下载微机电红外光感测装置的技术资料

文档序号:34089069

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本发明公开一种微机电红外光感测装置,其包含基板、感应板、反射板、多个第一支撑元件、多个第二支撑元件及多个阻挡元件。该些第二支撑元件连接感应板,而使感应板悬浮于基板上方。反射板位于基板与感应板之间。该些第一支撑元件连接反射板,而使反射板悬浮于...
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