一种超临界流体下超声搅拌复合电沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术尤其涉及一种超临界流体下超声搅拌复合电沉积装置，包括反应釜组件、搅拌系统和气路系统，反应釜组件包括釜本体、釜盖、夹具和脉冲电流发生器，釜本体包括环形的釜内腔和釜外腔，釜盖用于密封釜内腔和釜外腔，夹具设在釜盖下方并位于釜内腔内，脉冲电流发生器分别与夹具的正负极电连接，釜内腔内设有第一压力开关和第二压力开关；搅拌系统包括磁力搅拌组件和超声搅拌组件，超声搅拌组件包括相互配合的超声波发生器和超声波换能器，磁力搅拌组件包括相互配合的磁力发生器和磁转子，超声波发生器和磁力发生器均设在釜本体外部，超声波换能器设在釜内腔上部，磁转子设置在釜内腔底部；气路系统向釜内腔通入冷却后的二氧化碳气体。碳气体。碳气体。

【技术实现步骤摘要】
一种超临界流体下超声搅拌复合电沉积装置


[0001]本技术属于超临界电沉积装置
，尤其涉及一种超临界流体下超声搅拌复合电沉积装置。

技术介绍

[0002]基于超临界条件下的电沉积技术是一项新兴的电化学加工技术，超临界二氧化碳电镀由于表面张力小于普通电解液，降低了反应介质的整体粘度和表面张力，超临界态扩散系数为液体的10倍～ 100倍，超临界二氧化碳电镀促进晶核密度的提高，平均晶粒尺寸比常规电镀小，表面粗糙度更小，镀层晶向异于常规电镀，镀层硬度明显高于常规电镀，并具有较少的镀层缺陷。所谓超临界二氧化碳电镀是二氧化碳在温度31.26℃且压力7.3MPa以上变成一种超临界态，同时加入表面活性剂，使其与电镀液体合成超临界二氧化碳乳化液，它具有较低的粘度和较高的扩散系数。
[0003]为保证电镀液的成分均匀，避免局部成分波动，反应釜内的电镀液大多使用磁搅拌。磁搅拌有一定局限性，当电镀液的体积比较大或者添加物比较特殊时，无法将电镀液充分搅拌，无法保持电镀液充分流动，添加物出现团聚，电沉积过程中阴极附近的浓度极差等现象。r/>
技术实现思路
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超临界流体下超声搅拌复合电沉积装置，其特征在于：包括，反应釜组件，所述反应釜组件包括釜本体(1
‑
1)、釜盖(1
‑
2)、夹具(1
‑
3)和脉冲电流发生器(1
‑
4)，所述釜本体(1
‑
1)包括环形的釜内腔(1
‑
11)和釜外腔(1
‑
12)，所述釜盖(1
‑
2)用于密封釜内腔(1
‑
11)和釜外腔(1
‑
12)，所述夹具(1
‑
3)设置在釜盖(1
‑
2)的下方并位于釜内腔(1
‑
11)内，所述脉冲电流发生器(1
‑
4)分别与夹具(1
‑
3)的正负极电连接，所述釜内腔(1
‑
11)内设置有第一压力开关(1
‑
5)和第二压力开关(1
‑
6)；搅拌系统，所述搅拌系统包括磁力搅拌组件(2
‑
1)和超声搅拌组件(2
‑
2)，所述超声搅拌组件(2
‑
2)包括相互配合的超声波发生器(2
‑
21)和超声波换能器(2
‑
22)，所述磁力搅拌组件(2
‑
1)包括相互配合的磁力发生器(2
‑
11)和磁转子(2
‑
12)，所述超声波发生器(2
‑
21)和磁力发生器(2
‑
11)均设置在釜本体(1
‑
1)的外部，所述超声波换能器(2
‑
22)设置在釜内腔(1
‑
11)的上部，所述磁转子(2
‑
12)设置在釜内腔(1
‑
11)的底部；气路系统，所述气路系统包括进气管(3
‑
1)和排气管(3
‑
2)，所述进气管(3
‑
1)上依次设置有二氧化碳气罐(3
‑
3)、第一电磁阀(3
‑
4)、冷却箱(3
‑
5)、压力泵(3
‑
6)和第二电磁阀(3
‑
7)，所述冷却箱(3
‑
5)上设置有温度开关(3
‑
8)，所述排气管(3
‑
2)上依次设置有第三电磁阀(3
‑
9)和废气液池(3
‑
10)，所述进气管(3
‑
1)的出气端和排气管(3
‑
2)的进气端均与釜内腔(1<...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷卫宁，李志贤，李雅寒，蹇文轩，
申请(专利权)人：江苏理工学院，
类型：新型
国别省市：