【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种声波器件及滤波器，并且更具体地涉及一种具有高 可控性机电耦合常数的声波器件，以及使用该声波器件的滤波器。
技术介绍
利用声波的示例性声波器件是配备有压电基板的表面声波(SAW) 器件，在该压电基板上形成有梳状电极，该梳状电极形成叉指换能器 (IDT)和反射电极。当在梳状电极上施加电力时，表面声波被激发。在 下文中，这种SAW器件被称为第一现有技术。这种SAW器件优点在于 小巧、重量轻并且衰减高，并因而广泛地用于众多移动设备中，例如发 送/接收滤波器和蜂窝电话的天线双工器。图1A为第一现有技术的SAW器件的平面图，以及图1B沿图1A 所示线A-A'的截面图。该SAW器件具有压电基板，该压电基板例如由 钽酸锂(LiTa03)制成，在该压电基板上形成其电极可由铝制成的梳状 电极14和反射电极16。为了简明，图1A示出了较少数量的梳状电极14 和反射电极的指。然而，实际上，使用较大数量的指来形成电极14和16。 已经研发了第一现有技术的变型(在下文中，该变型被称为第二现 有技术)。如图2所示，由硅氧化物(Si02)制成的保护膜18覆盖梳状电 极14和反...
【技术保护点】
一种声波器件，所述声波器件包括：压电基板；在所述压电基板上形成的第一介电膜；以及在所述第一介电膜上设置的并且激发声波的多个电极，所述电极包括多个电极指，在所述电极指中的相邻电极指之间，所述第一介电膜的至少一部分被切除。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：松田隆志，井上将吾，三浦道雄，松田聪，上田政则，水户部整一，
申请(专利权)人：太阳诱电株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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