用于石墨烯制造工艺的转移材料层制造技术

本文的实施例涉及用于在石墨烯制造工艺期间将转移材料层施加至石墨烯的方法和系统。在一个实施例中，包括一种生产石墨烯传感器元件的方法。所述方法包括在生长基底上形成石墨烯层和将含氟聚合物涂布层施加于所述石墨烯层上。所述方法包括移除所述生长基底和将所述石墨烯层和含氟聚合物涂布层转移至转移基底上，其中所述石墨烯层设置于所述转移基底上并且所述含氟聚合物层设置于所述石墨烯层上。所述方法还包括移除所述含氟聚合物涂布层。本文还包括其它实施例。还包括其它实施例。还包括其它实施例。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于石墨烯制造工艺的转移材料层
[0001]本申请于2020年11月12日提交为PCT国际专利申请，申请人为明尼苏达州大学董事会(REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MINNESOTA)，指定所有国家；专利技术人为美国公民Steven J.Koester、美国公民Philippe Pierre Joseph Buhlmann和中国公民苏群，指定所有国家。本申请也提交为PCT国际专利申请，申请人为美国国家公司波士顿科技公司(Boston Scientific Scimed,Inc.)，指定所有国家；专利技术人为美国公民Xue Zhen、美国公民Justin Theodore Nelson和美国公民Gregory J.Sherwood，指定所有国家。本申请要求提交于2019年11月15日的美国临时申请No.62/935,941优先权，该临时申请的内容全文以引用方式并入本文。


[0002]本文的实施例涉及用于在石墨烯制造工艺期间将转移材料层施加至石墨烯的方法和系统。更具体地，本文的实施例涉及包括在石墨烯制造工艺期间将含氟聚合物用作石墨烯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种生产石墨烯传感器元件的方法，所述方法包括：在生长基底上形成石墨烯层；将含氟聚合物涂布层施加于所述石墨烯层上；移除所述生长基底；将所述石墨烯层和含氟聚合物涂布层转移至转移基底上，使得所述石墨烯层设置于所述转移基底上并且所述含氟聚合物层设置于所述石墨烯层上；和移除所述含氟聚合物涂布层。2.根据权利要求1和3至10中任一项所述的方法，所述生长基底包括铜。3.权利要求1至2和4至10中任一项所述的方法，所述含氟聚合物包括聚[4,5
‑
二氟
‑
2,2
‑
双(三氟甲基)
‑
1,3
‑
二氧杂环戊烯
‑
共
‑
四氟乙烯]，或其衍生物。4.根据权利要求1至3和5至10中任一项所述的方法，其中二氧杂环戊烯与四氟乙烯的摩尔为1:99至99:1。5.根据权利要求1至4和6至10中任一项所述的方法，其中所述含氟聚合物在溶剂中具有大于0.1重量％的溶解度。6.根据权利要求1至5和7至10中任一项所述的方法，其中施加含氟聚合物包括旋涂工艺、喷墨印刷、喷涂工艺或化学气相沉积工艺。7.根据权利要求1至6和8至10中任一项所述的方法，其中移除所述生长基底包括施加氯化铁溶液或过硫酸铵溶液。8.根据权利要求1至7和9至10中任一项所述的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：史蒂芬，
申请(专利权)人：波士顿科学国际有限公司，
类型：发明
国别省市：