四自由度真空调谐器制造技术

本发明专利技术公开了一种四自由度真空调谐器，包括带有透明视窗的真空室及设置在真空室内的调谐工具和控制装置，通过在真空室外部操纵该控制装置，所述调谐工具能够在真空室内四自由度运动，在控制装置上设置有保持真空室的真空状态的真空密封装置；本发明专利技术四自由度真空调谐器，模拟人手调谐动作，操作者通过在真空室外操纵运动传动把手，就可以实现调谐工具的四个自由度的运动，准确便利的完成在真空、低温条件下对超导滤波器的调谐工艺。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于真空工程领域，涉及一种在低温真空条件下，对超导微波滤波器实施调谐的装置。
技术介绍
超导滤波器的屏蔽盒盖上预制了许多调谐螺丝钉，在对滤波器测试时，调节这些螺钉的高度，就可以完成滤波器的调谐工作。然而制冷机要求严格的真空环境，而调谐过程至少包括四个自由度的运动，需要解决的问题是怎样保证四自由度运动而且又能保持真空状态。图1所示为调谐支架1在四自由度上运动的示意图，在制冷机真空罩5内设置有冷头传热板4、滤波器盒3、调谐改锥2和调谐支架1，载有调谐改锥2的调谐支架1应当在xy平面上自由运动，调谐改锥2不仅可以自由旋转而且还可以沿Z轴运动，以此来模拟人手的调谐动作。研制这样一个装置的困难在于所以这些平移和旋转都必须在真空以外的空间操作，对各种传动器件必须进行很好的密封，绝对不能由于这些运动而漏气。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种在操作简便并且在调谐过程中制冷机能够保持严格真空环境的四自由度真空调谐器。为实现上述目的，本专利技术一种四自由度真空调谐器，包括带有透明视窗的真空室及设置在真空室内的调谐工具和控制装置，通过在真空室外部操纵该控制装置，所述调谐工具能够在真空室本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种四自由度真空调谐器，其特征在于，包括带有透明视窗的真空室及设置在真空室内的调谐工具和控制装置，通过在真空室外部操纵该控制装置，所述调谐工具能够在真空室内四自由度运动，在控制装置上设置有保持真空室的真空状态的真空密封装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨海清，黎红，李春光，张雪强，何艾生，何豫生，黄建冬，张强，孙亮，孟庆端，李翡，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]