一种单晶炉晶晃夹持装置制造方法及图纸

本申请涉及单晶炉设备领域，尤其是涉及一种单晶炉晶晃夹持装置，包括座体；夹持机构，夹持机构位于座体上，并作用于钢丝绳，夹持机构包括：第一杆，第一杆滑移连接于座体；夹持组件，夹持组件用于夹持钢丝绳，夹持组件设置于第一杆远离座体的一端；第二杆，第二杆滑移连接于第一杆，且第二杆与第一杆平行设置，第二杆作用于夹持组件，用于触发夹持组件的张开或闭合。夹持组件被第二杆触发闭合，将拉晶的钢丝绳夹持住，一方面，减小钢丝绳在旋转过程中的晃动，从而减小晶体晃动，减小晶体由于晃动而坠落的可能。落的可能。落的可能。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉晶晃夹持装置


[0001]本申请涉及单晶炉设备领域，尤其是涉及一种单晶炉晶晃夹持装置。

技术介绍

[0002]硅单晶的主要制作方法为直拉法，直拉硅单晶的方法是用一块具有所需晶向的单晶硅作为籽晶，使硅熔体中的硅在籽晶上进行生长。硅单晶是在直拉单晶炉中形成的，主要通过化料、引晶、放肩、等径、收尾和冷却等工艺形成硅单晶。在形成过程中，埚转(坩埚转速)、晶转(硅晶体转速)、生长速度及温度补偿等工艺参数都是影响硅单晶品质的重要因素。
[0003]现有技术中，通常利用钢丝绳悬吊籽晶在熔融的液态硅中拉制出晶棒，由于晶体在旋转过程中存在一定程度的晃动，随着单晶炉中对晶体的转速提高，会增大晶体在拉制过程中坠落的可能，进而造成设备损坏甚至人员伤亡。
[0004]因此，现有技术的技术问题在于：晶体在拉制过程中容易坠落。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种单晶炉晶晃夹持装置，解决了现有技术中晶体在拉制过程中容易坠落的技术问题；达到减小晶体由于晃动而发生坠落的可能的技术效果。
[0006]本申请提供的一种单晶炉晶晃夹持装置，采用如下的技术方案：
[0007]一种单晶炉晶晃夹持装置，包括：座体；夹持机构，所述夹持机构位于所述座体上，并作用于钢丝绳，所述夹持机构包括：第一杆，所述第一杆滑移连接于所述座体；夹持组件，所述夹持组件用于夹持钢丝绳，所述夹持组件设置于所述第一杆远离座体的一端；第二杆，所述第二杆滑移连接于第一杆，且所述第二杆与所述第一杆平行设置，所述第二杆作用于所述夹持组件，用于触发所述夹持组件的张开或闭合；以及连接组件，所述连接组件设置于所述第一杆与所述第二杆之间，所述连接组件包括：第一板，所述第一板连接于所述第一杆；第二板，所述第二板连接于所述第二杆，所述第二板、所述夹持组件位于所述第一板的两侧；以及弹性件，所述弹性件位于所述第一板与所述第二板之间，且分别与所述第一板、第二板接触。
[0008]作为优选，还包括驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述第一杆和所述第二杆相对于所述座体移动，所述驱动机构包括：滑轨，所述滑轨固定于所述座体上，所述滑轨方向与所述第一杆平行；滑移座，所述滑移座滑移连接于所述滑轨，且所述滑移座与所述第二板固定连接；以及驱动件，所述驱动件固定于所述座体，所述驱动件作用于所述滑移座，用于驱动所述滑移座在所述滑轨上滑移。
[0009]作为优选，所述夹持组件包括：夹持件，所述夹持件具有两个，两个所述夹持件铰接于所述第一杆远离所述座体的一端上，两个所述夹持件之间形成夹持空间；每个所述夹持件上具有驱动部，通过驱动所述驱动部，使得所述夹持组件张开或闭合。
[0010]作为优选，所述第一杆呈中空，所述第二板设置于所述第一杆内部，所述第二杆远
离所述座体的一端连接并作用于所述驱动部。
[0011]作为优选，所述第一板固定连接于所述第一杆靠近所述座体的一端上，所述第二板固定连接于所述第二杆靠近所述座体的一端上。
[0012]作为优选，所述连接组件还包括：导向杆，所述导向杆设置于所述第一板与所述第二板之间，所述导向杆平行于所述第一杆布置，所述导向杆的第一端固定于所述第一板，所述导向杆的第二端活动连接于所述第二板，所述弹性件套设于所述导向杆外，且所述弹性件的两端分别抵触于所述第一板和所述第二板。
[0013]作为优选，所述连接组件还包括：导向杆，所述导向杆设置于所述第一板与所述第二板之间，所述导向杆平行于所述第一杆布置，所述导向杆的第一端固定于所述第二板，所述导向杆的第二端活动连接于所述第一板，所述弹性件套设于所述导向杆外，且所述弹性件的两端分别抵触于所述第一板和所述第二板。
[0014]作为优选，还包括限位组件，所述限位组件包括：限位杆，所述限位杆位于所述第一板与座体之间，所述限位杆固定于所述座体，所述限位杆上具有抵触端，所述抵触端可以与所述第一板相抵触。
[0015]作为优选，还包括限位组件，所述限位组件包括：限位杆，所述限位杆位于所述第一板与座体之间，所述限位杆固定于所述第一板，所述限位杆上具有抵触端，所述抵触端可以与所述座体相抵触。
[0016]作为优选，所述限位组件还包括：调节件，所述调节件可调式的连接于所述抵触端。
[0017]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0018]1、本申请通过外力驱动第二板，第二板带动第一板、第一杆以及第二杆移动，在第一板与座体抵触后，第二板可在外力作用下继续推动第二杆移动，夹持组件被第二杆触发闭合，将拉晶的钢丝绳夹持住，一方面，减小钢丝绳在旋转过程中的晃动，从而减小晶体晃动，减小晶体由于晃动而坠落的可能，另一方面，通过外力驱动第二杆而触发夹持组件闭合或张开，方便控制夹持组件的控制，解决了现有技术中晶体在拉制过程中容易坠落的技术问题；达到减小晶体由于晃动而发生坠落的可能的技术效果。
[0019]2、第二杆设置于第一杆的内部，减小装置整体的空间占用，同时起到对第二杆的保护作用，减小第二杆的磨损，减小第二杆触发夹持组件闭合或张开的灵敏度下降的可能。
[0020]3、限位杆限定夹持组件相对于座体伸出的最远距离，方便控制夹持组件与钢丝绳之间的相对位置，适应于不同规格大小的单晶炉；同时，在限位杆上设置了可调的调节件，进一步提高夹持组件位置的精度，提高夹持组件与钢丝绳位于呈同心设置，从而减小钢丝绳和晶体的晃动幅度。
附图说明
[0021]图1是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的立体示意图；
[0022]图2是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的俯视图；
[0023]图3是图2的剖视图；
[0024]图4是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的夹持件示意图；
[0025]图5是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的夹持件第一种状态示意图；
[0026]图6是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的夹持件第二种状态示意图；
[0027]图7是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的连接组件示意图；
[0028]图8是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的驱动机构示意图。
[0029]附图标记说明：100、座体；101、侧板；102、底板；200、夹持机构；201、第一杆；202、第二杆；203、夹持组件；2031、夹持件；2032、夹持部；2033、驱动部；2034、铰接轴；2035、夹持空间；2036、固定杆；2037、活动杆；2038、开槽；204、连接组件；2041、第一板；2042、第二板；2043、弹性件；2044、导向杆；300、驱动机构；301、滑轨；302、滑移座；303、丝杆；304、电机；400、限位机构；401、限位杆；402、调节件；500、检测机构；501、第一传感器；502、第二传感器。
具体实施方式
[0030]本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，包括：座体；夹持机构，所述夹持机构位于所述座体上，并作用于钢丝绳，所述夹持机构包括：第一杆，所述第一杆滑移连接于所述座体；夹持组件，所述夹持组件用于夹持钢丝绳，所述夹持组件设置于所述第一杆远离座体的一端；第二杆，所述第二杆滑移连接于第一杆，且所述第二杆与所述第一杆平行设置，所述第二杆作用于所述夹持组件，用于触发所述夹持组件的张开或闭合；以及连接组件，所述连接组件设置于所述第一杆与所述第二杆之间，所述连接组件包括：第一板，所述第一板连接于所述第一杆；第二板，所述第二板连接于所述第二杆，所述第二板、所述夹持组件位于所述第一板的两侧；以及弹性件，所述弹性件位于所述第一板与所述第二板之间，且分别与所述第一板、第二板接触。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，还包括驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述第一杆和所述第二杆相对于所述座体移动，所述驱动机构包括：滑轨，所述滑轨固定于所述座体上，所述滑轨方向与所述第一杆平行；滑移座，所述滑移座滑移连接于所述滑轨，且所述滑移座与所述第二板固定连接；以及驱动件，所述驱动件固定于所述座体，所述驱动件作用于所述滑移座，用于驱动所述滑移座在所述滑轨上滑移。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，所述夹持组件包括：夹持件，所述夹持件具有两个，两个所述夹持件铰接于所述第一杆远离所述座体的一端上，两个所述夹持件之间形成夹持空间；每个所述夹持件上具有驱动部，通过驱动所述驱动部，使得所述夹持组件张开或闭合。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，所述第一杆呈中空，所述第二板设置于所述第一杆内部，所述第二杆远离所...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶钢飞，倪军夫，俞安洲，石明智，王小飞，傅林坚，曹建伟，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：