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四自由度真空调谐器制造技术
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文档序号:3408775
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本发明公开了一种四自由度真空调谐器,包括带有透明视窗的真空室及设置在真空室内的调谐工具和控制装置,通过在真空室外部操纵该控制装置,所述调谐工具能够在真空室内四自由度运动,在控制装置上设置有保持真空室的真空状态的真空密封装置;本发明四自由度真...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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