【技术实现步骤摘要】
微机电红外光感测装置
[0001]本专利技术涉及一种可调整吸收率的微机电红外光感测装置。
技术介绍
[0002]目前微机电红外光感测装置的效能已大幅改善，且已被应用于各种不同的领域。为了要能够适用于更多元的环境，微机电红外光感测装置必须支援更广的温度范围，为达成此要求，微机电红外光感测装置则要能够根据不同的环境温度自动调整其吸收率。
[0003]然而，现有的微机电红外光感测装置缺乏有效的绝热结构，使其无法有效地降低热散失，因此也导致微机电红外光感测装置的效能无法有效地提升。
[0004]另外，现有的微机电红外光感测装置的红外光吸收层及红外光反射层之间的距离大多无法进行调整。因此，当利用高解析度的读取电路读取微机电红外光感测装置的信号时，读取电路容易产生饱和的情形，使微机电红外光感测装置的感测范围受到限制。
[0005]另一方面，现有的微机电红外光感测装置的感应板容易受温度变化影响，而产生不均匀的应力及翘曲量，造成红外光吸收层及红外光反射层之间产生不一致的距离，进而影响了微机电红外光感测装置的感测精准度...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微机电红外光感测装置，其特征在于，该微机电红外光感测装置包含：基板；感应板；多个第二支撑元件，连接该感应板，而使该感应板悬浮于该基板上方；反射板，位于该基板与该感应板之间；多个第一支撑元件，连接该反射板，而使该反射板悬浮于该基板与该感应板之间；以及多个阻挡元件，位于该基板及该反射板之间；其中，当该反射板朝向该基板移动而使该些阻挡元件中至少一者抵触该基板或该反射板时，该反射板与该感应板间的距离增加。2.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，还包含设置于该基板上的电极层及电连接该反射板及该电极层的电压源，该电压源在该反射板及该电极层之间产生电压差以控制该反射板移动。3.如权利要求2所述的微机电红外光感测装置，还包含绝缘层，该绝缘层包覆该电极层。4.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，其中该反射板可在远离该基板的第一位置及接近该基板的第二位置间移动，该反射板在该第一位置时该反射板与该感应板间的距离为第一距离，该反射板在该第二位置时该反射板与该感应板间的距离为第二距离，且该些阻挡元件中至少一者夹抵在该基板及该反射板之间，其中该第二距离大于该第一距离。5.如权利要求4所述的微机电红外光感测装置，其中该反射板在该第二位置时，该基板与该反射板间的距离等于该些阻挡元件中的至少一者的高度。6.如权利要求4所述的微机电红外光感测装置，其中该些阻挡元件包含多个第一阻挡元件及多个第二阻挡元件，且该反射板可在该第一位置、该第二位置与第三位置间移动，其中，该反射板在该第二位置时，该些第一阻挡元件夹抵在该基板或该反射板之间，该反射板在该第三位置时，该些第二阻挡元件夹抵在该基板或该反射板之间，且该反射板与该感应板间的距离为第三距离，该第三距离大于该第二距离。7.如权利要求6所述的微机电红外光感测装置，其中该些第一阻挡元件连接至少一个该第一支撑元件，该些第二阻挡元件连接该反射板，且至少一个该第一阻挡元件的高度大于至少一个该第二阻挡元件的高度。8.如权利要求6所述的微机电红外光感测装置，其中该些第一阻挡元件与该反射板的中心之间的距离大于该些第二阻挡元件与该反射板的中心之间的距离。...
【专利技术属性】
技术研发人员：李柏勋，陈明发，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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