一种用于高温加速度传感器的铁电薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术属于压电材料与元器件领域，提供一种用于高温加速度传感器的铁电薄膜及其制备方法，所述铁电薄膜的化学通式为(1

【技术实现步骤摘要】
一种用于高温加速度传感器的铁电薄膜及其制备方法


[0001]本专利技术涉及压电薄膜
，具体涉及一种用于高温加速度传感器的铁电薄膜及其制备方法。

技术介绍

[0002]电力、电子器件和控制技术等正朝着大功率、小型化和轻量化等方向发展，而铁电材料由于其具有小型轻量化等特点，较符合现代电子元器件的发展。随着航空航天、汽车电子等领域的飞速发展，高温加速度传感器备受关注，造成技术和市场差距的主要原因是国产高温加速传感器相关研究相对滞后，能够耐受高温的加速度传感器则成为开发的重点。铁电薄膜的制备、应用以及研究是国内外功能材料与器件的一个热点。但是应用于实际器件时，还存在一些障碍，总的来说主要有压电常数低、损耗大等。为了保证铁电薄膜材料在高温环境下正常工作而不失效，对铁电薄膜材料的性能提出了更高的要求。
[0003]Ba(Ti1‑
x
Zr
x
)O3(BTZ)因具有高介电常数、低介电损耗、高介电非线性和良好的压电性能得到研究者们的广泛研究，由于BTZ材料的居里点Tc接近于室温，其介电常数的温度系数相对较大，自发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于高温加速度传感器的铁电薄膜，其特征在于，所述铁电薄膜的化学通式为(1
‑
x)BiAO3–
xBa(Ti
0.85
Zr
0.15
)O3，其中0.12≤x≤0.20，A为Fe、Yb中的一种或两种组合。2.一种用于高温加速度传感器的铁电薄膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：(1)按化学通式配制Ba(Ti
0.85
Zr
0.15
)O3前驱体溶胶液；同时再配制BiAO3前驱体溶胶液，A为Fe、Yb中的一种或两种组合；BiAO3前驱体溶胶液中A离子的浓度与Ba(Ti
0.85
Zr
0.15
)O3前驱体溶胶液中金属Ba离子浓度的比值为(1
‑
x)：x，其中0.12≤x≤0.20；(2)将步骤(1)所得Ba(Ti
0.85
Zr
0.15
)O3前驱体溶液旋涂于衬底上，得到湿膜；(3)将步骤(2)所得湿膜干燥、热解制得一层未完全晶化的Ba(Ti
0.85
Zr
0.15
)O3薄膜；(4)将与步骤(2)所用Ba(Ti
0.85
Zr
0.15
)O3前驱体溶胶液等体积的BiAO3前驱体溶胶液旋涂旋涂在步骤(3)未完全晶化的Ba(Ti
0.85
Zr
0.15
)O3薄膜上面，得到湿膜；(5)将步骤(4)所得湿膜干燥、热解、退火制得一层完全晶化的(1
‑
x)BiAO3–
xBa(Ti
0.85
Zr
0.15
)O3铁电薄膜，其中0.12≤x≤0.20；(6)按照步骤(2)～(5)的方法在制得的铁电薄膜上继续进行多次制膜，得到厚度为300纳米
‑
3微米的铁电薄膜，即为所述高温加速度传感器的铁电薄膜。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：所述Ba(Ti
0.85
Zr
0.15
)O3前驱体溶胶液的制备方法为，将钡源硝酸钡或者醋酸钡溶解在冰醋酸、去离子水体积比为1:1的80
‑
105℃混合液体中，得混合液Ⅰ；然后室温下将钛酸丁酯、锆源溶解在冰醋酸和CH3COCH2COCH3体积比为1:1的混合液体中，得混合液Ⅱ，最后将混合液Ⅰ和混合液Ⅱ混合，并于70
‑
90℃搅拌均匀，放置20
‑
30h，得到浓度为0.1
...

【专利技术属性】
技术研发人员：李欣芮，曹雪凤，强雪蕊，刘来君，罗宇舟，彭彪林，陈雪，
申请(专利权)人：南京卡巴卡电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：