下载XY轴直线型真空调频机的技术资料

文档序号:3407977

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本实用新型涉及一种真空调频机,属于电子行业-真空调频设备技术领域。包括由底版3、真空室壁19、上盖板20构成的真空室,真空室内设有连接带动承载体夹具托盘10分别在X方向、Y方向步进移动的X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置,X方向步进移动...
该专利属于烟台开发区金威科技开发有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过烟台开发区金威科技开发有限责任公司授权不得商用。

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