下载一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法的技术资料

文档序号:34097466

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法,属于光学干涉检测领域;包括沿光路依次设置的测试光路、衍射光路和移相光路;所述测试光路包括沿光路依次设置的He
...
该专利属于西北工业大学宁波研究院所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学宁波研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。