谐振器、振荡器和通信装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及谐振器、使用该谐振器的振荡器和设有该振荡器的通信装置。所述谐振器包括多个谐振器单元，各谐振器单元分别具有相面对的电极和振荡元件，同时电极和振荡元件之间具有空间，多个谐振器单元布置成封闭系统。所述的多个谐振器单元的振荡元件以一体的形式连续地形成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及利用机械谐振的谐振器、使用该谐振器的振荡器和设有 该振荡器的通信装置。
技术介绍
随着近年来无线通信技术的发展，利用无线通信技术的通信设备需要减小其尺寸和重量。微机电系统(MEMS)技术己被用于加工曾经难 以小型化的RF信号处理单元，所述微机电系统技术可以基于用于半导体 加工的微处理技术制造精细的机械结构。例如，利用机械谐振的机械谐振器是熟知的。诸如滤波器、振荡器 和混频器的使用机械谐振器的RF单元，因为它们尺寸小且可以集成，所 以它们有望应用于通信领域。日本专利申请特开公报No.JP2006-33740 (专利文件l)和美国专利No.6249073 (专利文件2)公开了机械谐振器 的技术。制造利用谐振器的振荡器需要小的插入损耗和高Q值的谐振器。由于 机械谐振器具有高阻抗，所以需要并联连接相同的谐振器单元，即需要 通过并联连接降低阻抗，而并联连接将导致谐振器的Q值降低。利用机械振荡的并联谐振器存在两种可能降低Q值的原因(1)并联 谐振器中各个单位谐振器单元的特性的变化；和(2)振荡元件的动能经 支撑元件泄漏至基板。原因(2)也适用于单个单元的谐振器。以下将解 释这两个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种包含多个谐振器单元的谐振器，各谐振器单元分别具有相互面对且彼此之间具有空间的电极和振荡元件，所述多个谐振器单元经布置以形成封闭系统，　其中所述的多个谐振器单元的振荡元件是以一体的方式连续地形成的。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛田伸也，秋叶朗，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]