一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备制造技术

本发明专利技术公开了一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，包括加工室，所述加工室的一侧设置有密封门，所述加工室内设置有若干个可完全拉出的托盘，所述加工室的一侧设置有用于逐个将托盘拉出并翻转的下料装置，所述托盘内设置有多个呈阵列分布的能够对卷材进行合围固定的夹持组件，所述夹持组件的一侧设置有控制其开闭的能够弹性复位的齿条，所述托盘的一侧设置有受力横板，所述齿条的一端均与受力横板的一侧固定，所述托盘的竖直外壁固定连接有卡座。本发明专利技术实现了已完成惰性物质植入的非晶碳膜卷的机械化下料，采购和使用成本较低，效率和安全性高，提升了能源利用率，降低了损坏率，结构巧妙合理，满足了人们在生产生活中的使用需求。需求。需求。

An inert material implantation device for amorphous carbon film processing

【技术实现步骤摘要】
一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备


[0001]本专利技术涉及非晶碳膜加工设备
，尤其涉及一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备。

技术介绍

[0002]现有的非晶碳膜在加工的过程中，需要进行惰性物质的植入，从而改变其硬度、致密性、耐磨性等物理性质，在植入的过程中，首先需要将大卷材的非晶碳膜卷切割后重新卷成同等尺寸的尺寸较小的卷材后整齐的排列在托盘上，并送入加工箱内，并在高温高压下完成惰性物质的植入，现有的植入设备，在完成非晶碳膜的惰性物质的植入后，非晶碳膜卷从加工箱上的托盘内的取出过程十分的繁重、缓慢，效率较低，导致加工箱内的温度散失速度较快，能量利用率较低，且现有的下料设备在将诸多工序中需要采用大量的电机和气缸的协作实现多层托盘内的非晶碳膜卷的下料，设备的采购和使用成本较高，且对各个电子器件之间的相互协作的协调性的要求较高，在长期使用的过程中，极易产生协调性上的偏差，造成非晶碳膜的脱位，即使冷却后的非晶碳膜卷依然会造成附近工人的损伤，安全风险较大，满足不了人们在生产生活中的使用需求。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中完成惰性物质的植入后的非晶碳膜卷的下料速度慢、成本高且安全性差的问题，而提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0005]一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，包括加工室，所述加工室的一侧设置有密封门，所述加工室内设置有若干个可完全拉出的托盘，所述加工室的一侧设置有用于逐个将托盘拉出并翻转的下料装置，所述托盘内设置有多个呈阵列分布的能够对卷材进行合围固定的夹持组件，所述夹持组件的一侧设置有控制其开闭的能够弹性复位的齿条，所述托盘的一侧设置有受力横板，所述齿条的一端均与受力横板的一侧固定，所述托盘的竖直外壁固定连接有卡座，所述卡座的两端开设有卡槽，所述下料机构通过卡座对托盘进行固定后将其从加工室内抽出后进行翻转，并在翻转完成后推动受力横板平移，从而使得卷材得到释放并下落，所述的下料机构内还设置有角度和长度均可调节的，用于卷材下移的导料伸缩板；
[0006]所述托盘的内壁固定连接有隔板，所述隔板上开设有若干个弧形滑孔，所述夹持组件包括外齿环和气内测的若干个滑动安装在弧形滑孔内的夹杆，所述夹杆的顶部固定有圆杆，所述圆杆与外齿环的内壁之间转动安装有联动套。
[0007]优选的，所述下料装置包括可移动底座，所述可移动底座的竖直上方设置有顶台，所述顶台与可移动底座之间转动安装有定高轨道筒并固定连接有立轴，所述定高轨道筒和立轴的外侧竖直滑动安装有升降环，所述定高轨道筒的筒体开设有螺旋式的轨道槽并滑动连接有内滑圆芯，所述内滑圆芯的一端与升降环的内壁固定连接，所述定高轨道筒的顶端
同轴固定有槽轮，所述顶台上安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴连接有主动齿轮，所述主动齿轮的一侧啮合连接有从动齿环，所述从动齿环的底端同轴固定有缺口轮盘，所述缺口轮盘与槽轮相配合。
[0008]优选的，所述升降环的一侧固定连接有升降架，所述升降架上水平转动安装有横圆轴，所述从动齿环和缺口轮盘均开设有多边形通孔并滑动穿过有联动多边形滑杆，所述联动多边形滑杆的底端与横圆轴的一端之间传动连接有锥齿轮组，所述升降架底部一侧竖直固定连接有立筒，立筒内竖直滑动穿过有升降杆，所述升降杆的顶部安装有接触滚珠，所述横圆轴的外侧固定套设有在转动中能够控制接触滚珠竖直高度的定高环，所述升降架的底部固定水平吊设有圆外筒，所述圆外筒的顶部筒体开设有顶孔，圆外筒内滑动连接有外伸旋轴，所述外伸旋轴的一端外侧开设有环槽并转动安装有升降杆，所述升降杆的底端与环套之间转动安装有联动臂，所述外伸旋轴的轴体外侧开设有螺旋式的滑槽，所述圆外筒的端部内壁固定连接有固定圆芯，所述固定圆芯的一端滑动连接在滑槽内。
[0009]优选的，所述外伸旋轴的一端延伸至圆外筒的外部并固定连接有横中轴，所述横中轴与卡座之间设置有卡接机构，所述卡接机构包括固定安装在横中轴一端的垂直筒，所述垂直筒内滑动连接有两个滑杆，两个所述滑杆之间设置有弹簧，所述滑杆的另一端延伸至垂直筒的外侧并固定连接有折线杆，折线杆的一端延伸至卡座的一侧并固定连接有与卡槽相匹配的尖头卡块，所述横中轴的外侧平行固定连接有横轨，横轨的外侧滑动套设有驱近环，所述驱近环的内壁和折线杆斜向杆体向滑动接触，所述驱近环的顶部固定连接有侧板，所述侧板的一侧安装有万向滚珠。
[0010]优选的，所述侧板的板体安装有能够弹性复位的横推杆，所述横推杆的一端固定连接有斜推板一，所述斜推板一的一侧滑动连接有斜推板二，所述斜推板二固定安装在升降杆的底部一侧。
[0011]优选的，所述立筒的竖直一侧水平转动安装有横转筒，所述横转筒与横圆轴之间传动安装有传动链条，所述横转筒的外侧固定连接有用于在旋转中推动侧板水平移动的转动推环，所述万向滚珠的一侧与转动推环的一侧滚动接触连接。
[0012]优选的，所述圆外筒的底部一侧设置有水平转动座，所述导料伸缩板的顶部转动安装在水平转动座内。
[0013]与现有技术相比，本专利技术提供了一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，具备以下有益效果：
[0014]1、本专利技术通过各个零部件之间的相互协作，实现了通过机械逐层的完成了盛放有已完成惰性物质植入的非晶碳膜卷的托盘从加工室内的取出、翻转，以及两个工序前后的对托盘的固定和释放，以及对各个非晶碳膜卷的释放和释放后的导向，下料的效率较高，能够较多的保留加工室内的温度，为后续的非晶碳膜卷的加工提供保底温度，极大的提升了能源利用率；
[0015]2、本专利技术通过单一电机完成了上述工序，极大的降低了生产和使用成本，同时，也避免了多个电气元件使用时协调性较差的问题，保证了下料的顺畅，从而提升了非晶碳膜卷在下料过程中的安全性，且设计巧妙，结构合理；
[0016]3、本专利技术通过导料伸缩板的设置，使得被抽出的托盘进行翻转后，非晶碳膜卷在脱离夹持机构后都能够以相同的相对高度掉落在导料伸缩板上被导出，从而极大的保证了
非晶碳膜卷不会在下料的过程中被损伤。
[0017]本专利技术实现了已完成惰性物质植入的非晶碳膜卷的机械化下料，采购和使用成本较低，效率和安全性高，提升了能源利用率，降低了损坏率，结构巧妙合理，满足了人们在生产生活中的使用需求。
附图说明
[0018]图1为本专利技术提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的下料装置的主视剖面结构示意图；
[0019]图2为本专利技术提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的加工室的主视结构示意图；
[0020]图3为本专利技术提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的折线杆处的俯视剖面结构示意图；
[0021]图4为本专利技术提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的立筒处的主视剖面结构示意图；
[0022]图5为本专利技术提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的托盘处的主视剖面示意图；
[0023]图6为本专利技术提出的一种非晶碳膜加工用惰性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，包括加工室，所述加工室的一侧设置有密封门，所述加工室内设置有若干个可完全拉出的托盘，其特征在于，所述加工室的一侧设置有用于逐个将托盘拉出并翻转的下料装置，所述托盘内设置有多个呈阵列分布的能够对卷材进行合围固定的夹持组件，所述夹持组件的一侧设置有控制其开闭的能够弹性复位的齿条，所述托盘的一侧设置有受力横板，所述齿条的一端均与受力横板的一侧固定，所述托盘的竖直外壁固定连接有卡座，所述卡座的两端开设有卡槽，所述下料机构通过卡座对托盘进行固定后将其从加工室内抽出后进行翻转，并在翻转完成后推动受力横板平移，从而使得卷材得到释放并下落，所述的下料机构内还设置有角度和长度均可调节的，用于卷材下移的导料伸缩板；所述托盘的内壁固定连接有隔板，所述隔板上开设有若干个弧形滑孔，所述夹持组件包括外齿环和气内测的若干个滑动安装在弧形滑孔内的夹杆，所述夹杆的顶部固定有圆杆，所述圆杆与外齿环的内壁之间转动安装有联动套。2.根据权利要求1所述的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，其特征在于，所述下料装置包括可移动底座，所述可移动底座的竖直上方设置有顶台，所述顶台与可移动底座之间转动安装有定高轨道筒并固定连接有立轴，所述定高轨道筒和立轴的外侧竖直滑动安装有升降环，所述定高轨道筒的筒体开设有螺旋式的轨道槽并滑动连接有内滑圆芯，所述内滑圆芯的一端与升降环的内壁固定连接，所述定高轨道筒的顶端同轴固定有槽轮，所述顶台上安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴连接有主动齿轮，所述主动齿轮的一侧啮合连接有从动齿环，所述从动齿环的底端同轴固定有缺口轮盘，所述缺口轮盘与槽轮相配合。3.根据权利要求2所述的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，其特征在于，所述升降环的一侧固定连接有升降架，所述升降架上水平转动安装有横圆轴，所述从动齿环和缺口轮盘均开设有多边形通孔并滑动穿过有联动多边形滑杆，所述联动多边形滑杆的底端与横圆轴的一端之间传动连接有锥齿轮组，所述升降架底部一侧竖直固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴春春，王涛，张云飞，
申请(专利权)人：浙江大学杭州国际科创中心，
类型：发明
国别省市：