一种水冷屏导向装置、单晶炉炉盖和单晶炉制造方法及图纸

技术编号:34066472 阅读:62 留言:0更新日期:2022-07-06 21:39
本实用新型专利技术提供一种水冷屏导向装置、单晶炉炉盖和单晶炉,该水冷屏导向装置用于单晶炉,所述水冷屏导向装置安装在所述单晶炉的炉盖的水冷屏孔位置处,所述水冷屏导向装置包括法兰盘,所述法兰盘的中心部分形成通孔并且边缘部分连接到所述水冷屏孔的边缘上方;多个导向结构,设置在所述法兰盘的所述通孔的边缘下方并且在所述炉盖的水冷屏孔内纵向延伸,多个所述导向结构沿所述通孔的周向间隔布置以在内部围成与所述通孔连通使水冷屏通过的柱状空间。本实用新型专利技术实施例的水冷屏导向装置用于引导水冷屏上下移动,避免了出现因水冷屏偏移而导致单晶炉内部气流不平衡的现象,提高了结晶质量。晶质量。晶质量。

【技术实现步骤摘要】
一种水冷屏导向装置、单晶炉炉盖和单晶炉


[0001]本技术涉及光伏
,具体涉及一种水冷屏导向装置、单晶炉炉盖和单晶炉。

技术介绍

[0002]当代单晶硅正向着高纯度、高完整性、高均匀性和大直径方向发展。单晶硅生产主要使用直拉法通过单晶炉拉制单晶硅棒。
[0003]为了提高硅晶体生长速度,通常在硅晶体的根部位置使用水冷屏,通过热量交换方法快速带走晶体根部的热量,从而加快晶体的生长速度。水冷屏为了更好的对晶体根部进行降温,需要在单晶炉内随晶体根部上下移动,但是由于水冷屏在单晶炉内升降过程中容易发生偏移,从而导致单晶炉内部气流不平衡,影响单晶硅棒的成晶质量。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本技术提供一种水冷屏导向装置,以解决水冷屏在单晶炉内移动发生偏移而影响成晶质量的问题。
[0005]本技术还提供一种单晶炉炉盖。
[0006]此外本技术还提供一种单晶炉。
[0007]为了实现上述目的,本技术采用以下技术方案:
[0008]根据本技术第一方面实施例的水冷屏导向装置,所述水冷屏导向装置安装在所述单晶炉的炉盖的水冷屏孔位置处,所述水冷屏导向装置包括:
[0009]法兰盘,所述法兰盘的中心部分形成通孔并且边缘部分连接到所述水冷屏孔的边缘上方;
[0010]多个导向结构,设置在所述法兰盘的所述通孔的边缘下方并且在所述炉盖的水冷屏孔内纵向延伸,多个所述导向结构沿所述通孔的周向间隔布置以在内部围成与所述通孔连通使水冷屏通过的柱状空间。
[0011]进一步地,每个所述导向结构包括:
[0012]导向柱,纵向延伸并且形成有纵向排列的多个安装槽;
[0013]滚轮,上下可转动地安装在所述安装槽内,并且所述滚轮的至少一部分从所述安装槽向所述柱状空间内突出,以与水冷屏接触。
[0014]进一步地,所述法兰盘的边缘部分设置有多个紧固孔,紧固件穿过所述紧固孔将所述法兰盘连接到所述水冷屏孔的边缘上方。
[0015]进一步地,本技术实施例的水冷屏导向装置还可以包括:
[0016]第一定位套,所述第一定位套设置在所述导向结构的底端,并定位在所述水冷屏孔内。
[0017]进一步地,本技术实施例的水冷屏导向装置还可以包括:
[0018]第二定位套,所述第二定位套设置在所述法兰盘与多个所述导向结构之间,并定
位在所述水冷屏孔内。
[0019]进一步地,所述第一定位套和所述第二定位套形成为圆环状。
[0020]进一步地,所述法兰盘的所述通孔内沿周向设有密封卡槽。
[0021]进一步地,进一步地,本技术实施例的水冷屏导向装置还可以包括:
[0022]密封件,所述密封件设置在所述法兰盘的所述通孔内的所述密封卡槽内。
[0023]根据本技术第二方面实施例的单晶炉炉盖,包括:
[0024]盖体,具有对称设置的两个水冷屏孔,其中水冷屏通过所述水冷屏孔上下移动;
[0025]水冷屏导向装置,所述水冷屏导向装置为上述任一项所述的水冷屏导向装置。
[0026]根据本技术第三方面实施例的单晶炉,包括:
[0027]炉体;
[0028]炉盖,所述炉盖为上述的单晶炉炉盖,所述炉盖扣合在所述炉体上;
[0029]水冷屏,在所述水冷屏导向装置的引导下在所述炉体内上下移动。
[0030]本技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一:
[0031]根据本技术实施例的水冷屏导向装置,水冷屏导向装置安装在单晶炉的炉盖的水冷屏孔位置处,水冷屏导向装置包括法兰盘和多个导向结构,法兰盘的中心部分形成通孔并且边缘部分连接到所述水冷屏孔的边缘上方,多个导向结构设置在法兰盘的通孔的边缘下方并且在炉盖的水冷屏孔内纵向延伸,多个导向结构沿通孔的周向间隔布置以在内部围成与通孔连通使水冷屏通过的柱状空间。本技术的水冷屏导向装置通过由多个导向结构围成与通孔连通的柱状空间,以使得水冷屏在柱状空间内移动,避免了出现因水冷屏偏移而导致单晶炉内部气流不平衡的现象,提高了结晶质量。
附图说明
[0032]图1为本技术单晶炉的炉盖的结构示意图;
[0033]图2为图1中C的局部放大图;
[0034]图3为本技术水冷屏导向装置的结构示意图;
[0035]图4为图3中沿A

A方向的剖视图。
[0036]附图标记:
[0037]100.水冷屏导向装置;110.法兰盘;111.通孔;111a.密封卡槽;112.紧固孔;120.导向结构;121.导向柱;121a.安装槽;121b.矩形框架;121c.横臂;122.滚轮;130.第一定位套;140.第二定位套;150.密封件;200.盖体;300.水冷屏;400.水冷屏孔。
具体实施方式
[0038]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例的附图,对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本技术的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0039]除非另作定义,本技术中使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。同
样,“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制,而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变后,则该相对位置关系也相应地改变。
[0040]下面首先结合附图具体描述本技术实施例的水冷屏导向装置。
[0041]如图1至图2所示,根据本技术实施例的水冷屏导向装置,该水冷屏导向装置100安装在单晶炉的炉盖的水冷屏孔400位置处。由于单晶炉的炉盖的水冷屏孔400位置处用于设置水冷屏300,在水冷屏孔400位置处安装水冷屏导向装置100,可使水冷屏导向装置100对于上下移动的水冷屏300起引导作用,本技术实施例的水冷屏导向装置100包括法兰盘110和多个导向结构120。
[0042]其中,如图3至图4所示,法兰盘110的中心部分形成通孔111并且边缘部分连接到炉盖的水冷屏孔400的边缘上方,也就是说,法兰盘110设置于水冷屏孔400的边缘上方,且法兰盘110的中心部分形成的通孔111的中心与水冷屏孔400的中心重合。
[0043]多个导向结构120设置在法兰盘110的通孔111的边缘下方并且在炉盖的水冷屏孔400内纵向延伸,多个导向结构120沿通孔11本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水冷屏导向装置,用于单晶炉,其特征在于,所述水冷屏导向装置安装在所述单晶炉的炉盖的水冷屏孔位置处,所述水冷屏导向装置包括:法兰盘,所述法兰盘的中心部分形成通孔并且边缘部分连接到所述水冷屏孔的边缘上方;多个导向结构,设置在所述法兰盘的所述通孔的边缘下方并且在所述炉盖的水冷屏孔内纵向延伸,多个所述导向结构沿所述通孔的周向间隔布置以在内部围成与所述通孔连通使水冷屏通过的柱状空间。2.根据权利要求1所述的水冷屏导向装置,其特征在于,每个所述导向结构包括:导向柱,纵向延伸并且形成有纵向排列的多个安装槽;滚轮,上下可转动地安装在所述安装槽内,并且所述滚轮的至少一部分从所述安装槽向所述柱状空间内突出,以与水冷屏接触。3.根据权利要求1所述的水冷屏导向装置,其特征在于,所述法兰盘的边缘部分设置有多个紧固孔,紧固件穿过所述紧固孔将所述法兰盘连接到所述水冷屏孔的边缘上方。4.根据权利要求1所述的水冷屏导向装置,其特征在于,还包括:第一定位套,所述第一定位套设置在所述导向结...

【专利技术属性】
技术研发人员:尤志剑陈铁旦焦继兰
申请(专利权)人:邢台晶龙新能源有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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