进给机构及具有其的减薄机制造技术

本发明专利技术提供一种进给机构和具有其的减薄机，涉及机械设备领域，所述进给机构通过在能够调整间距的第一轨道板和第二轨道板之间设置连杆组，使得受连杆组驱动控制的样品承载台能够在轨道板进行间距调整时，始终自适应保持在两轨道板中心位置，无需进行额外的调试，便捷性高的同时具有优良的精确度，并且进给机构整体结构简单，连杆组整体结构以纯机械方式实现，可靠性高。可靠性高。可靠性高。

Feeding mechanism and thinning machine with it

【技术实现步骤摘要】
进给机构及具有其的减薄机


[0001]本专利技术涉及机械设备领域，具体地涉及一种进给机构及具有其的减薄机。

技术介绍

[0002]在一些机械设备中，进给机构包括用于规定出进料通道的轨道板，以及设置在轨道板之间的样品载台，通过进给机构传送物品时，进给机构的轨道板之间距离需要与产品的宽短尺寸所适配，针对客户产品的宽度规格非常多的情况，通常会设计出间距可调的轨道板，但每当需要对轨道板间距进行调整时，也需要同步对样品载台所在位置进行调整，操作麻烦且精确度差。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种进给机构及具有其的减薄机。
[0004]本专利技术提供一种进给机构，包括：基台、第一轨道板、第二轨道板、变轨传动杆、样品载台和连杆组；
[0005]所述第一轨道板和所述第二轨道板平行于进料方向设置于所述基台上，所述变轨传动杆分别与所述第一轨道板以及所述第二轨道板相接且分别与两者相垂直设置，所述第一轨道板和所述第二轨道板中至少有一个沿所述变轨传动杆轴向可动设置；
[0006]所述样品载台可动套设于所述变轨传动杆；
[0007]所述连杆组包括第一驱动连杆组、第二驱动连杆组和从动连杆；
[0008]所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组分别转动连接于所述第一轨道板和第二轨道板，所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组末端共同转动连接于所述从动连杆，所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组以所述从动连杆中心为中心呈中心对称分布；
[0009]所述从动连杆中心处转动连接于所述样品载台，且转动连接点位于所述样品载台与进料方向平行的中轴面处，所述第一轨道板和所述第二轨道板相对运动时，所述从动连杆带动所述样品载台沿所述变轨传动杆运动。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，所述第一驱动连杆组包括第一连杆，所述第二驱动连杆组包括第二连杆，所述第一连杆和所述第二连杆等长，所述第一连杆转动连接于所述第一轨道板，所述第二连杆转动连接于所述第二轨道板，所述第一连杆和所述第二连杆末端共同转动连接于所述从动连杆。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，所述进给机构还包括至少一个变轨距导轨副，所述变轨距导轨副包括垂直于进料方向设置的变轨距导轨和可动设置于所述变轨距导轨上的变轨距运动件，所述第二轨道板和所述变轨距导轨固定设置于所述基台，所述第一轨道板固定设置于所述变轨距运动件上。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，所述进给机构包括两个所述变轨距导轨副，分别为第一导轨副和第二导轨副，所述第一导轨副包括第一导轨和第一运动件，所述第二导轨副包
括第二导轨和第二运动件，所述第一导轨和所述第二导轨分别设置于所述变轨传动杆两侧。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，所述变轨传动杆为变轨丝杆，其具有相对的第一端和第二端，所述变轨丝杆第一端设置于所述第一轨道板上，所述第二轨道板上设置有与所述变轨丝杆匹配的第一变轨丝杆孔，所述变轨丝杆第二端穿过所述第一变轨丝杆孔，所述变轨丝杆转动时，带动所述第一轨道板运动，并与所述第二轨道板发生相对运动。
[0014]作为本专利技术的进一步改进，所述进给机构还包括设置于所述基台的驱动电机，所述驱动电机通过联轴器和所述变轨丝杆连接，所述驱动电机驱动所述变轨丝杆以顺时针或逆时针方向转动。
[0015]作为本专利技术的进一步改进，所述第一轨道板还包括固定设于其上的丝杆固定座，所述变轨丝杆第一端设置于所述丝杆固定座内，所述变轨丝杆转动时，通过所述丝杆固定座带动所述第一轨道板运动。
[0016]作为本专利技术的进一步改进，所述第一连杆转动连接于所述丝杆固定座底部，两者连接点位于所述变轨丝杆正下方。
[0017]作为本专利技术的进一步改进，所述第二轨道板还包括固定设于其底部的连杆固定座，所述第二连杆转动连接于所述连杆固定座底部，两者连接点位于所述变轨丝杆正下方。
[0018]作为本专利技术的进一步改进，所述样品载台设置有与所述变轨丝杆匹配的第二变轨丝杆孔，所述变轨丝杆穿过所述第二变轨丝杆孔，所述从动连杆转动连接于所述样品载台底部，所述从动连杆运动时，带动所述样品载台沿所述变轨丝杆运动。
[0019]作为本专利技术的进一步改进，所述基台设置有贯通其上下表面的窗口区，所述第一驱动连杆组、所述第二驱动连杆组和所述从动连杆设置于所述窗口区内。
[0020]作为本专利技术的进一步改进，所述进给机构还包括至少一个载台导轨副，所述载台导轨副包括垂直于进料方向设置的载台导轨和可动设置于所述载台导轨上的载台运动件，所述载台导轨固定设置于所述基台，所述样品载台固定设置于所述载台运动上。
[0021]作为本专利技术的进一步改进，所述进给机构包括两个所述载台导轨副，分别为第三导轨副和第四导轨副，所述第三导轨副包括第三导轨和第三运动件，所述第四导轨副包括第四导轨和第四运动件，所述第三导轨和所述第四导轨分别设置于所述变轨传动杆两侧。
[0022]本专利技术还提供一种减薄机，所述减薄机包括上述进给机构
[0023]本专利技术的有益效果是：本专利技术提供的进给结构，通过在能够调整间距的第一轨道板和第二轨道板之间设置连杆组，使得受连杆组驱动控制的样品承载台能够在轨道板进行间距调整时，始终自适应保持在两轨道板中心位置，无需进行额外的调试，便捷性高的同时具有优良的精确度，并且进给机构整体结构简单，连杆组整体结构以纯机械方式实现，可靠性高。
附图说明
[0024]图1是本专利技术一实施方式中的进给机构示意图。
[0025]图2是本专利技术一实施方式中的进给机构俯视图。
[0026]图3是本专利技术一实施方式中的进给机构仰视图。
具体实施方式
[0027]为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施方式及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式仅是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。
[0028]下面详细描述本专利技术的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0029]为方便说明，本文使用表示空间相对位置的术语来进行描述，例如“上”、“下”、“后”、“前”等，用来描述附图中所示的一个单元或者特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的装置翻转，则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“上方”的单元将位于其他单元或特征“下方”或“上方”。因此，示例性术语“下方”可以囊括下方和上方这两种空间方位。
[0030]本实施方式提供一种进给机构，其可应用于晶圆减薄机，作为减薄机的物料进给机构，在其他实施方式中，本专利技术所提供的进给机构也可用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种进给机构，其特征在于，包括：基台、第一轨道板、第二轨道板、变轨传动杆、样品载台和连杆组；所述第一轨道板和所述第二轨道板平行于进料方向设置于所述基台上，所述变轨传动杆分别与所述第一轨道板以及所述第二轨道板相接且分别与两者相垂直设置，所述第一轨道板和所述第二轨道板中至少有一个沿所述变轨传动杆轴向可动设置；所述样品载台可动套设于所述变轨传动杆；所述连杆组包括第一驱动连杆组、第二驱动连杆组和从动连杆；所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组分别转动连接于所述第一轨道板和第二轨道板，所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组末端共同转动连接于所述从动连杆，所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组以所述从动连杆中心为中心呈中心对称分布；所述从动连杆中心处转动连接于所述样品载台，且转动连接点位于所述样品载台与进料方向平行的中轴面处，所述第一轨道板和所述第二轨道板相对运动时，所述从动连杆带动所述样品载台沿所述变轨传动杆运动。2.根据权利要求1所述的进给机构，其特征在于，所述第一驱动连杆组包括第一连杆，所述第二驱动连杆组包括第二连杆，所述第一连杆和所述第二连杆等长，所述第一连杆转动连接于所述第一轨道板，所述第二连杆转动连接于所述第二轨道板，所述第一连杆和所述第二连杆末端共同转动连接于所述从动连杆。3.根据权利要求2所述的进给机构，其特征在于，所述进给机构还包括至少一个变轨距导轨副，所述变轨距导轨副包括垂直于进料方向设置的变轨距导轨和可动设置于所述变轨距导轨上的变轨距运动件，所述第二轨道板和所述变轨距导轨固定设置于所述基台，所述第一轨道板固定设置于所述变轨距运动件上。4.根据权利要求3所述的进给机构，其特征在于，所述进给机构包括两个所述变轨距导轨副，分别为第一导轨副和第二导轨副，所述第一导轨副包括第一导轨和第一运动件，所述第二导轨副包括第二导轨和第二运动件，所述第一导轨和所述第二导轨分别设置于所述变轨传动杆两侧。5.根据权利要求4所述的进给机构，其特征在于，所述变轨传动杆为变轨丝杆，其具有相对的第一端和第二端，所述变轨丝杆第一端设置于所述第一轨道板上，所述第二轨道板上设置有与所述变轨丝杆匹配的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙庆平，程晔，
申请(专利权)人：苏州明昌正光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：