【技术实现步骤摘要】
一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法
[0001]本专利技术属于光学干涉检测领域，具体涉及一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法。
技术介绍
[0002]点衍射干涉仪是Smartt在1972年提出的，其基本原理为采用尺寸接近于检测波长的微小结构产生近乎理想的球面波作为干涉检测系统中的参考波前，用来代替传统干涉仪中由标准面镜产生的参考球面波，不受参考标准元件精度的限制，从而实现了高精度的干涉检测。
[0003]移相干涉技术的原理是在干涉的参考波和待测波之间引入相对相位变化，并相应地采集得到多幅移相干涉图，利用算法对这些干涉图分析处理从而解调出待测波的波前相位，常被用来提高干涉检测的精度。传统点衍射干涉仪采用共路干涉的光路结构，待测光和参考光经过同样的路径传播，在两光束之间引入相对相移困难，目前已经提出了通过采用偏振光学元件、液晶光学元件和衍射光栅元件等共路点衍射移相干涉方法。
[0004]同步移相干涉技术是由移相干涉进一步发展而来的，需要在同一时刻采集多幅具有不同相位的干涉图像，实现动态干涉测量。
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统，其特征在于：包括沿光路依次设置的测试光路、衍射光路和移相光路；所述测试光路包括沿光路依次设置的He
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Ne激光器、线偏振片、二分之一波片、第一四分之一波片、扩束镜和待测样品，用于获得待测信息；所述衍射光路包括沿光路依次设置的缩束镜、高倍物镜、针孔线偏振点衍射板和第一成像透镜，用于获得参考光与被测光；所述移相光路包括沿光路依次设置的第二四分之一波片、第二成像透镜和阵列式偏振相机，用于实现参考光与被测光之间的空间移相，同时形成四幅干涉图像。2.根据权利要求1所述共光路偏振点衍射同步移相干涉系统，其特征在于：所述针孔线偏振点衍射板设置于所述高倍物镜与第一成像透镜的焦点处，包括保护层玻璃、金属线栅膜层、玻璃基底和衍射针孔；所述金属线栅膜层是由多个金属铝条以周期性排布组成的线栅结构，覆盖在玻璃基底与保护层玻璃之间；所述衍射针孔设置于针孔线偏振点衍射板的中心处，其直径与高倍物镜在针孔线偏振点衍射板上表面产生的艾里斑直径相当；衍射针孔贯穿保护层玻璃、金属线栅膜层和玻璃基底，使得会聚在针孔线偏振点衍射板的光束由中心衍射针孔依次经过保护层玻璃、金属线栅膜层、玻璃基底。3.根据权利要求2所述共光路偏振点衍射同步移相干涉系统，其特征在于：所述金属线栅膜层的金属铝条宽44nm、长12.5mm、厚162nm。4.根据权利要求3所述共光路偏振点衍射同步移相干涉系统，其特征在于：所述金属铝条以144nm周期性排布。5.根据权利要求1所述共光路偏振点衍射同步移相干涉系统，其特征在于：所述阵列式偏振相机包括探测器和微偏振阵列，所述探测器上配有由一系列通光轴与x轴成0
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技术研发人员：卢乾波，冯文露，刘诚修，肖清雄，王逸男，王小旭，
申请(专利权)人：西北工业大学宁波研究院，
类型：发明
国别省市：
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