弹性波装置制造方法及图纸

技术编号:3407271 阅读:192 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种弹性波装置,在以铌酸锂为主要成分的压电体的基板上形成由具有规定厚度的导体构成的指状电极,以从Y晶轴绕上述铌酸锂的X晶轴转动55°到57°的范围的面为上述基板表面;电极指的占空比(电极指宽w/电极指的排列周期p)大于0.4而小于1.0。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及通信设备或电子设备等电路中使用的传输弹性波的弹性波装置
技术介绍
附图说明图1是表示日本公开未审专利申请JP9-167936(文献1)中所示的通常使用铌酸锂(LiNbO3,以下简称LN)的现有技术的弹性波装置特性的示例。图中,纵轴是弹性表面波(以下称SAW:Surface AcousticWave)的传输损耗,用分贝(dB)来表示每一个波长(λ)的SAW传输距离的传输损耗。横轴是用波长(λ)归一化了的归一化电极厚度(h/λ)。这里,h是电极厚度。图1所示的特性是把上述LN的X晶轴作为SAW的传输方向、以垂直于使Y晶轴绕X晶轴转动θ角的“转动θ的Y”轴的面为基板表面的情况下的特性,表示使θ角在62°到74°的范围内转动的情况。图2是通常弹性波装置的断面图,图中,1是LN基板,2是在LN基板1上的由铝(Al)等构成的电极。如图2所示,图1表示以垂直于“转动θ的Y”轴的面为LN基板1的表面,进而,用厚度h的电极材料2被覆整个面的情况下的特性。在多数的情况下,电极2是铝(Al)。这样,把以垂直于“转动θ的Y”轴的面为LN基板1的表面并将以X晶轴为SAW的传输方向的LN基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置,在以铌酸锂为主要成分的压电体的基板上形成由具有规定厚度的导体构成的指状电极,其特征在于,以从Y晶轴绕上述铌酸锂的X晶轴转动55°到57°的范围的面为上述基板表面;由上述指状电极的电极指宽w和上述电极指的排列周期p决定的上述电极指的占空比(w/p)大于0.4而小于1.0。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:吉田宪司和高修三三须幸一郎永塚勉村井康治山口正恒桥本研也大森达也
申请(专利权)人:三菱电机株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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