致动器以及流体控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及致动器以及流体控制装置。致动器(11)具备配置有压电元件(30)的第一主板(21)、框体(22)以及连结部(23)。框体(22)在比第一主板(21)的外缘靠外侧，与第一主板(21)分离地配置。连结部(23)配置在第一主板(21)与框体(22)之间。连结部(23)具有沿着外缘配置的多个连结体(231)和多个连结体(231)之间的空隙(232)，多个连结体(231)与第一主板(21)及框体(22)连接。第一主板(21)和连结体(231)由同一材料构成。连结体(231)的厚度(D23)大于第一主板(21)的厚度(D21)。板(21)的厚度(D21)。板(21)的厚度(D21)。

Actuator and fluid control device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】致动器以及流体控制装置


[0001]本专利技术涉及具备振动的板和将板支承为可振动的机构的致动器、以及具备该致动器的流体控制装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中，记载了具备振动板单元的流体控制装置。专利文献1的振动板单元由振动板、框板以及连结部构成。框板是包围振动板的外缘的形状。连结部将振动板的外缘与框板连接。
[0003]此时，连结部由容易变形的形状构成，对振动板弹性支承。由此，即使框板被固定，振动板也能够进行规定的弯曲振动。
[0004]专利文献1：日本特开2013
‑
57247号公报
[0005]然而，专利文献1所示的连结部是容易变形的形状，因此容易因来自外部的冲击等而破损。另外，在由于作为流体控制装置的一个例子的泵的动作，而在包括振动板和连结部的致动器的上下面(振动板的上下面)产生压差的情况下，连结部变形，由此在配置于振动板的驱动体产生应力，驱动体容易破损。

技术实现思路

[0006]因此，本专利技术的目的在于提供一种在实现所希望的振动的同时不易破损的致动器。
[0007]本专利技术的致动器具备第一主板、框体、连结部以及驱动体。框体在比第一主板的外缘靠外侧与第一主板分离地配置。连结部配置在第一主板与框体之间。驱动体配置于第一主板，使第一主板弯曲振动。连结部具有沿着外缘配置的连结体和空隙，连结体与第一主板及框体连接，空隙与连结体邻接。第一主板和连结体由同一材料构成。连结体的平均厚度大于第一主板的平均厚度。
[0008]在该结构中，由于连结体较厚，因此相对于外力构造的耐久性变高，不易破损。另外，由于在第一主板产生作为致动器发挥功能的振动，因此能够获得规定的振动。
[0009]根据本专利技术，能够实现在实现所希望的振动的同时不易破损的致动器。
附图说明
[0010]图1是第一实施方式所涉及的包括致动器的流体控制装置的分解立体图。
[0011]图2是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。
[0012]图3是第一实施方式所涉及的致动器的包括第一主板的平板的俯视图。
[0013]图4(A)、图4(B)、图4(C)是表示第一实施方式所涉及的致动器中的第一主板的支承形态的派生例的剖视图。
[0014]图5是表示第二实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。
[0015]图6是表示第三实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。
[0016]图7是表示第四实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。
[0017]图8是表示第五实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。
[0018]图9是表示致动器的包括第一主板的平板的另一例的俯视图。
具体实施方式
[0019](第一实施方式)
[0020]参照附图对本专利技术的第一实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图1是第一实施方式所涉及的包括致动器的流体控制装置的分解立体图。图2是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。图3是第一实施方式所涉及的致动器的包括第一主板的平板的俯视图。此外，在图3中，通过阴影线的差异来表现厚度之差。
[0021]另外，在以下各实施方式所示的各图中，为了容易理解说明，将各个构成要素的形状局部或整体上夸大地记载。另外，为了容易阅读附图，对于能够唯一推定的构成要素，部分地省略附图标记。
[0022](流体控制装置10的结构)
[0023]如图1、图2所示，流体控制装置10具备第一主板21、框体22、连结部23、压电元件30、第二主板40、连接部件50。压电元件30对应于本专利技术的“驱动体”。另外，由第一主板21、框体22、连结部23以及压电元件30构成致动器11。
[0024]如图1、图3所示，第一主板21是俯视观察时的形状为圆形的平板。第一主板21具有圆形的第一主面211和第二主面212。第一主面211与第二主面212相互对置。第一主板21例如由金属等构成。第一主板21只要是通过后述的压电元件30的应变而产生弯曲振动的部件即可。弯曲振动是指在观察第一主板21的侧面时，第一主面211及第二主面212呈波状位移的振动。
[0025]框体22为平板，俯视观察框体22时的形状是内周形状为圆形的环形。框体22具有环形的第一主面221和第二主面222。第一主面221与第二主面222相互对置。框体22配置于比第一主板21的外缘靠外侧。框体22与第一主板21的外缘隔开距离地配置，在俯视观察时，包围第一主板21。即，第一主板21配置在框体22的内周端的内侧的空间内。
[0026]连结部23配置在第一主板21与框体22之间。连结部23沿着第一主板21的外缘的周向配置。更具体而言，连结部23具有多个连结体231和多个空隙232。多个连结体231与多个空隙232沿着第一主板21的外缘的周向交替地邻接配置。多个连结体231与第一主板21的外缘和框体22的内周端连接，形成梁。空隙232是从第一主板21的第一主面211及框体22的第一主面221侧贯通至第一主板21的第二主面212及框体22的第二主面222侧，俯视观察时为弧状的槽。
[0027]第一主板21、框体22以及多个连结体231由一张板一体形成。即，通过在一张板上形成多个空隙232，并成型框体22的外形，从而形成第一主板21、框体22以及多个连结体231。因此，第一主板21、框体22以及多个连结体231由同一材料构成。此外，多个连结体231的个数不限于三个，也可以是四个以上。
[0028]通过这样的结构，第一主板21由连结部23(更具体而言，多个连结体231)保持为相对于框体22可振动。
[0029]压电元件30具备圆板的压电体和驱动用的电极。驱动用的电极形成于圆板的压电
体的两个主面。
[0030]压电元件30配置于第一主板21的第二主面212。此时，在俯视观察时，压电元件30的中心与第一主板21的中心大致一致。压电元件30通过驱动用的电极被施加驱动信号而应变。由于该应变，第一主板21弯曲振动。
[0031]而且，通过以上的结构，第一主板21弯曲而成为实现规定的功能的致动器11。
[0032]第二主板40是俯视观察时的形状为圆形的平板。第二主板40优选由几乎不产生弯曲振动的材料、厚度等构成。第二主板40的外形形状是包含由第一主板21、连结部23以及框体22构成的部分的外形形状的大小。第二主板40具有圆形的主面401和主面402。主面401与主面402相互对置。
[0033]第二主板40具备贯通孔400。贯通孔400连通第二主板40的主面401侧和主面402侧。贯通孔400配置于与第二主板40的中心重叠的位置。此外，贯通孔400的配置位置不限于与第二主板40的中心重叠的位置。例如，贯通孔400也可以为多个，多个贯通孔400配置为以第二主板的中心为原点的环状。
[0034]第二主板40配置为相对于第一主板21，彼此的主面平行。此时，第二主板40的主面4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种致动器，其中，具备：第一主板；框体，在比所述第一主板的外缘靠外侧，与所述第一主板分离地配置；连结部，配置在所述第一主板与所述框体之间；以及驱动体，配置于所述第一主板，使所述第一主板弯曲振动，所述连结部具有沿着所述外缘配置的连结体和空隙，所述连结体与所述第一主板及所述框体连接，所述空隙与所述连结体邻接，所述第一主板和所述连结体由同一材料构成，所述连结体的平均厚度大于所述第一主板的平均厚度。2.根据权利要求1所述的致动器，其中，所述框体的平均厚度为所述连结体的平均厚度以上。3.根据权利要求1或2所述的致动器，其中，所述第一主板具有不包含所述外缘的第一区域、和包围所述第一区域并包含所述外缘的第二区域，所述第一区域的平均厚度大于所述第二区域的平均厚度。4.根据权利要求3所述的致动器，其中，所述第二区域的平均厚度小于所述第一主板的平均厚度。5.根据权利要求1～4中任一项所述的致动器，其中，所述第一主板、所述连结体以及所述框体被一体形成，所述第一主板的厚度方向的上端、所述连结体的厚度方向的上端、以及所述框体的厚度方向的上端共面，或者，所述第一主...

【专利技术属性】
技术研发人员：川端友德，田中伸拓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：