用于干涉测量确定表面形状的测量设备制造技术

一种用于干涉确定测试物(14)的表面(12)的形状的测量设备(10)包括：用于提供输入波(42)的辐射源；多重编码衍射光学元件(60)，其被配置为通过衍射从输入波生成测试波(66)和至少一个校准波(70)，该测试波指向测试物(14)且具有形式为自由形式表面的波前，其中，校准波的波前具有非旋转对称形状(68f)，其中，穿过校准波(70)的波前的横截面沿着相互横向对准的横截面区域在各个情况下具有弯曲形状，并且其中，各种横截面区域中的弯曲形状在开口参数方面不同。此外，测量设备包括检测装置(46)，用于检测通过将参考波(40)和在与校准物(74)相互作用后的校准波叠加而形成的校准干涉图。互作用后的校准波叠加而形成的校准干涉图。互作用后的校准波叠加而形成的校准干涉图。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于干涉测量确定表面形状的测量设备
[0001]本申请要求主张2019年9月30日提交的德国专利申请10 2019 214 979.0的优先权。该专利申请的全部公开内容通过引用并入本申请中。

技术介绍

[0002]本专利技术涉及用于干涉测量确定测试物的表面的形状的测量设备、涉及校准衍射光学元件的方法、涉及用于干涉测量确定测试物的表面的形状的方法并且涉及用于微光刻曝光设备的投射镜头的光学元件。
[0003]对于测试物(诸如微光刻光学元件)的表面形状的高准确干涉测量，通常使用衍射光学布置作为所谓的零光学件。在这种情况下，测试波的波前通过衍射元件适配到表面的期望形状，使得测试波的单独射线将在每个位置处以垂直的方式入射到期望形状上并因此自身被反射回去。可以通过在反射的测试波上叠加参考波来确定与期望形状的偏差。使用的衍射元件可以是例如计算机生成的全息图(CGH)。
[0004]形状测量的准确度取决于CGH的准确度。在此的决定性因素不一定是对CGH的最精确可能制造，而是CGH中所有可能误差的最精确测量。当测量测试件的形状时可以计算出已知误差。因此，CGH形成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于干涉测量确定测试物(14)的表面(12)的形状的测量设备(10)，包括：
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用于提供输入波(42)的辐射源，
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多重编码衍射光学元件(60)，其被配置为通过衍射从所述输入波产生测试波(66)和至少一个校准波(70)，所述测试波(66)指向所述测试物(14)且具有自由形式表面的形式的波前，其中，所述校准波的波前具有非旋转对称形状(68f)，其中，沿着相互横向对准的横截面表面穿过所述校准波(70)的波前的横截面在各个情况下具有弯曲形状，并且其中，不同横截面表面中的弯曲形状在开口参数方面不同，以及捕获装置(46)，用于捕获通过将参考波(40)和在与校准物(74)相互作用后的所述校准波叠加而形成的校准干涉图。2.根据权利要求1所述的测量设备，其中，两个不同横截面表面中的弯曲形状在它们的曲率的方向方面不同。3.根据权利要求2所述的测量设备，其中，所述弯曲形状在各个情况下近似于圆形形状的部分段并且所述开口参数是圆半径。4.根据权利要求3所述的测量设备，其中，所述弯曲形状在各个情况下近似于抛物线形状的部分段并且所述开口参数是抛物线开口。5.根据权利要求2或4所述的测量设备，其中，所述校准波的波前具有像散形状。6.根据前述权利要求中的任一项所述的测量设备，其中，所述校准波(70)的非旋转对称形状(68f)对应于通过绕旋转轴线(94)旋转关于对称轴线(92)对称的表面(90、90a、90b、90c)形成的回转实体(88)的表面的区段的形状。7.根据前述权利要求中的任一项所述的测量设备，其中，所述校准波(70)的波前偏离任何旋转对称形状至少50μm。8.根据前述权利要求中的任一项所述的测量设备，其中，所述衍射光学元件(60)被配置为通过衍射从所述输入波产生除所述测试波以外的至少三个校准波(68、70、72)。9.一种用于校准衍射光学元件(60)的方法，所述衍射光学元件被配置为产生具有自由形式表面的形式的波前的测试波(66)，用于干涉测量确定测试物(14)的表面(12)的形状，所述方法包括以下步骤：
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提供所述衍射光学元件(60)，其具有多重编码并且在输入波(42)中辐射使得除所述测试波以外，通过多重编码处的衍射产...

【专利技术属性】
技术研发人员：S舒尔特，R弗雷曼，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：