硅基OLED显示屏的来料电性检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种硅基OLED显示屏的来料电性检测装置，所述装置包括：真空腔室，设于真空腔室底部的载台，载台用于固定待测的像素阳极，设于真空腔室内的探针，用于外围电极和像素电极的电连接；设于阳极像素正上方的电子枪及二次电子探测器，电子枪及二次电子探测器位于真空腔室内，电子枪用于发出垂直射入阳极像素的电子，二次电子探测器用于接收返回的电子，并输出各阳极像素点的像素电压，像素电压偏大的像素点即为亮点像素点。本实用新型专利技术在基板完成阳极制作后的晶圆来料进行不良检出，并可以将亮点缺陷提前进行修复，能够增加拦截率，并提升良率，降低成本损失，同时能更好的满足OLED显示屏的可靠性要求。足OLED显示屏的可靠性要求。足OLED显示屏的可靠性要求。

【技术实现步骤摘要】
硅基OLED显示屏的来料电性检测装置


[0001]本技术属于Micro OLED
，更具体地，本技术涉及一种硅基OLED显示屏的来料电性检测装置。

技术介绍

[0002]硅基显示是近几年兴起的一种新型显示行业，其相对于传统玻璃基显示的优点在于PPI高，可达3000以上，根据其优点硅基显示常用于近眼显示设备；硅基显示屏采用CMOS电路驱动像素阳极，底层驱动电路的制程缺陷会导致OLED显示点和线类不良，目前硅基显示中晶圆基板由代工厂提供，晶圆厂代工测试只能测试IC功能类异常，对于显示类不良无法检出，这就给硅基显示厂商带来了较高的良率损失风险。
[0003]目前硅基显示不良中点类不良占据了较大比例，亮点类不良是在黑画面时有亮点现象。为了减少不良率，业内在产品完成PCB组装后采用激光对亮点进行修复，利用高能量的激光脉冲扫描亮点像素，将有机功能层或底层驱动电路气化，从而实现亮点的修复，对激光能量的控制要求较高，过高的能量产生大量的热量，产生的热应力会引起膜层缺陷，而OLED器件对封装层致密性有极高要求，将导致OLED器件封装膜层破坏从而形成失效黑点，过低的能量会导致部分有机功能层残存，导致器件电流变大，亮点像素反而变得更亮。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种硅基OLED显示屏的来料电性检测装置，旨在改善上述问题。
[0005]本技术是这样实现的，一种硅基OLED显示屏的来料电性检测装置，用于像素阳极的检测，所述装置包括：
[0006]真空腔室，设于真空腔室底部的载台，载台用于固定待测的像素阳极；
[0007]设于真空腔室内的探针，用于外围电极和像素电极的电连接；
[0008]设于阳极像素正上方的电子枪及二次电子探测器，电子枪及二次电子探测器位于真空腔室内。
[0009]进一步的，电子枪用于发出垂直于阳极像素射入的电子，二次电子探测器用于接收返回的电子，并输出各阳极像素点的像素电压，像素电压偏大的像素点即为亮点像素点。
[0010]进一步的，所述装置还包括：
[0011]激光器，将激光器对激光头对准亮点像素点，通过激光进行去除亮点像素点。
[0012]本技术在基板完成阳极制作后的晶圆来料进行不良检出，并可以将亮点缺陷提前进行修复，能够增加拦截率，并提升良率，降低成本损失，同时能更好的满足OLED显示屏的可靠性要求。
附图说明
[0013]图1为本技术实施例提供的硅基OLED显示屏的来料电性检测装置的结构示意图；
[0014]图2为本技术实施例提供的硅基OLED显示屏的来料点亮去除装置的结构示意图；
[0015]1.硅基底、2.像素阳极、3.电子枪、4.二次电子探测器、5.外围电极、6.探针、7激光器，8.载台、9.真空腔室。
具体实施方式
[0016]下面对照附图，通过对实施例的描述，对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明，以帮助本领域的技术人员对本技术的技术构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解。
[0017]图1为本技术实施例提供的硅基OLED显示屏的来料电性检测装置的结构示意图，为了便于说明，仅示出与本技术实施例相关的部分。
[0018]硅基OLED显示屏的来料电性检测装置用于像素阳极的亮点检测，像素阳极是指沉积像素后的阳极，阳极像素是指沉积在阳极上的像素，该装置包括：
[0019]真空腔室，设于真空腔室底部的载台，载台用于固定待测的像素阳极；
[0020]设于真空腔室内的探针，用于外围电极和像素电极的电连接；
[0021]设于阳极像素正上方的电子枪及二次电子探测器，电子枪及二次电子探测器位于真空腔室内，电子枪用于发出垂直射入阳极像素的电子，二次电子探测器用于接收返回的电子，并输出各阳极像素点的像素电压，像素电压偏大的像素点即为亮点像素点。
[0022]通过硅基OLED的外围电极给像素电极进行供电，在阳极像素上形成电场，电子枪发出电子垂直阳极像素射入，由于电场的作用，使得发射的电子返回，被二次电子探测器接收，进而输出各阳极像素点像素电压，若像素上的电压偏大，导致反射电子到二次电子探测器的时间相对于正常像素上的反射电子更短，该像素点就会形成亮点，并记录该亮点的位置信息。
[0023]在本技术实施例中，该装置还包括：
[0024]激光器，将激光器的激光头定位到亮点位置处，发出的激光去除亮点对应的阳极像素，如图2所示，无法形成电场，反射电子到二次电子探测器的时间相对于正常像素上的反射电子更长，该点变成暗点。
[0025]本技术在基板完成阳极制作后的晶圆来料进行不良检出，并可以将亮点缺陷提前进行修复，能够增加拦截率，并提升良率，降低成本损失，同时能更好的满足OLED显示屏的可靠性要求。
[0026]本技术进行了示例性描述，显然本技术具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本技术的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本技术的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅基OLED显示屏的来料电性检测装置，用于像素阳极的检测，其特征在于，所述装置包括：真空腔室，设于真空腔室底部的载台，载台用于固定待测的像素阳极；设于真空腔室内的探针，探针用于外围电极和像素电极的电连接；设于阳极像素正上方的电子枪及二次电子探测器，电子枪及二次电子探测器位于真空腔室内。2.如权利要求1所述硅基OLED显示屏的来...

【专利技术属性】
技术研发人员：许丽华，朱平，李雪原，韩旭，
申请(专利权)人：安徽熙泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：