用于在螺旋断层中延长样品寿命的照明孔径制造技术

具有参考边缘的孔径定位成界定样品照射区和屏蔽区。所述样品照射区包括接近与检测器共轭的所述屏蔽区的一部分。样品从所述屏蔽区扫描到所述样品照射区中，使得所述样品可保持为未曝光，直至所述样品相对于所述检测器恰当地定位以用于成像。减少所述样品的照射曝光，从而允许优良成像。从而允许优良成像。从而允许优良成像。

Illumination aperture for extending sample life in spiral fault

【技术实现步骤摘要】
用于在螺旋断层中延长样品寿命的照明孔径


[0001]本公开涉及利用电子束（尤其是螺旋断层）成像。

技术介绍

[0002]透射电子显微镜（TEM）可用于获得揭示多种样品（包括生物样品）的重要细节的高分辨率图像。在典型应用中，将所关注样品放在用于支撑的电子透射性薄片上且使薄片和样品曝光于电子束。许多所关注样品可通过曝光于电子束而受到损坏或以其它方式更改，且在不损坏的情况下可施加的剂量（总电荷）是有限的。在一些情况下，例如在电子束断层中需要样品的多个图像。即使对于每一图像使用低剂量，但多个图像的获取也可产生样品损坏，使得最终所获取图像并不对应于初始样品结构。此外，低剂量曝光可产生有噪声的图像。需要在不产生不可接受的样品损坏的情况下允许令人满意的成像的改进方法。

技术实现思路

[0003]方法包含：利用光束限制孔径界定照射区；以及定位检测器以从照射区的检测器区接收辐射，其中检测器区与检测器主动区域共轭。样品的第一部分定位在检测器区内，其中样品的至少第二部分定位在照射区外部。当样品的第一部分定位在检测器区内时，基于由检测器接收到的辐射产生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方法，其包含：利用光束限制孔径界定照射区；定位检测器以从所述照射区的检测器区接收辐射，其中所述检测器区与检测器主动区域共轭；将样品的第一部分定位在所述检测器区内，其中所述样品的至少第二部分定位在所述照射区外部；当所述样品的所述第一部分定位在所述检测器区内时，基于由所述检测器接收到的辐射产生所述样品的所述第一部分的第一图像；平移所述样品，使得所述样品的所述第二部分定位在所述检测器区内；以及当所述样品的所述第二部分定位在所述检测器区内时，基于由所述检测器接收到的辐射产生所述样品的所述第二部分的第二图像。2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含平移所述样品，使得定位在所述照射区外部的所述样品的第三部分移动到所述检测器区中；以及当所述样品的所述第三部分定位在所述检测器区内时，基于由所述检测器接收到的辐射产生所述样品的所述第三部分的第三图像。3.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含：应用所述样品的多个平移以定位位于所述检测器区内的所述照射区外部的所述样品的多个额外部分中的每一个；以及当所述样品的每一额外部分定位在所述检测器区内时，基于由所述检测器接收到的辐射产生所述多个额外部分中的每一个的图像。4.根据权利要求1中任一项所述的方法，其中所述检测器具有至少一个边缘，且所述光束限制孔径界定所述检测器区中的共轭边缘，且所述样品的所述第一部分和所述第二部分在所述共轭边缘处平移到所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：O，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：