下载一种用于高温加速度传感器的铁电薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:34079234

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本发明属于压电材料与元器件领域,提供一种用于高温加速度传感器的铁电薄膜及其制备方法,所述铁电薄膜的化学通式为(1
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