一种自动校准式XRD四晶单色仪及校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是针对现有的XRD四晶单色仪自动校准装置通过激光校准当改用X光工作时，无法确保光源的准直性且手动校准误差大不能保证校准精度的技术问题，提供一种自动校准式XRD四晶单色仪及校准装置，此校准装置包括样品平台，包括两个伺服马达，样品平台、X射线探测器及控制系统，每个伺服马达上设置有相同精度的高精度编码器，此单色仪包括晶体组一和晶体组二，晶体组一和晶体组二均分别设置在对应的固定底座上，固定底座可转动，采用本实用新型专利技术结构的一种自动校准式XRD四晶单色仪及校准装置，控制精度高，容易实现,可靠性好,重复性高,灵活程度高，可快速进行校准及调整，设备成本增加的少，有利于对现有四晶单色仪进行改进或直接使用。或直接使用。或直接使用。

【技术实现步骤摘要】
一种自动校准式XRD四晶单色仪及校准装置


[0001]本技术涉及涉及无损晶体检测
，特别涉及一种XRD四晶单色仪自动校准装置。

技术介绍

[0002]XRD(X
‑
Ray Diffraction) 又名X射线衍射，是一种无损晶体检测方案，不同的材料在X射线下会产生不同的衍射图谱，通过分析衍射图谱进而能研究材料的结构与组成，它已经被广泛的应用于工业，科研 航空航天等重要领域。针对不同的研究材料，XRD又细分为专门针对固体材料、粉末材料、液体材料等；检测分辨率也被细分为高分辨与普通分辨。相比较普通分辨的XRD，高分辨的XRD具有更好的单色入射光和平行度，色散小，高准直度特性，衍射的峰宽非常小，可以观察到到普通XRD无法看到的材料峰的劈裂，是用于薄膜材料，半导体等材料表征的重要手段。而高分辨XRD的核心部件即为四晶单色仪，它的好坏直接决定了高分辨XRD的检测性能。
[0003] 由于四晶单色仪是高精密的光学组件，其出厂前被经过精密的光学调试，一般不需要进行调整。而在实际使用过程中，由于设备拆装，维护保养，使用不当或者使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种XRD四晶单色仪自动校准装置，包括样品平台，其特征在于：包括两个伺服马达，样品平台、X射线探测器及控制系统，每个伺服马达上设置有相同精度的高精度编码器，两个所述伺服马达的输出轴均分别用于与对应的晶体组的固定底座固定连接；两个所述的伺服马达、编码器、X射线探测器4均分别与控制系统的输出端电连接；控制系统包括晶体组旋转控制模块、X射线探测器控制模块及曲线对比及校正模块，所述晶体组旋转控制模块能单独对其中一个伺服马达的旋转角度、旋转速度、旋转方向进行控制，从而单独控制一组晶体组的旋转角度、旋转速度和旋转方向；当所述控制系统识别到晶体组运动到设定的位置时，由所述X射线探测器控制模块控制X射线探测器进行扫描并控制X射线探测器的扫描速度和扫描范围,自动记录该组晶体组的峰值曲线及数据并生成该组晶体组的测试曲线和主峰最强值;所述的曲线对比及校正模块据探测器扫描后生成的曲线和数据识别样品最强主峰位置并驱动该伺服马达转动从而将所对应的晶体组旋转至主峰最强位置。2.根据权利要求1所述的XRD四晶单色仪自动校准装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：马栋梁，陈意桥，张国祯，
申请(专利权)人：苏州焜原光电有限公司，
类型：新型
国别省市：