一种液体混合装置、供给系统及供给方法制造方法及图纸

本申请公开了一种液体混合装置、供给系统及供给方法，该液体混合装置包括：原液供给部，用于提供混合用的液体；混合部，包括稀释单元、稳压阀和流量计，稀释单元与原液供给部连接，用于接收来自原液供给部的液体，并进行混合得到混合液；稳压阀和流量计设置在原液供给部连接至稀释单元的管路上；供应部，包括第一泵和供应单元，第一泵与稀释单元和原液供给部连接，用于将原液供给部中的液体输送至稀释单元；供应单元与稀释单元连接，用于接收并存储来自稀释单元的混合液。本申请技术方案采用稳压阀和流量计用于液体的混合配比，实现了自动化液体混合配比，缓解了传统的定制化阀件扩展能力低，液体混合消耗时间较长，以及磅秤称量的误差。的误差。的误差。

A liquid mixing device, supply system and supply method

【技术实现步骤摘要】
一种液体混合装置、供给系统及供给方法


[0001]本申请属于化学机械研磨
，尤其涉及一种液体混合装置、供给系统及供给方法。

技术介绍

[0002]在半导体加工流程中，化学机械研磨是对半导体基底之上的层结构进行平坦化的技术。在化学机械研磨的工艺过程中，研磨液是一种被施加于半导体晶片的表面的混合液体，通常由一种或多种液体混合配比而成。在传统的研磨液供给系统中，采用定制化的阀件控制不同液体的流入，通过磅秤称量来控制液体的混合配比。定制化的阀件使得系统的扩展能力较低，通过阀件的不同组合通入不同液体消耗时间较长，此外通过磅秤称量来控制液体的混合配比也容易引入误差。

技术实现思路

[0003]根据一些实施例，在本申请的第一方面提供了一种液体混合装置，包括：原液供给部，用于提供混合用的液体；混合部，包括稀释单元、稳压阀和流量计，稀释单元与原液供给部连接，用于接收来自原液供给部的液体，并进行混合得到混合液；稳压阀和流量计设置在原液供给部连接至稀释单元的管路上，稳压阀用于控制流经流量计的液体流量，流量计用于测量流经管路的液体流量；供应部，包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液体混合装置，其特征在于，包括：原液供给部，用于提供混合用的液体；混合部，包括稀释单元、稳压阀和流量计，所述稀释单元与所述原液供给部连接，用于接收来自所述原液供给部的液体，并进行混合得到混合液；所述稳压阀和所述流量计设置在所述原液供给部连接至所述稀释单元的管路上，所述稳压阀用于控制流经所述流量计的液体流量，所述流量计用于测量流经所述管路的液体流量；供应部，包括第一泵和供应单元，所述第一泵与所述稀释单元和所述原液供给部连接，用于将所述原液供给部中的液体输送至所述稀释单元；所述供应单元与所述稀释单元连接，用于接收并存储来自所述稀释单元的混合液。2.根据权利要求1所述的液体混合装置，其特征在于，所述液体混合装置还包括：控制部，均与所述混合部和所述供应部电气连接，用于根据所述混合液的配方预设并控制所述混合用的液体的流量和落料时间。3.根据权利要求2所述的液体混合装置，其特征在于，所述稀释单元和所述供应单元各自独立的设置有高液位传感器和低液位传感器，所述高液位传感器和所述低液位传感器用于检测液位高度，所述控制部根据所述高液位传感器和所述低液位传感器的检测结果控制所述稀释单元和所述供应单元中液体的输入与输出。4.根据权利要求3所述的液体混合装置，其特征在于，所述混合部还包括第二泵，所述第二泵与所述稀释单元和所述供应单元连接，所述控制部被进一步配置为：控制所述第二泵将所述稀释单元中的混合液输送至所述供应单元。5.根据权利要求4所述的液体混合装置，其特征在于，所述供应部还包括第三泵，所述第三泵与所述供应单元和液体接收部连接，所述控制部被进一步配置为：控制所述第三泵将所述供应单元中存储的混合液输送至所述液体接收部。6.根据权利要求2所述的液体混合装置，其特征在于，所述控制部被进一步配置为：控制所述第一泵将来自所述原液供给部的液体输送至所述稀释单元，并将至少部分来自所述原液供给部的液体泵回至所述原液供给部。7.根据权利要求1所述的液体混合装置，其特征在于，所述液体混合装置还包括：湿氮气供应单元，所述湿氮...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋富有，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：