【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空调频机，属于电子行业-真空调频设备
二、
技术介绍
现有韩国、美国真空调频机，其工作原理为被调频体通过电机工作带动 调频圈旋转，频率计即时对调频体进行频率侦测，调频体通过获取银量的多 少，频率由高向低调整，调整至合格范围为合格品。现有技术存在的问题是 调频机在动作方面都是以电机带动调频圈旋转，使之转到被调整位置上，工 作效率不高，最多的调频机只有144个工位， 一个调频周期在15分钟左右， 这种技术已经是在本领域里最高的工作效率。上述调频机为一个电机带动多个齿轮使调频圈旋转，而且电机装于真空 室外，无论是机械结构或工作原理都很复杂，涉及许多密封工艺，密封件、 齿轮、轴承等寿命都很短，经常需要更换。上述调频机的被调频体在调频圈上垂直放置，调频圈的机械结构相当复 杂，成本也很高；测试被调频体时，接触方式为弹簧片式，此种方式运动速 度慢，影响工作效率。其工作流程当真空室内真空度到一定数值，电极加热，由电机带动调频圈转动，测试每个被调频体的频率，留存数值做参考，逐个调整被调频体频率，将被调 频体调整到合格范围。用时15分钟 20分钟，每个调频...
【技术保护点】
ＸＹ轴直线型真空调频机，特征在于，包括由底版（３）、真空室壁（１９）、上盖板（２０）构成的真空室，真空室内设有连接带动承载体夹具托盘（１０）分别在Ｘ方向、Ｙ方向步进移动的Ｘ方向步进移动装置、Ｙ方向步进移动装置，Ｘ方向步进移动装置、Ｙ方向步进移动装置通过支撑架（５）连接在底版（３）上，与真空室连接的固定支撑架（２１）上连接有被调频体频率探测装置，被调频体频率探测装置位于夹具托盘（１０）上的夹具（１６）上方，夹具（１６）下方设有蒸发盒（８）与蒸发电极（７）构成的银蒸发装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈罡，
申请(专利权)人：烟台开发区金威科技开发有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：37[中国|山东]
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