一种三氟化氮气体热解输送管路制造技术

本实用新型专利技术提供了一种三氟化氮气体热解输送管路，包括储水箱，储水箱的上设置有防护管，防护管上设置有冷却管，所述储水箱内设有冷却水输送机构，所述冷却管内安装有冷却盘管，所述冷却水输送机构和冷却盘管连接，所述冷却盘管内设置有两个热气分散管，两个热气分散管的一端连接有热气输送管，且热气输送管的一端贯穿冷却管并延伸至冷却管的一侧。本发明专利技术不仅可以有效的保证三氟化氮高温气体的快速降温，而且通过分散输送以及风冷水冷的结合，保证了降温的均匀和稳定性，有效的提升了三氟化氮气体热解后输送时的稳定性和安全性，使三氟化氮气体热解管道的实用性显著提升。氟化氮气体热解管道的实用性显著提升。氟化氮气体热解管道的实用性显著提升。

【技术实现步骤摘要】
一种三氟化氮气体热解输送管路


[0001]本技术属于三氟化氮生产输送
，具体涉及一种三氟化氮气体热解输送管路。

技术介绍

[0002]三氟化氮是一种强氧化剂，在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅)，它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
[0003]目前在三氟化氮气体的热解后需要管道输送，热解后的三氟化氮气处于高温状态，具有危险性和安全隐患，为此，我们需要设计一种三氟化氮气体热解输送管路来对热解后的高温三氟化氮气体进行降温实现安全输送。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种三氟化氮气体热解输送管路，该输送管路结构设计科学合理，可以实现三氟化氮高温气体的快速降温，降温效果好、效率高，降温稳定可靠，能保证三氟化氮高温气体的安全输送。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种三氟化氮气体热解输送管路，其特征在于，包括输气系统、水冷系统和风冷系统，所述输气系统包括热气输入管、分散管、连接管和排出管，所述水冷系统包括冷水箱、冷却管和冷却盘管，所述风冷系统包括风机和疏风通道；所述冷却管通过防护管固定设置在冷水箱上，所述冷却管的内壁上设置冷却盘管，所述冷却盘管内设置两根分散管，两根分散管的一端同时连接在热气输入管上，两段分散管的另一端通过连接管连接在排出管上，所述风机安装在冷却管的外侧壁上。
[0006]优选地，所述热气输入管的一端连接上一级三氟化氮气体热解装置的出气口，热气输入管的另一端穿过冷却管的侧壁与分散管连通，热气输入管穿过的冷却罐侧壁位置位于冷却盘管的中间位置，所述分散管的一端穿过冷却盘管的侧壁与热气输入管连通，分散管的另一端依次穿过冷却盘管和冷却管的侧壁与连接管连通，两根分散管分别沿冷却盘管的螺旋方向一上一下输送高温气体。
[0007]优选地，所述冷水箱内设置有潜水泵，所述潜水泵的出水口通过冷水输送管连接至冷却盘管的一端，所述冷却盘管的另一端通过热水回流管连通至冷水箱，冷水输送管的一端穿过冷水箱与潜水泵的出水口连接，冷水输送管的另一端穿过冷却管与冷却盘管的上端入口连接，热水回流管的一端与冷却盘管的下端出口连接，热水回流管的另一端沿防护管的轴向方向穿过防护管与冷水箱的顶面上开设的回水口连通。分散管与冷却盘管的形状相同为弧形螺旋管，冷水箱、潜水泵、冷水输送管、冷却盘管和热水回流管形成冷却水的循环回路，通过冷却盘管内的低温冷却水对冷却盘管中的分散管进行降温，进而对分散管中的高温气体进行降温，设计两条分散管能有效延长高温气体的输送距离，延长冷却时间进
而提高对高温气体的冷却效果，达到快速降温的目的。
[0008]优选地，所述冷却管的外侧壁上固定设置有保护盒，所述保护盒内设置所述风机，所述冷却管的侧壁内部固定设置疏风通道，所述疏风通道与风机的出风口连通，所述疏风通道上开设有两个与分散管位置对应的出风口，冷却管上正对出风口的侧壁上开设有排气口，通过出风口吹出的冷风将高温气体从冷却盘管上散逸出的热量带走，完成热交换的冷风从排气口排出，将风冷降温与水冷降温结合在一起，实现对高温气体的高效快速降温，保证三氟化氮气体的输送安全。
[0009]优选地，风机采用交流风机，其由高性能的交流风扇和紧凑高效的散热片组成，紧凑、整体式轴流风扇，占用空间小，并能提供强大的风量，满足散热的要求，可长时间连续运行，电机最高寿命30000小时以上。优选地，所述热气输入管通过接头连接两根分散管，所述接头内开设导流腔，所述导流腔的截面为菱形，两根分散管对称连通在导流腔的两侧，导流腔能将三氟化氮热气快速分流成两道，方便其充分的、均匀的输入至两根分散管内。
[0010]优选地，所述排出管、连接管和冷却管上均设置有压力计，所述排出管和连接管上均设置有温度计，所述连接管上安装有阀门，通过温度计和阀门的配合，控制排出管排出的气体温度在20
‑
50℃范围内。
[0011]优选地，所述冷却盘管上设置有伸出冷却管的排水管。
[0012]优选地，所述冷水箱上安装有用于监测冷水箱内存水量的水位传感器，所述冷水箱上安装有用于对冷水箱内存水降温的制冷设备，制冷设备为水冷式冷水机，保证冷水箱内部水源的温度控制在10℃以下。
[0013]本技术与现有技术相比具有以下优点：
[0014]1、本技术结构设计科学合理，能完成对热解后的高温三氟化氮气体的快速降温，达到安全输送的目的，使用方便，降温效果好。
[0015]2、本技术将水冷和风冷两种降温方式结合，在冷却水流经的冷却盘管内设置输送气体的两根分散管，将高温三氟化氮气体的输送路径延长，进而延长了冷却时间，保证了降温的均匀和稳定性，有效的提升了三氟化氮气体热解后输送时的稳定性和安全性，使三氟化氮气体热解管道的实用性显著提升。
[0016]下面结合附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
附图说明
[0017]图1是本技术的整体结构示意图。
[0018]图2是本技术中分散管与热气输送管的连接结构示意图。
[0019]图3是本技术中冷却管内部的结构示意图。
[0020]图4是本技术中疏风通道的结构示意图。
[0021]图5是本技术中接头与分散管的连接结构示意图。
[0022]图6是本技术图1中A处的局部放大结构示意图。
[0023]附图标记说明：
[0024]1—热气输送管；
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2—阀门；
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3—连接管；
[0025]4—温度计；
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5—压力计；
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6—排出管；
[0026]7—保护盒；
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8—冷水输送管；
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9—冷却管；
[0027]10—水位传感器；
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11—防护管；
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12—制冷设备；
[0028]13—冷水箱；
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14—分散管；
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15—接头；
[0029]16—导流腔；
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17—风机；
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18—疏风通道；
[0030]19—冷却盘管；
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20—排水管；
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21—热水回流管；
[0031]22—出风口。
具体实施方式
[0032]如图1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三氟化氮气体热解输送管路，其特征在于，包括输气系统、水冷系统和风冷系统，所述输气系统包括热气输入管(1)、分散管(14)、连接管(3)和排出管(6)，所述水冷系统包括冷水箱(13)、冷却管(9)和冷却盘管(19)，所述风冷系统包括风机(17)和疏风通道(18)；所述冷却管(9)通过防护管(11)固定设置在冷水箱(13)上，所述冷却管(9)的内壁上设置冷却盘管(19)，所述冷却盘管(19)内设置两根分散管(14)，两根分散管(14)的一端同时连接在热气输入管(1)上，两段分散管(14)的另一端通过连接管(3)连接在排出管(6)上，所述风机(17)安装在冷却管(9)的外侧壁上。2.根据权利要求1所述的一种三氟化氮气体热解输送管路，其特征在于，所述冷水箱(13)内设置有潜水泵，所述潜水泵的出水口通过冷水输送管(8)连接至冷却盘管(19)的一端，所述冷却盘管(19)的另一端通过热水回流管(21)连通至冷水箱(13)。3.根据权利要求1所述的一种三氟化氮气体热解输送管路，其特征在于，所述冷却管(9)的外侧壁上固定设置有保护盒(7)，所述保护盒(7)内设置所述风机(17)，所述冷却管...

【专利技术属性】
技术研发人员：林坤，马朝选，徐海云，王亚峰，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：