一种硅棒夹紧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅棒夹紧装置，属于硅棒加工技术领域，包括夹紧组件和硅棒组件，夹紧组件包括夹紧座以及连接于夹紧座的夹紧件和导向件，夹紧组件还包括用于驱动夹紧件靠近和远离夹紧座的驱动机构；硅棒组件包括托板，托板设有夹紧配合部和导向配合部，夹紧配合部与托板之间形成供夹紧件穿入和穿出的夹紧通道，夹紧件与夹紧座之间预留有用于夹持夹紧配合部的夹持空间，导向配合部用于与导向件滑动配合并引导夹紧件穿入和穿出夹紧通道。本方案能借助导向件与导向配合部的滑动配合将夹紧件顺利插入到硅棒组件的夹紧通道内，并且利用夹紧件靠近和远离夹紧座来实现对托板的夹紧与放松，该装置结构简单，操作方便，提高了硅棒组件的上下料效率。硅棒组件的上下料效率。硅棒组件的上下料效率。

A silicon rod clamping device

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒夹紧装置


[0001]本技术涉及硅棒加工
，尤其涉及一种硅棒夹紧装置。

技术介绍

[0002]硅棒是半导体加工领域的一种常见原料，硅棒切片是半导体加工工艺中的一个必要环节。在硅棒切片加工工艺中，硅棒组件需要牢固地夹紧在切割工位的夹紧装置上，从而在硅棒切割过程中保持位置稳定，实现稳定切割。而现有的夹紧装置结构较复杂，对硅棒组件的夹紧过程比较繁琐，并且不便于硅棒组件上下料。
[0003]因此，如何提供一种便于夹紧和上下料的硅棒夹紧装置，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的是提供一种硅棒夹紧装置，可以方便硅棒上下料，同时方便了硅棒组件的夹紧和放松。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了如下技术方案：
[0006]一种硅棒夹紧装置，包括：
[0007]夹紧组件，所述夹紧组件包括夹紧座以及连接于所述夹紧座的夹紧件和导向件，所述夹紧组件还包括用于驱动所述夹紧件靠近和远离所述夹紧座的驱动机构；
[0008]硅棒组件，所述硅棒组件包括托本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒夹紧装置，其特征在于，包括：夹紧组件，所述夹紧组件包括夹紧座以及连接于所述夹紧座的夹紧件和导向件，所述夹紧组件还包括用于驱动所述夹紧件靠近和远离所述夹紧座的驱动机构；硅棒组件，所述硅棒组件包括托板，所述托板设有夹紧配合部和导向配合部，所述夹紧配合部与所述托板之间形成供所述夹紧件穿入和穿出的夹紧通道，所述夹紧件与所述夹紧座之间预留有用于夹持所述夹紧配合部的夹持空间，所述导向配合部用于与所述导向件滑动配合并引导所述夹紧件穿入和穿出所述夹紧通道。2.根据权利要求1所述的硅棒夹紧装置，其特征在于，所述夹紧通道形成能够与所述导向件滑动配合的所述导向配合部。3.根据权利要求2所述的硅棒夹紧装置，其特征在于，所述导向件固定连接于所述夹紧座，所述导向件开设有供所述夹紧件沿靠近和远离所述夹紧座的方向往复运动的避让口。4.根据权利要求3所述的硅棒夹紧装置，其特征在于，所述导向件通过连接块固定连接于所述夹紧座，所述夹紧配合部设有供所述连接块往复滑动的开口。5.根据权利要求2
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4任一项所述的硅棒夹紧装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫云庆，孙承政，范国强，赵祥程，刘钢，靳齐，刘世岩，
申请(专利权)人：乐山高测新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：