一种晶圆载台制造技术

本发明专利技术提供了一种晶圆载台，属于高精机台领域，包括载台底脚、载台底座、载台上座、载台主轴、晶圆载盘、载盘刹车组件、主轴弹性支撑组件、回正叉组件和载台底面真空刹车组件；通过本方案，可以悬浮的柔性支撑晶圆、硅片等待检测或待加工件，达到高精悬浮支撑作用，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。高精加工领域中推广应用。高精加工领域中推广应用。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆载台


[0001]本专利技术属于高精机台领域，具体涉及一种晶圆载台。

技术介绍

[0002]在检测、加工技术中，一般需要一个稳定的工作台，而工作台一般通过机架或地脚支撑于底面上。然而对于带有高精度运动台的检测系统中，载台为主要承载机构，现有的载台结构复杂，减震、吸振效果不佳，因此对于传统的工作台，除了地脚、减震弹簧等，还需要进步提升载台性能，以适应高精检测或加工的载台系统。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种晶圆载台，其能解决上述问题。
[0004]一种晶圆载台，晶圆载台包括载台底脚、载台底座、载台上座、载台主轴、晶圆载盘、载盘刹车组件、主轴弹性支撑组件和回正叉组件；其中，所述载台底脚采用气浮地脚；所述载台底座通过多个所述载台底脚被浮动或滑动地支撑在机架上；所述载台上座设置在所述载台底座上；所述载台主轴竖直的设置在所述载台底座和载台上座开设的承载孔中；所述晶圆载盘的底面中部固定至所述载台主轴的顶面；多个所述载盘刹车组件布置在所述载台上座和晶圆载盘之间，用于晶圆载盘的制动刹车；所述主轴弹性支撑组件用于将载台主轴与所述载台底座和/或载台上座弹性连接，以增强载台主轴的稳定性；所述回正叉组件设置在载台上座和所述晶圆载盘之间，用于晶圆载盘的被动回正复位。
[0005]进一步的，所述载台底脚包括气浮垫、螺纹柱、卡箍体、抱环、气嘴、密封圈、轴承钢珠、气孔盘和气源控制组件；所述轴承钢珠设置在所述气浮垫的内部中央，所述螺纹柱的底部通过密封圈设置在所述气浮垫上，所述卡箍体螺纹套接在所述螺纹柱上且高度可调，所述抱环套接至所述卡箍体外周上段处用于外部机构的直接支撑和限位，所述气嘴安装在所述气浮垫上用于压力调节，多个所述气孔盘均布的设置在所述气浮垫的底部，通过气嘴中的进气嘴向气浮垫的下方提供吹离气压，通过气嘴中的吸气嘴向气浮垫的下方提供吸附气压，通过气源控制组件控制吹离气压和吸附气压的气压差实现晶圆载台的悬浮支撑。
[0006]进一步的，所述气浮垫包括一体成型的底座体和支撑环座，所述支撑环座凸起的设置于所述底座体的顶面上；在凸台状的底座体顶面中间开设有钢珠阀座；在所述底座体的内部开设连通的横向气道、纵向内气道和纵向外气道，其中所述纵向外气道开设两条用于安装两个气嘴，对应安装吹气嘴的纵向外气道连通多个上封下开的纵向吹气道，并在所述纵向吹气道的底部开口安装所述气孔盘，用于提供正压；对应安装进气嘴的纵向外气道连通多个所述纵向内气道，用于提供负压；在所述支撑环座的内环面底部开设密封圈环槽，用于安装密封圈。
[0007]进一步的，所述载台主轴包括轴体、轴套、封气环、电机和端盖；所述轴体和电机套接在所述轴套内，通过电机驱动轴体运动；所述封气环外套在所述轴套上；两个所述端盖设
置在所述轴体上端和轴套下端；所述晶圆载盘通过顶端的端盖转接至所述轴体上；所述主轴弹性支撑组件设置在所述轴套和所述轴套底端的端盖上。
[0008]进一步的，所述主轴弹性支撑组件包括上支撑件和弹性下支撑件；所述上支撑件设置在轴套外延部，上支撑件同时与所述载台上座连接；所述弹性下支撑件安装于轴套下部的端盖底面与载台底座底面之间；通过上支撑件和弹性下支撑件实现载台主轴的稳定支撑。
[0009]进一步的，所述晶圆载台还包括载台外端组件和载台闭合板；其中，所述载台闭合板从顶部跨设的连接所述载台上座和载台外端组件上，下部空间用于设置X轴横梁，所述载台上座和载台外端组件相对的设置在所述载台底座的纵向两端。
[0010]进一步的，在所述载台上座和载台外端组件相对的两面上设置两组横梁止挡气浮垫。
[0011]进一步的，所述晶圆载台还包括横向限位件，两个所述横向限位件设置在载台底座的横向两端。
[0012]相比现有技术，本专利技术的有益效果在于：通过本专利技术的晶圆载台，可以悬浮的柔性支撑晶圆、硅片等待检测或待加工件，达到高精悬浮支撑作用，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。
附图说明
[0013]图1为晶圆载台的一个实施例的示意图；
[0014]图2为晶圆载台另一实施例的示意图；
[0015]图3为晶圆载台一个视角的示意图；
[0016]图4为载台主轴和主轴弹性支撑组件的示意图；
[0017]图5为载台底脚装配示意图；
[0018]图6为载台底脚的分解示意图；
[0019]图7为气浮垫一个角度的剖视图；
[0020]图8为气浮垫另一角度的剖视图；
[0021]图9为载台底脚的另一视角的示意图；
[0022]图10为螺纹柱的剖视图；
[0023]图11为卡箍体的剖视图；
[0024]图12为载台底脚装配体的剖视图；
[0025]图中：
[0026]300、晶圆载台；
[0027]301、载台底脚；1、气浮垫；11、底座体；12、支撑环座；13、钢珠阀座；14、横向气道；15、纵向内气道；16、纵向外气道；17、纵向中央气道；18、密封圈环槽；2、螺纹柱；21、锥形座；22、外螺纹段；23、缩颈段；24、外调节头；211、锥形钢珠腔；3、卡箍体；31、座口段；32、内螺纹段；33、调节段；311、锥座口；331、调节间隙；34、外止挡环；35、内止挡环肩；4、抱环；41、抱环间隙；42、螺钉孔；43、螺母调节孔；5、气嘴；6、密封圈；7、轴承钢珠；8、气孔盘；
[0028]302、载台底座；
[0029]303、载台上座；
[0030]304、载台主轴；3041、轴体；3042、轴套；3043、封气环；3044、端盖；
[0031]305、晶圆载盘；
[0032]306、载盘刹车组件；
[0033]307、主轴弹性支撑组件；3071、上支撑件；3072、弹性下支撑件；30721、底座转接块；30722、弹片夹；30723、弹片；
[0034]308、回正叉组件；。
[0035]309、载台外端组件；3091、外端转接块；3092、横梁转接气浮垫；
[0036]3010、载台闭合板；
[0037]3011、横梁止挡气浮垫；
[0038]3012、横向限位件；
[0039]3013、载台底面真空刹车组件。
具体实施方式
[0040]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0041]第一实施例
[0042]一种晶圆载台，参见图1，晶圆载台300包括载台底脚301、载台底座302、载台上座303、载台主轴304、晶圆载盘305、载盘刹车组件306、主轴弹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆载台，其特征在于：晶圆载台(300)包括载台底脚(301)、载台底座(302)、载台上座(303)、载台主轴(304)、晶圆载盘(305)、载盘刹车组件(306)、主轴弹性支撑组件(307)和回正叉组件(308)；其中，所述载台底脚(301)采用气浮地脚；所述载台底座(302)通过多个所述载台底脚(301)被浮动或滑动地支撑在机架上；所述载台上座(303)设置在所述载台底座(302)上；所述载台主轴(304)竖直的设置在所述载台底座(302)和载台上座(303)开设的承载孔中；所述晶圆载盘(305)的底面中部固定至所述载台主轴(304)的顶面；多个所述载盘刹车组件(306)布置在所述载台上座(303)和晶圆载盘(305)之间，用于晶圆载盘(305)的制动刹车；所述主轴弹性支撑组件(307)用于将载台主轴(304)与所述载台底座(302)和/或载台上座(303)弹性连接，以增强载台主轴(304)的稳定性；所述回正叉组件(308)设置在载台上座(303)和所述晶圆载盘(305)之间，用于晶圆载盘(305)的被动回正复位。2.根据权利要求1所述的晶圆载台，其特征在于：所述载台底脚(301)包括气浮垫(1)、螺纹柱(2)、卡箍体(3)、抱环(4)、气嘴(5)、密封圈(6)、轴承钢珠(7)、气孔盘(8)和气源控制组件；所述轴承钢珠(7)设置在所述气浮垫(1)的内部中央，所述螺纹柱(2)的底部通过密封圈(6)设置在所述气浮垫(1)上，所述卡箍体(3)螺纹套接在所述螺纹柱(2)上且高度可调，所述抱环(4)套接至所述卡箍体(3)外周上段处用于外部机构的直接支撑和限位，所述气嘴(5)安装在所述气浮垫(1)上用于压力调节，多个所述气孔盘(8)均布的设置在所述气浮垫(1)的底部，通过气嘴(5)中的进气嘴向气浮垫(1)的下方提供吹离气压，通过气嘴(5)中的吸气嘴向气浮垫(1)的下方提供吸附气压，通过气源控制组件控制吹离气压和吸附气压的气压差实现晶圆载台(300)的悬浮支撑。3.根据权利要求2所述的晶圆载台，其特征在于：所述气浮垫(1)包括一体成型的底座体(11)和支撑环座(12)，所述支撑环座(12)凸起的设置于所述底座体(11)的顶面上；在凸台状的底座体(11)顶面中间开设有钢珠阀座(13)；在所述底座体(11)的内部开设连通的横向气道(14)、纵向内气道(15)和纵向外气道(16)，其中所述纵向外气道(16)开设两条用于安装两个气嘴(5)，对应安装吹气嘴的纵向外气道(16)连通多个上封下开的纵向吹气道，并在所述纵向吹气道的底部开口安装所述气孔盘(8)，用于提供正压；对应安装进气嘴的纵向外气道(16)连通多个所述纵向内气道(15)，用于提供负压...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：苏州矽行半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：