【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】部件安装系统、部件供给装置以及部件安装方法
[0001]本专利技术涉及一种部件安装系统、部件供给装置以及部件安装方法。
技术介绍
[0002]提出了一种方法：具备保持基板的载物台(stage)和配置于载物台的上方的接合部，在将芯片保持于接合部的头的状态下，使接合部下降来将芯片与基板接合(例如参照专利文献1)。此外，还提出了一种方法：在对两个被接合物的接合面实施等离子处理之后，使两个被接合物的接合面彼此接触来进行接合(例如参照专利文献2)。并且，正提供一种方法：在对芯片中的与基板接合的接合面实施等离子处理之后，使芯片的接合面与基板接触来将芯片与基板接合。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2012－238775号公报
[0006]专利文献2：日本特表2003－523627号公报
技术实现思路
[0007]专利技术所要解决的问题
[0008]在前述的方法中，当在将芯片与基板接合时的芯片的接合面附着有异物或者存在伤痕时，会产生芯片...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种部件安装系统，其为将部件安装于基板的部件安装系统，具备：部件供给部，供给所述部件；头，在顶端部保持所述部件的与接合于所述基板的安装面的接合面侧相反的一侧；第一部件输送部，具有第一部件保持部，所述第一部件保持部以非接触的方式保持从所述部件供给部供给的所述部件的所述接合面侧，所述第一部件输送部在所述第一部件保持部保持有所述部件的状态下，输送至向所述头移载所述部件的移载位置；基板保持部，保持所述基板；以及头驱动部，在从所述第一部件输送部移载的所述部件保持于所述头的顶端部的状态下，使所述头向第一方向相对移动，从而使所述部件的接合面与所述基板的所述安装面接触来将所述部件安装于所述安装面，其中，所述第一方向是从所述头朝向所述基板保持部的方向。2.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，所述头在顶端部设有部件支承部，所述部件支承部在支承有所述部件的与接合于所述基板的安装面的接合面侧相反的一侧中的第一部位的状态下向铅垂方向移动自如，所述部件安装系统还具备支承部驱动部，所述支承部驱动部在保持有所述部件的所述第一部件保持部位于所述移载位置并且由所述部件支承部支承有所述部件的所述第一部位的状态下，使所述部件支承部向比所述第一部件保持部靠所述第一方向侧相对移动，由此将所述部件从所述第一部件保持部向所述头移载，所述第一部件输送部具有保持从所述部件供给部供给的所述部件的与所述接合面侧相反的一侧中的与第一部位不同的第二部位的所述第一部件保持部，所述第一部件输送部在所述第一部件保持部保持有所述部件的状态下，输送至向所述头移载所述部件的移载位置，所述头驱动部在从所述第一部件输送部移载的所述部件保持于所述头的顶端部的状态下，使所述头向第一方向相对移动，从而使所述部件的接合面与所述基板的所述安装面接触来将所述部件安装于所述安装面，其中，所述第一方向是从所述头朝向所述基板保持部的方向。3.根据权利要求2所述的部件安装系统，其中，所述第一部件输送部具有部件罩，所述部件罩在所述部件被所述第一部件保持部保持的状态下覆盖所述部件的所述接合面侧。4.根据权利要求2或3所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部具有拾取机构，所述拾取机构保持多个部件中的至少一个部件的与所述接合面侧相反的一侧中的与第一部位不同的第三部位并从所述多个部件中将所述部件切出，所述第一部件输送部在利用所述第一部件保持部保持有所述第二部位的状态下接受所述至少一个部件。5.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部具有拾取机构，所述拾取机构从多个部件中将所述多个部件中的至少一个部件切出，所述第一部件输送部利用所述第一部件保持部以不接触所述部件的所述接合面侧的
方式接受所述至少一个部件。6.根据权利要求1或5所述的部件安装系统，其中，所述第一部件保持部是伯努利吸盘。7.根据权利要求1或5所述的部件安装系统，其中，所述第一部件保持部是非接触吸盘，所述第一部件保持部具有：吸盘主体，形成有与保持的所述部件侧连通的流路；负压产生部，在所述流路内产生负压；以及超声波产生部，通过使所述吸盘主体振动，在所述吸盘主体与所述部件之间产生超声波。8.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部还具有：片材保持部，保持粘贴于多个部件各自的与所述接合面侧相反的一侧的片材；以及拾取机构，从多个部件中将所述多个部件中的至少一个部件切出，所述拾取机构具有三个以上的部件支承销或多个长条的部件支承板，所述三个以上的部件支承销或所述部件支承板不支承所述至少一个部件各自的所述接合面侧，而是用于以所述至少一个部件各自的接合面水平于与铅垂方向正交的面的姿势支承所述至少一个部件的每一个，所述拾取机构利用所述部件支承销或所述部件支承板将所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分向所述第一部件保持部侧顶出，由此向所述第一部件保持部移载所述至少一个部件。9.根据权利要求8所述的部件安装系统，其中，所述拾取机构在向所述第一部件保持部移载所述至少一个部件时使所述三个以上的部件支承销或多个部件支承板移动，直至所述三个以上的部件支承销或多个部件支承板的顶端部配置于比所述第一部件保持部靠铅垂上方。10.根据权利要求8所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部还具有片材保持部，所述片材保持部保持粘贴于多个部件各自的与所述接合面侧相反的一侧的片材，所述拾取机构具有三个以上的部件支承销或多个长条的部件支承板，所述三个以上的部件支承销或所述部件支承板用于以所述至少一个部件各自的接合面水平于与铅垂方向正交的面的姿势支承所述至少一个部件的每一个，所述拾取机构利用所述部件支承销或所述部件支承板将所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分向所述第一部件保持部侧顶出，由此向所述第一部件保持部移载所述至少一个部件。11.根据权利要求8至10中任一项所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部还具有吸附单元，所述吸附单元从所述片材中的与所述多个部件侧相反的一侧对所述片材中的粘贴有除了被所述拾取机构切出的所述至少一个部件以外的部件的部分进行吸附，所述拾取机构在粘贴有除了所述至少一个部件以外的部件的部分被所述吸附单元吸附的状态下，将所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分向所述第一部件保持部侧顶出。12.根据权利要求8至11中任一项所述的部件安装系统，其中，所述拾取机构在将所述三个以上的部件支承销或多个部件支承板的顶端部按压于所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分的状态下，使所述三个以上的部件支承销或所述多个部件支承板移动，由此将所述至少一个部件从所述片材剥离，之后利用所述三个以
上的部件支承销或多个部件支承板将所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分向所述第一部件保持部侧顶出。13.根据权利要求12所述的部件安装系统，其中，所述拾取机构具有所述多个部件支承板，所述拾取机构在将所述多个部件支承板的顶端部按压于所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分的状态下，使所述多个部件支承板向相互靠近的方向移动，由此对所述片材进行划擦，之后使所述多个部件支承板向相互远离的方向移动，然后利用所述部件支承板将所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分向所述第一部件保持部侧顶出。14.根据权利要求8至11中任一项所述的部件安装系统，其中，所述拾取机构具有所述三个以上的部件支承销，并且具有用于使所述部件容易从所述片材剥离的多个剥离用销，所述拾取机构在将所述三个以上的部件支承销的顶端部按压于所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分的状态下，将所述多个剥离用销的顶端部按压于所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分，之后使所述三个以上的部件支承销的顶端部从所述片材脱离，然后在将所述三个以上的部件支承销的顶端部按压于所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分的状态下，利用所述部件支承销将所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分向所述第一部件保持部侧顶出。15.根据权利要求13或14所述的部件安装系统，其中，所述拾取机构在将所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分向所述第一部件保持部侧顶出时，从与所述至少一个部件侧相反的一侧对所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分进行吸引。16.根据权利要求8至11中任一项所述的部件安装系统，其中，所述拾取机构具有所述三个以上的部件支承销，并且具有用于使所述部件容易从所述片材剥离的多个剥离构件，所述拾取机构在将所述多个剥离构件的顶端部按压于所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分的状态下，使所述多个剥离构件向相互靠近的方向移动，由此对所述片材进行划擦，之后利用所述部件支承销将所述片材中的粘贴有所述至少一个部件的部分向所述第一部件保持部侧顶出。17.根据权利要求1至16中任一项所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部或所述第一部件输送部具有：多个钩，能采取从铅垂下方侧卡定于所述至少一个部件的周部的状态和已从所述至少一个部件脱离的状态；以及钩驱动部，在所述部件供给部供给所述部件时，使所述多个钩从铅垂下方侧卡定于所述至少一个部件的铅垂下方侧的周部来使所述至少一个部件保持于所述多个钩。18.根据权利要求1至3中任一项所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部具有：片材保持部，保持粘贴于多个部件各自的与所述接合面侧相反的一侧的片材；以及拾取机构，通过从所述片材中的与所述多个部件侧相反的一侧将所述多个部件中的至少一个部件切出，使所述至少一个部件处于已从所述片材脱离的状态。19.根据权利要求1至3中任一项所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部具有：
片材保持部，保持粘贴有多个部件各自的与所述接合面侧相反的一侧的片材；拾取机构，通过从所述片材中的与所述多个部件侧相反的一侧将所述多个部件中的至少一个部件切出，使所述至少一个部件处于已从所述片材脱离的状态；第二部件输送部，具有以不与所述接合面接触的状态保持所述至少一个部件的作为伯努利吸盘的第二部件保持部，所述第二部件输送部在所述第二部件保持部保持有所述部件的状态下，将所述第二部件保持部输送至所述第一部件输送部的接受位置；以及翻转部，对保持于所述第二部件保持部的所述部件的与所述接合面侧相反的一侧进行保持，以所述接合面成为朝向所述第一方向的姿势的方式进行翻转。20.根据权利要求1至3中任一项所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部具有：片材保持部，以所述接合面朝向所述第一方向侧的姿势保持粘贴有多个部件各自的所述接合面侧的片材；以及第三部件输送部，具有第三部件保持部，所述第三部件保持部从所述片材中的所述多个部件侧并从所述部件中的与所述接合面侧相反的一侧保持所述多个部件中的至少一个部件，所述第三部件输送部在所述第三部件保持部保持有所述部件的状态下，将所述第三部件保持部输送至所述第一部件输送部的接受位置。21.根据权利要求8至20中任一项所述的部件安装系统，其中，所述片材是在具有粘合性的面保持所述部件的粘合片。22.根据权利要求21所述的部件安装系统，其中，所述具有粘合性的面涂布有当照射紫外线时粘合力下降的材料，所述拾取机构具有紫外线照射部，所述紫外线照射部在从粘贴于所述片材的所述多个部件中将至少一个部件切出时对所述片材照射紫外线。23.根据权利要求18所述的部件安装系统，其中，所述片材是在具有粘合性的面保持所述部件的粘合片，在供所述多个部件粘贴的区域分别形成有孔，所述拾取机构具有支承所述部件的部件支承销，所述拾取机构针对所述多个部件中的至少一个部件，通过使所述部件支承销从所述片材中的与所述多个部件侧相反的一侧插通于所述孔来使所述至少一个部件处于已从所述片材脱离的状态。24.根据权利要求23所述的部件安装系统，其中，所述部件支承销是吸附支柱。25.根据权利要求1至3中任一项所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部具有：芯片供给头，具有头主体和至少一个支承部，所述头主体设有凹部并且在所述凹部的底部设有用于对存在于所述凹部的内侧的气体进行吸引的吸引孔，所述至少一个支承部突出设置于所述凹部的底部；以及吸引部，在供给所述部件时，在所述芯片供给头与在具有粘合性的面保持所述部件的粘合片中的与所述部件对应的位置接触的状态下，通过所述吸引孔来对存在于所述凹部的内侧的区域的气体进行吸引，由此减少所述粘合片与所述部件之间的接触面积从而使所述部件从所述粘合片脱离。
26.根据权利要求1至3中任一项所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部具有：托盘，具有托盘主体、至少一个支承部、粘合片以及连通孔，所述托盘主体设有供所述部件配置于内侧的凹部，所述至少一个支承部突出设置于所述凹部的底部，所述粘合片拉伸架设于所述凹部中的远离所述底部的位置并在与所述底部相反的一侧的具有粘合性的面保持所述部件，所述连通孔连通于所述凹部的底部和所述粘合片之间的区域；以及吸引部，在所述部件保持于所述粘合片的状态下供给所述部件时，通过所述连通孔来对存在于所述区域的气体进行吸引，由此通过减少所述粘合片与所述部件之间的接触面积来使所述部件从所述粘合片脱离。27.根据权利要求1至3中任一项所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部具有：托盘，具有托盘主体，所述托盘主体设有供所述多个部件分别配置于内侧的凹部；以及拾取机构，通过从所述托盘中的与所述多个部件侧相反的一侧将所述多个部件中的至少一个部件切出，使所述至少一个部件处于已从所述托盘脱离的状态，在所述托盘主体形成有从所述凹部的底部起在厚度方向上贯通所述托盘主体的贯通孔，所述拾取机构具有支承所述部件的部件支承销，所述拾取机构针对所述多个部件中的至少一个部件，通过使所述部件支承销从所述托盘中的与所述凹部侧相反的一侧插通于所述贯通孔来使所述至少一个部件处于已从所述托盘脱离的状态。28.根据权利要求1至3中任一项所述的部件安装系统，其中，所述部件供给部具有：拾取机构，将所述多个部件中的至少一个部件切出；以及第二部件输送部，具有第二部件保持部，所述第二部件保持部以不与所述接合面接触的状态保持所述至少一个部件，所述第二部件输送部在所述第二部件保持部保持有所述部件的状态下，将所述第二部件保持部输送至所述第一部件输送部的接受位置。29.根据权利要求28所述的部件安装系统，其中，所述第二部件保持部是伯努利吸盘。30.根据权利要求28所述的部件安装系统，其中...
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