一种划刀调节装置及划片机制造方法及图纸

技术编号:34016758 阅读:37 留言:0更新日期:2022-07-02 15:57
本发明专利技术提供的一种划刀调节装置及划片机,属于晶圆划切技术领域,划刀调节装置包括:滑板,与安装座固定连接;所述滑板具有弧形的滑动面;滑动块,一端与划刀连接;所述滑动块具有与所述滑动面滑动连接的弧形的配合面;本发明专利技术的划刀调节装置,通过滑板和滑动块之间的相对滑动,实现划刀与晶圆的所成的角度的调节;该调节装置结构简单,调节方式方便。调节方式方便。调节方式方便。

【技术实现步骤摘要】
一种划刀调节装置及划片机


[0001]本专利技术涉及晶圆划切
,具体涉及一种划刀调节装置及划片机。

技术介绍

[0002]主要针对砷化镓、磷化铟材质的光通讯芯片晶圆在使用前需要进行切割。
[0003]在切割过程中,需要使用划刀对晶圆进行划切,在划切过程中,需要调整划刀与晶圆所成的角度。
[0004]在现有技术中,调整结构复杂,调整方式繁琐。

技术实现思路

[0005]因此,本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的调整结构复杂,调整方式繁琐的缺陷,从而提供一种划刀的调节装置。
[0006]本专利技术还提供一种划片机。
[0007]为解决上述技术问题,本专利技术提供的一种划刀调节装置,包括:
[0008]滑板,与安装座固定连接;所述滑板具有弧形的滑动面;
[0009]滑动块,一端与划刀连接;所述滑动块具有与所述滑动面滑动连接的弧形的配合面。
[0010]作为优选方案,在所述滑板和所述滑动块之间设置有限位结构。
[0011]作为优选方案,所述限位结构包括:
[0012]第一凹槽,开设在所述滑动块的配合面上;所述第一凹槽为燕尾型槽;
[0013]第一限位凸起,设置在所述滑板的滑动面上;所述第一限位凸起与所述第一凹槽滑动配合设置。
[0014]作为优选方案,所述限位结构还包括:
[0015]第二凹槽,开设在所述第一限位凸起的朝向所述滑动块的侧面;
[0016]第二限位凸起,设置在所述第一凹槽内;所述第二限位凸起与所述第二凹槽配合设置。
[0017]作为优选方案,还包括:
[0018]驱动结构,设置在所述滑板和所述滑动块之间。
[0019]作为优选方案,所述驱动结构包括:
[0020]驱动杆,转动设置在所述滑板上;所述驱动杆具有第一螺纹结构;所述滑板的配合面上设置有第二螺纹结构;所述第一螺纹结构和所述第二螺纹结构传动连接。
[0021]作为优选方案,所述第一螺纹结构设置在所述第二凹槽内;所述第二螺纹结构设置在所述第二限位凸起上。
[0022]作为优选方案,所述第一螺纹结构设置在第二凹槽的槽底位置。
[0023]本专利技术还提供一种划片机,包括上述中任一项所述的划刀调节装置。
[0024]本专利技术技术方案,具有如下优点:
[0025]1.本专利技术提供的划刀调节装置,包括:滑板和滑动块;通过滑板和滑动块之间的相对滑动,实现划刀与晶圆的所成的角度的调节;该调节装置结构简单,调节方式方便。
[0026]2.本专利技术提供的划刀调节装置,所述滑板和所述滑动块之间设置有限位结构;限位结构的设置可以起到滑板和滑动块之间移动的位置的限定。
[0027]3.本专利技术提供的划刀调节装置,所述驱动结构包括:驱动杆;所述驱动杆上设置有第一螺纹结构,所述滑动板的配合面上设置有与所述第一螺纹结构配合设置的第二螺纹结构;该方式只需要转动驱动杆,即可实现滑板和滑动块之间的转动和固定,调节方式简单。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1为本专利技术的划刀调节装置的第一状态的结构示意图。
[0030]图2为本专利技术的划刀调节装置的第二状态的结构示意图。
[0031]图3为本专利技术的划刀调节装置的剖视结构示意图。
[0032]附图标记说明:
[0033]1、滑板;2、滑动块;3、划刀;4、驱动杆;5、第一限位凸起;6、第二限位凸起;7、安装座。
具体实施方式
[0034]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0035]在本专利技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0036]在本专利技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0037]此外,下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0038]实施例1
[0039]本实施例提供的一种划刀的调节装置,包括与安装座7固定连接的滑板1;所述滑板1具有弧形的滑动面;所述滑板1的滑动面上滑动连接有滑动块2,所述滑动块2上具有与所述滑动面滑动连接弧形配合面。
[0040]通过滑板1和滑动块2之间的相对滑动,实现划刀3与晶圆的所成角度的调节,该调节装置结构简单,调节方式方便。
[0041]如图2所示,在所述滑动块2的配合面上开设有第一凹槽;在所述滑板1的滑动面上设置有与所述第一凹槽滑动配合设置的第一限位凸起5;所述第一凹槽为燕尾型槽,所述第一限位凸起5的形状与所述第一凹槽的形状匹配设置。
[0042]在所述第一限位凸起5上开设有第二凹槽;在所述第一凹槽内设置有与第二凹槽配合设置的第二限位凸起6;
[0043]如图3所示,在所述滑板1内转动设置有驱动杆4,所述驱动杆4上开设有第一螺纹结构,在第二凹槽内开设有连接孔,所述驱动杆4的第一螺纹结构从连接孔内伸出;在所述第二限位凸起6上设置有第二螺纹结构,所述第一螺纹结构和所述第二螺纹结构传动连接;
[0044]转动驱动杆4,通过第一螺纹结构和第二螺纹结构传动,滑动块2在滑板1上进行移动,实现划刀3与晶圆的所成的角度的调整。
[0045]进一步的,所述连接孔设置在所述第二凹槽的槽底,所述第一螺纹结构从连接孔内伸出,第二螺纹结构沿所述第二限位凸起6的延伸方向设置。
[0046]使用方法及原理
[0047]通过转动驱动杆4,所述第一螺纹结构和所述第二螺纹结构传动连接,带动滑动块2沿滑板1的滑动面进行移动,进而带动划刀3沿滑板1的滑行的滑动面进行移动。
[0048]实施例2
[0049]本实施例提供一种划片机,包括实施例1所述的划刀调节装置。
[0050]显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种划刀调节装置,其特征在于,包括:滑板(1),与安装座(7)固定连接;所述滑板(1)具有弧形的滑动面;滑动块(2),一端与划刀(3)连接;所述滑动块(2)具有与所述滑动面滑动连接的弧形的配合面。2.根据权利要求1所述的划刀调节装置,其特征在于,在所述滑板(1)和所述滑动块(2)之间设置有限位结构。3.根据权利要求2所述的划刀调节装置,其特征在于,所述限位结构包括:第一凹槽,开设在所述滑动块(2)的配合面上;所述第一凹槽为燕尾型槽;第一限位凸起(5),设置在所述滑板(1)的滑动面上;所述第一限位凸起(5)与所述第一凹槽滑动配合设置。4.根据权利要求3所述的划刀调节装置,其特征在于,所述限位结构还包括:第二凹槽,开设在所述第一限位凸起(5)的朝向所述滑动块(2)的侧面;第二限位凸起(6),设置在所述第一凹槽内;所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员:张一暾张智峰温子勋张文杰马修远刘亚洲
申请(专利权)人:河北圣昊光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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