一种单光子雪崩二极管及激光测距装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单光子雪崩二极管及激光测距装置，相比于现有技术中在覆盖在单光子雪崩二极管上的遮光板中开一个透光孔的方式，本实用新型专利技术将覆盖在单光子雪崩二极管上的遮光板分成预设数量的区域，预设数量大于或等于二，并在每个区域上均设有透光孔，使得单光子雪崩二极管的多个位置上均设有透光孔，使得整个单光子雪崩二极管的接收光能力更加均匀，提高了单光子雪崩二极管的工作可靠性。提高了单光子雪崩二极管的工作可靠性。提高了单光子雪崩二极管的工作可靠性。

A single photon avalanche diode and laser ranging device

【技术实现步骤摘要】
一种单光子雪崩二极管及激光测距装置


[0001]本技术涉及光子测量
，特别是涉及一种单光子雪崩二极管及激光测距装置。

技术介绍

[0002]SPAD(Single Photon Avalanche Diode，单光子雪崩二极管)是一种具有单光子探测能力的光电探测雪崩二极管，单个光子就可以使SPAD电流达到饱和值，再通过后续信号处理电路对饱和电流进行检测就可以实现探测单光子信号。
[0003]现有技术中，为了控制SPAD的进光度，通常在SPAD上覆盖一层遮光板，在遮光板上开一个透光孔，通过改变这个透光孔的面积来控制SPAD的进光度比例，以此来获得不同接收光能力的SPAD。
[0004]但是实际使用过程中，SPAD上各个位置的感光能力并不相同，这就导致当透光孔的面积一样，即进光度比例相同时，不同的透光孔位置也会影响SPAD的感光量，降低了SPAD的工作可靠性。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种单光子雪崩二极管及激光测距装置，可以使得单光子雪崩二极管的接收光能力更加均匀，使得单光子雪崩二极管的感光量更本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单光子雪崩二极管，其特征在于，包括单光子雪崩二极管及覆盖在单光子雪崩二极管上的遮光板；所述遮光板包括预设数量的区域，所述遮光板在每个所述区域上均设有透光孔，所有所述透光孔的面积总和根据所述单光子雪崩二极管的进光度比例设置，所述预设数量大于或等于二。2.如权利要求1所述的单光子雪崩二极管，其特征在于，所述遮光板为第一层金属，所述透光孔为所述第一层金属的开孔。3.如权利要求1所述的单光子雪崩二极管，其特征在于，所述遮光板包括第一层金属和第二层金属，所述透光孔为所述第一层金属的开孔与所述第二层金属的开孔的交叠处。4.如权利要求1所述的单光子雪崩二极管，其特征在于，所述单光子雪崩二极管包括圆形单光子雪崩二极管或多边形单光子雪崩二极管。5.如权利要求1所述的单光子雪崩二极管，其特征在于，所述透光孔包括圆形孔或多边形孔。6.如权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑丽君，张宁，袁伟，朱春艳，张超，
申请(专利权)人：上海灵昉科技有限公司，
类型：新型
国别省市：