专利技术具有两个再生装置，现使用其中一个再生装置进行工作吸附，当该装置吸附饱和后，停止工作，另一个再生装置工作，两个再生装置的轮流工作保证废酸再生装置持续工作。
[0026]本专利技术另一方面提供一种废酸再生方法，包括以下步骤：S1：先将含有柠檬酸的废液经过滤装置过滤，去除废液中的颗粒物质；S2：过滤后的废液经吸附装置吸附，除去废液中的盐，排出纯净的柠檬酸，经收集装置收集；S3：由于吸附装置长期吸附废液中的盐导致树脂会逐渐失去吸附能力，此时停止吸附工作，经再生装置中的再生液冲洗树脂，去除树脂吸附的盐，即形成络合物去除，从而恢复树脂的吸附能力。
[0027]所述再生液为盐酸和氢氧化钠溶液。
[0028]尽管本专利技术的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本专利技术的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实
现另外的修改。因此本专利技术并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本专利技术的启示下，在不脱离本专利技术宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本专利技术的保护之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种废酸再生装置，其特征在于，包括两个相同轮流使用的再生装置；所述再生装置包括过滤装置，与所述过滤装置连接的吸附装置，与所述吸附装置连接的再生装置，与所述吸附装置连接用于收集再生酸的收集装置。2.如权利要求1所述的一种废酸再生装置，其特征在于，所述过滤装置的上游设有压力提升泵。3.如权利要求1所述的一种废酸再生装置，其特征在于，所述过滤装置包括保安过滤器和活性炭过滤器。4.如权利要求1所述的一种废酸再生装置，其特征在于，所述再生装置包括酸池和碱池；所述酸池内为5%浓度的盐酸，所述碱池内为5%浓度的氢氧化钠溶液。5.如权利要求4所述的一种废酸再生装置，其特征在于，所述再生装置的出液口设有压力提升泵。6.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴晗，许增团，李小钢，王强，冯龚，刘慧，路卫东，李战刚，
申请(专利权)人：陕西华浩科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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